• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.245-245
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• 2010

최근에 반도체 소자 및 마이크로머신, 바이오센서 등에 사용되는 미세 부품에 대한 연구 개발이 활발히 진행되고 있다. 미세 부품을 제작하기 위한 MEMS 공정은 대표적으로 화학용액을 이용한 습식식각, 플라즈마를 이용한 건식식각 등이 주를 이룬다. Micro blaster는 경도가 강하고 화학적 내성을 가지며 용융점이 높아 반도체 MEMS 공정에 어려움이 있는 기판을 다양한 형태로 식각 할 수 있는 기계적인 식각 공정 기술이라 할 수 있다. Micro blaster의 식각 공정은 고속의 날카로운 입자가 공작물을 타격할 때 입자의 아래에는 고압축응력이 발생하게 되고, 이 고압축 응력에 의하여 소성변형과 탄성변형이 발생된다. 이러한 변형이 발전되어 재료의 파괴 초기값보다 크게 되면 크랙이 발생되고, 점점 더 발전하게 되면 재료의 제거가 일어나는 단계로 이루어진다. 본 연구에서는 micro blaster 장비를 반도체 MEMS 공정에 적용하기 위한 식각 특성에 관하여 확인하였다. Micro blaster 장비와 식각에 사용한 파우더는 COMCO INC. 제품을 사용하였다. Micro blaster를 $Al_2O_3$ 파우더의 입자 크기, 분사 압력, 기판의 종류, 노즐과 기판과의 간격, 반복 횟수, 노즐 이동 속도 등의 공정 조건에 따른 식각 특성에 관하여 분석하였다. 특히 실제 반도체 MEMS 공정에 적용 가능한지 여부를 확인하기 위하여 바이오 PCR-chip을 제작하였다. 먼저 glass 기판과 Si wafer 기판에서의 식각률을 비교 분석하였고, 이 식각률을 바탕으로 바이오 PCR-chip에 사용하게 될 미세 홀과 미세 채널, 그리고 미세 챔버를 형성 하였다. 패턴을 형성하기 위하여 TOK Ordyl 사의 DFR(dry film photoresist:BF-410)을 passivation 막으로 사용하였다. Micro blaster에 사용되는 파우더의 직경이 수${\mu}m$ 이상이기 때문에 $10\;{\mu}m$ 이하의 미세 채널과 미세홀을 형성하기 어려웠지만 현재 반도체 MEMS 공정 기술로 제작 연구되어지고 있는 바이오 PCR-chip을 직접 제작하여 micro blaster를 이용한 반도체 MEMS 공정 기술에 적용 가능함을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.129-129
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• 2010

적외선 검출소자(Infrared Photodetector)는 근적외선에서 원적외선 영역에 이르는 광범위한 파장 범위의 적외선을 이용하는 기기로서 대상물이 방사하는 적외선 영역의 에너지를 흡수하여 이를 영상화할 수 있는 장비이다. 적외선 관련 기술은 2차 세계대전 기간에 태동하였으며, 현재에는 원거리 감지기술 등과 접목되면서 그 활용 분야가 다양해지고 있다. 특히 능동형 정밀 타격무기를 비롯한 감시 정찰 장비 및 지능형 전투 장비 시스템 등에 대한 요구를 바탕으로 보다 정밀하고 신속한 표적 감지 및 정보처리 기술에 관한 연구가 선진국을 통해서 활발히 진행되고 있다. 기존의 Bolometer 형식의 열 감지 소자는 반응 속도가 느리고 측정 감도가 낮은 단점이 있으며, MCT(HgCdTe)를 이용한 적외선 검출기의 경우 높은 기계적 결함과 77K 저온에서 동작해야하기 때문에 발생하는 추가 비용 등이 문제점으로 지적되고 있다[1]. 이에 반해 화합물 반도체 자기조립 양자점(self-assembled quantum dot)을 이용한 적외선 수광소자는 양자점이 가지는 불연속적인 내부 에너지 준위로 인하여, 높은 내부 양자 효율과 온도 안정성을 기대할 수 있으며, 고성능, 고속처리, 저소비전력 및 저소음의 실현이 가능하다. 본 연구에서는 적층 InAs/InGaAs dot-in-a-well 구조를 유기금속화학기상증착법을 이용하여 성장하고 이를 소자에 응용하였다. 균일한 적층 양자점의 성장을 위해서 원자현미경(atomic force microscopy)을 이용하여, 각 층의 양자점의 크기와 밀도를 관찰하였고, photoluminescence (PL)를 이용하여 발광특성을 연구하였다. 각 층간의 GaAs space layer의 두께와 온도 조절 과정을 조절함으로써 균일한 적층 양자점 구조를 얻을 수 있었다. 이를 이용하여 양자점의 전도대 내부의 에너지 준위간 천이(intersubband transition)를 이용하는 n-type GaAs/intrinsic InAs 양자점/n-type GaAs 구조의 양자점 적외선수광소자 구조를 성장하였다. 이 과정에서 상부 n-type GaAs의 성장 온도가 600도 이상이 되는 경우 발광효율이 급격히 감소하고, 암전류가 크게 증가하는 것을 관찰하였다. 이는 InAs 양자점과 주변 GaAs 간의 열에 의한 상호 확산에 의하여 양자점의 전자 구속 효과를 저해하는 것으로 설명된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.286-286
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• 2010

최근에 환경 오염과 화석 에너지의 고갈 문제를 해결하기 위하여 태양광을 전기 에너지로 변환하는 태양전지 연구에서 가장 이슈가 되는 부분은 저가격화와 고효율이다. 상용화 되어 있는 대부분의 태양전지는 단결정 실리콘 웨이퍼와 다결정 실리콘 웨이퍼를 사용한다. 실리콘 웨이퍼의 원자재 가격을 낮추는 방법에는 한계가 있기 때문에 태양전지 제작 공정에서 공정 단가를 낮추는 방법이 많이 연구되고 있고, 실리콘 웨이퍼가 가지는 재료의 특성상 화합물을 이용한 태양전지 보다 낮은 효율을 가질 수밖에 없기 때문에 반도체 소자 공정을 응용하여 실리콘 웨이퍼 기판에서 고효율을 얻는 방법으로 연구가 진행 되고 있다. 본 연구에서는 마이크로 블라스터를 이용하여 태양전지 cell 상부에 AG(anti-glare)를 가지는 유리 기판을 형성하여 낮은 단가로 태양전지 cell의 효율을 향상시키기 위한 연구를 진행 하였다. 태양전지 cell 상부에 AG를 가지는 유리 기판을 형성하게 되면 태양의 위도가 낮아 표면에서 대부분 반사되는 태양광을 태양전지 cell에서 광기전력효과가 일어나게 하여 효율을 향상시킨다. 이때 사용한 micro blaster 공정은 고속의 입자가 재료를 타격할 때 입자의 아래에는 고압축응력이 발생하게 되고, 이 고압 축응력에 의하여 소성변형과 탄성변형이 발생된다. 이러한 변형이 발전되어 재료의 파괴 초기값보다 크게 되면 크랙이 발생되고, 점점 더 발전하게 되면 재료의 제거가 일어나는 단계로 이루어지는 기계적 건식 식각 공정 기술이라 할 수 있다. 먼저 유리 기판에 마이크로 블라스터 장비를 이용하여 AG를 형성한다. AG는 $Al_2O_3$ 파우더의 입자 크기, 분사 압력, 노즐과 기판과의 간격, 반복 횟수, 노즐 이동 속도 등의 공정 조건에 따른 유리 기판 표면에서의 광학적 특성 및 구조적 특성에 관하여 분석하였다. 일반적인 태양전지 cell 제작 공정에 따라 cell을 제작 한후 AG 유리 기판을 상부에 형성시키고 솔라시뮬레이터를 이용하여 효율을 측정하였다. 이때 솔라시뮬레이터의 광원이 고정되어 있기 때문에 태양전지 cell에 기울기를 주어 태양의 위도 변화에 대해 간접적으로 측정하였다. AG 유리 기판이 태양전지 cell 상부에 형성 되었을 때와 없을 때를 각각 비교하여 AG 유리 기판이 형성된 태양전지 cell에서의 효율 향상을 확인하였다.

• Korean Journal of Construction Engineering and Management
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• v.10 no.6
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• pp.146-153
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• 2009

The year 2008 was a hard year for Korea's construction companies. The real estate downturn resulted in halting new construction and stopping existing work, and inflation of global oil prices caused price hikes in rebar and concrete materials. As a solution to reducing the budget, the newly appointed government announced plans to increase low cost bid contracts from 10 billion to 30 billion won. When such economical and political factors negatively impact the construction market, projects based on low cost contracts are the hardest hit. Many problems already inherent in low cost bid contracts become accentuated. Consequently, this provides an opportune time to actually study and analyze the issues in these projects. This paper introduces the findings made from investigating four projects struggling to make ends meet in the year 2008. Results show that flow of cash (i.e., liquidity), or lack thereof, was the root cause which in turn was hampered by failed mechanisms for design changes, material inflation. Attributing cash flow risk to the bottom of the production structure (i.e., small business subcontractors) was also a problem within the industry. Contractors need a better way to prepare against material price fluctuations, and owners need to assist in expediting payment during times of extreme downturn.

• 한국지구물리탐사학회:학술대회논문집
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• 2000.09a
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• pp.132-146
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• 2000

Seismic refraction survey was performed for 10 lines along NE-SW and NW-SE directions above Nampoong gallery at Makyo-ri, Dogye, Samcheok, Kangwon-do. 48 geophones were laid in line with the interval of 1m, and a 5Kg hammer was used as a source at 5 points for each line. Data processing was done using reciprocal time method, GRM, and traveltime tomography which utilizes wavefront expansion method for forward process and STRT for inversion. The result shows that the first layer has its lower boundary between 3.49m and 8.88m. The P-wave velocity of the first and the second layer were estimated as 270${\~}$360m/s and 1550${\~}$1940m/s respectively. When the boundary of the first and second layer is smooth enough and the velocity difference is large enough, GRM has little advantage over reciprocal time method. The result of reciprocal method and traveltime tomography shows consistency. The northeast part of the boundary has syncline structure, which is similar to the topography above. This implies that the collapse of the cavities of Nampoong gallery result in the subsidence of the ground surface. The subsidence is in progress across the Youngdong railroad, therefore a proper reinforcement work is required.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.19 no.6
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• pp.54-63
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• 2015

We present a microscopic understanding of the chemical erosion due to combustion product on the nozzle throat using molecular dynamics simulations. The present erosion process consists of molecule-addition step and equilibrium step. First, either $CO_2$ or $H_2O$ are introduced into the system with high velocity to provoke the collision with graphite surface. Then, the equilibrium simulation is followed. The collision-included dissociation and its influence on the erosion is emphasized and the present molecular observations are compared with the macroscopic chemical reaction model.

• Current Industrial and Technological Trends in Aerospace
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• v.7 no.1
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• pp.11-19
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• 2009

Though the regional airlines have grown consistently with world's economic recovery after 2001, now the future of them is uncertain from the current economic depression since 2007. In the regional aircraft industry, there have been two main trends that larger airplanes and regional jets inroad the market. But, the situational change including radical rise of oil price and worldwide recession induces the managerial damage of airlines and it makes them doubt about the regional jet which has been the main stream of regional aircraft after the success of the ERJ-145 in 1990s. Still, most of being developed or planed regional aircrafts choose turbo fan, the future demands of turboprop increase and it becomes a good alternative of future regional aircraft in many market forecasts. Thus in this paper, current situation and tendency of regional aircraft market are investigated with various market forecast reports.

• The Korean Journal of Pesticide Science
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• v.20 no.2
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• pp.165-171
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• 2016

Platycodon grandiflorum and Codonopsis lanceolata have been considered as cash vegetables and alternative medicine plants in Korea. In a previous survey from 1998 to 2010, repeated cultivation of the plant increased root rot disease incidence and severity. The disease has been recognized as critically limiting factor for crop production. However, control method has not been established for the disease of P. grandiflorum and C. lanceolata. In this study, control efficacy of Tebuconazole EC, Trifloxystroim SC and grapefriut extract was evaluated on the root rot disease of these plants in two different field conditions. Three of different fungicide were non critical effect to the disease severity and the control value, but grapefriut seed extract (GSE) was more ability to control the disease in C. lanceolata. In most things, soil drainage was the most important to decrease the disease severity and to improve the control value.

• Journal of the Korean Geotechnical Society
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• v.29 no.12
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• pp.105-111
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• 2013

The standard penetration test (SPT) has been widely used because of its usability, economy, and many correlations with soil properties among other factors. In SPT, hammer energy is an important factor to evaluate and calibrate N values. To measure hammer energy, an instrumented SPT rod was developed considering that stress waves transferring on rods during SPT driving are the same as stress waves transferring on piles due to pile driving. Using this idea, an instrumented SPT rod with a pile driving analyzer was applied as a pile capacity prediction tool in this study. In order to evaluate this method, SPT and dynamic cone tests with the instrumented SPT rod were conducted and also 2 pile load tests were performed on pre-bored steel pipe piles at the same test site. End bearings were predicted by CAPWAP analysis on force and velocity waves from dynamic cone penetration tests and SPT. Comparing these predicted end bearings with static pile load tests, a new prediction method of the end bearing capacity using the instrumented SPT rod was proposed.

• Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
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• 2019.05a
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• pp.123-124
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• 2019

우리나라 조선업은 건조분야에서 세계최고의 위상을 자랑하면서 급속도로 발전을 해왔다. 그러나 세계적으로 수주 불황과 조선 산업의 침체로 인해서 조선 산업은 직접적인 타격으로 국내의 중견 조선소 및 기자재 공급업체들이 도산되어0 최근부터 해양플랜트 사업이 우리나라 새로운 산업으로 부상하면서 해양 ICT 융합기술을 활용한 기자재 업체들이 많이 생겨났다. 하지만 실제 해양플랜트 선박 및 기자재의 국산화율은 현저히 낮다. 해양플랜트 외에 다른 용도로 사용이 가능한 Service and Access Basket의 국산화를 위해서 각 모듈별로 임베디드를 연계하여 설계하였다. 기존의 Service and Access Basket의 미비했던 안전 사양(기울기, 하중, 경보 등)을 추가로 설계하고 신뢰성이 높은 센서(자이로, 하중센서, 초음파 거리센서)들을 활용하여 통합 설계하였다. 이러한 통합 시스템이 완성이 되면 고소차, 해양/육상용 고공 작업을 할 수 있는 장비 등에 활용할 수 있을 예정이다.