Characterization of Electrical Properties of Si Nanocrystals Embedded in a $SiO_2$ Layer by Scanning Probe Microscopy
(SPM (Scanning Probe Microscopy)을 이용한 $SiO_2$ layer에서의 실리콘 나노 크리스탈의 전기적 특성 분석)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2005.07c
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- pp.1900-1902
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- 2005