NDRO형 FeRAM용 MeFIS와 MeFINS 구조의 게이트 캐퍼시터 특성
(Characteristics of Pt/SBT/$Ta_2O_5$ /Si (MFIS) and Pt/SBT/$Ta_2O_5$ /SiNx/Si (MFINS) Structure Gate Capacitors for NDRO type FeRAM Applications)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.94-94
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- 2001