• Title/Summary/Keyword: 칼날주사법

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Precision measurements of radiometric aperture area by laser spot scanning along the edge of the aperture (레이저 스폿의 칼날주사 방법에 의한 복사계 개구 면적의 정밀측정)

  • 강창호;김석원;박승남
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.15 no.3
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    • pp.258-262
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    • 2004
  • The uncertainty of the detector-based candela scale is limited by the area measurement uncertainty of radiometric apertures. The apertures were fabricated with a diamond-turning machine which trimmed the edge of the apertures as sharply as a knife edge. The positions of the apertures were controlled by a digital feedback algorithm to scan the laser spot with the beam waist less than 5 ${\mu}{\textrm}{m}$. The knife edge scan yielded a set of coordinates on the edges of the aperture. The areas of the apertures were obtained by fitting the coordinates to the ellipses. The relative standard uncertainty of the measurement was estimated to be 8${\times}$10$^{-5}$.

AQuaKET Overview - A Nano-Accuracy Testing Method for Very Large Optics (AQuaKET 개괄 - 초대구경 나노정밀도 광학측정법)

  • 김영수
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.24-25
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    • 2002
  • 밀레니움을 전후하여 세계적으로 8m급 초대형 망원경들이 만들어지고 있다. ESO (European Southern Observatory)의 VLT (Very Large Telescopes) 4기, 미국 영국 카나다 등의 연합 Gemini telescope 2기, 일본의 Subaru 1기 등, 10여기의 망원경들이 완성되었고, 차세대 망원경들이 50m급으로 디자인되고 있다. 우주망원경도 지름 2.4m인 허블 우주망원경(Nubble Space Telescope)의 뒤를 이어 6m급의 차세대 우주망원경 (Next Generation Space Telescope)이 개발되고 있어서 2010년경에 발사될 예정이다. (중략)

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주사형 정전용량 현미경(SCaM)의 개발

  • 김응규
    • 전기의세계
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    • v.42 no.9
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    • pp.6-11
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    • 1993
  • 미소탐침을 STM과 같이 PZT등의 압전액튜에이터로 대상물을 2차원 또는 2.5차원 주사해서 그 정전량을 화상화하는 주사형 정전용량 현미경(SCaM)의 개발에 대해서 기술했다. 광학현미경과 레이저현미경은 빛을 이용하기 때문에 파장의 제약을 받아 그 분해능의 한계는 0.3[.nu.m]정도이다. 이것에 대해 SCaM은 광학방식가 같은 분해능의 원리적 한계가 없고, 또한 광학상과는 다른 유전율상의 특성화상이 얻어진다. 이와같은 특징에 의해, 최종적으로 0.01[.mu.m]레벨의 분해능을 얻을 수 있는 실용레벨의 현미경을 시험제작함을 목적으로 하고 있다. 본 연구에서는 탐침과 시료표면간의 거리를 진동에 의해 미소로 변화시켰을 때의 정전용량의 변화를 포착하는 미분용량법을 이용했으며, 탐침높이 및 주사시에 있어서의 검출기 출력의 재현성, 즉 신호 검출방식으로서의 S/N이 양호한 동기검파를 이용했을 대해서 실험적 검토를 하였다. 이와같은 검파방식에 의해 잡음, 히스테리시스 등의 영향에 대해 개선이 되고, 분해능도 향상되었다. 더욱이 2.5차원 탐침 주사방식 미분용량형 정전용량 현미경에 의해 칼날 부분 선단부의 확대화상이 명료하게 얻어졌다. 그러나 실용적으로는 아직 불충분하다.

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