• Title/Summary/Keyword: 침투 길이

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전자선 직접묘사에 의한 Deep Submicron $p^+$Poly pMOSFET 제작 및 특성

  • Kim, Cheon-Su;Lee, Jin-Ho;Yun, Chang-Ju;Choi, Sang-Soo;Kim, Dae-Yong
    • ETRI Journal
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    • v.14 no.1
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    • pp.40-51
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    • 1992
  • $0.25{\mu} m$ 급 pMOSFET소자를 구현하기 위해, $P^+$ 폴리실리콘을 적용한 pMOS를 제작하였으며, $p^+$ 폴리실리콘 게이트 소자에서 심각하게 문제가 되고 있는 붕소이온 침투현상을 조사하고 붕소이온 침투가 일어나지 않는 최적열처리온도를 조사하였다. 소자제조 공정중 게이트 공정만 전자선 (EBML300)을 이용하여 직접묘사하고 그 이외의 공정은 stepper(gline) 을 사용하는 Mix & Match 방법을 사용하였다. 또한 붕소이온 침투현상을 억제하기 위한 한가지 예로서, 실리콘산화막과 실리콘질화막을 적층한 ONO(Oxide/Nitride/Oxide) 구조를 게이트 유전체로 적용한 소자를 제작하여 그 가능성을 조사하였다. 그 결과 $850^{\circ}C$의 온도와 $N_2$ 분위기에서 30분동안 열처리 하였을 경우, 붕소이온의 침투현상이 일어나지 않음을 SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometer) 분석 및 C-V(Capacitance-Voltage) 측정으로 확인할 수 있었으며 그 이상의 온도에서는 붕소이온이 침투되어 flat band전압(Vfb)을 변화시킴을 알았다. 6nm의 얇은 게이트 산화막 및 $0.1{\mu} m$ 이하의 LDD(Lightly Doped Drain) $p^-$의 얇은 접합을 형성함으로써 소자의 채널길이가 $0.2 {\mu} m$까지 짧은 채널효과가 거의 없는 소자제작이 가능하였으며, 전류구동능력은 $0.26\muA$/$\mu$m(L=0.2$\mu$m, V$_DS$=2.5V)이었고, subthreshold 기울기는 89-85mV/dec.를 얻었다. 붕소이온의 침투현상을 억제하기 위한 한가지 방법으로 ONO 유전체를 소자에 적용한 결과, $900^{\circ}C$에서 30분의 열처리조건에서도 붕소이온 침투현상이 일어나지 않음으로 미루어 , $SiO_2$ 게이트 유전체보다 ONO 게이트 유전체가 boron 침투에 대해서 좋은 장벽 역활을 함을 알았다. ONO 게이트 유전체를 적용한 소자의 경우, subthreshold특성은 84mV/dec로서 좋은 turn on,off 특성을 얻었으나, ONO 게이트 유전체는 막자체의 누설전류와 실리콘과 유전체 계면의 고정전하량인 Qss의 양이 공정조건에 따라 변화가 심해서 문턱전압 조절이 어려워 소자적용시 문제가 된다. 최근 바닥 산화막(bottom oxide) 두께가 최적화된 ONO 게이트 유전체에 대하 연구가 활발히 진행됨을 미루어, 바닥 산화막 최적화가 된다면 더 좋은 결과가 예상된다.

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영광지역 해수침투 평가를 위한 중성자검층의 적용

  • 황세호;신제현;길준호;박윤성;이상규;송무영
    • Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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    • 2003.09a
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    • pp.258-262
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    • 2003
  • 연안지역에서 해수침투대의 평가를 위하여 다양한 물리검층을 수행하였다. 특히, 해수침투대의 정량적인 평가에 활용될 수 있는 지층의 공극측정은 매우 어려운 문제중의 하나이다. 연안지역의 경우, 미고결지층에 대한 불교란 시료 채취가 어렵고 대부분의 관측정은 시추공 붕락방지를 위하여 내경 50mm 의 PVC 케이싱을 설치하는 경우가 많기 때문에 공극의 측정은 현실적으로 많은 어려움이 따른다. 본 연구에서는 전남 영광지역에서 각종 조사목적으로 굴착한 시추공에서 다양한 물리검층을 수행하여 공내수의 높은 전기전도도가 기원하는 지층을 확인하고자 하였다. 전자유도검층과 공극검층을 수행한 시추공(YK-4호공)에 대한 해석결과, 공내수의 높은 전기전도도는 물리검층법으로 추정한 사질층 공극수와 비슷한 범위를 보였다. 물리검층법으로 추정한 공극이나 높은 염수를 보이는 구간에 대한 해석결과는 보완해야할 많은 부분이 있지만 제한된 현장 상황에서 조사결과의 불화실성을 줄이는데 많은 기여를 할 것으로 기대된다.

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Study on Behavior of Salinity Wedge at Nakdong River Barrage (낙동강 하구둑 염수쐐기의 거동에 관한 연구)

  • Park, Sang-Kil;Kim, Do-Hun;Han, Chong-Soo;Jung, Sang-Woo
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.63-67
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    • 2011
  • 본 연구에서는 낙동강 하구둑의 수문을 완전히 개방한 경우로 상정하여 외해로부터 염수가 하천의 상류방향으로 침입해 가는 과정을 수치모의하였다. 본 연구의 목적은 염분 침투현상에 대해 모델링 및 과거 관측한 자료를 이용하여 낙동강 하구둑 상류로 침투되는 염수쐐기의 거동을 규명함으로써 낙동강 하구둑 상류지역의 기수역을 확보하고자 하는 것이다. 수치모의를 수행한 결과, 대상 영역 내에서 염수가 하구부를 시작으로 낙동강 상류방향으로 활발하게 침입하고 있음을 알 수 있었다. 각 경우의 결과로부터 밀도차에 의한 담수와 염수의 층 분할현상은 유입유량이 작을수록 더욱 강하게 나타나고 유입 유량이 클 경우 층분할 현상이 작아지며 좁은 영역에서 담수와 염수의 혼합이 이루어지고 있다는 것을 알 수 있다.

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A proposal on High Speed Hash Algorithm(HAVES) (고속 동작 가능한 해쉬 알고리듬(HAVES)의 제안)

  • 윤호선;류종호;김락현;윤이중;염홍열
    • Journal of the Korea Institute of Information Security & Cryptology
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    • v.8 no.4
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    • pp.3-20
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    • 1998
  • 해쉬 함수는 임의의 길이를 갖는 메세지를 규정된 길이의 값으로 압축하는 알고리듬으로 메시지 정보의 무결정 , 사용자 인증, 바이러스 침투 예방에 응용될 수 있는 핵심 보안 알고리듬이다. 또한 안전한 해쉬 함수는 일방향성, 충돌회피성, 고속 동작성 등의 특성을 지녀야 한다. 본 노눈에서는 응용에 따라 128, 160, 192, 224, 256 비트 길이로 출력을 생성하고 암호학적으로 강력한 안전성을 지닌 해쉬 알고리듬(HAVES: Hash Algorithm with Variable IEngth Speed)을 제안한다. 이 해쉬 알고리듬은 메시지 블록을 1024비트 단뒤로 처리하고 연산의 효과적인 배열을 통해 비교적 빠른 속도로 동작한다. 제안하는 해쉬 알고리듬은 0-1 균형성(Balancedness), 높은 비선형성(Nonlinearity), 구조적인 선형 비등가성 (Linearly Inequivalent), 상호 출력 무상관성(Mutually Output Uncorrelated), SAC(Strict Avalanche Criterion)를 모두 만족함으로서 효율성과 안전성을 도모한다. 더불어 안전성이 요구되는 실용적인 응용에 맞게 출력 길이를 가변적으로 선택할 수 있도록 했다.

Spray and Combustion Characteristics of Liquid Jet in Cross Flow (횡단류에 분사되는 액체 제트의 분무 및 연소 특성)

  • Lee, Gwan-Hyeong;Kim, Du-Man;Gu, Ja-Ye;Hwang, Jin-Seok
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.34 no.12
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    • pp.48-58
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    • 2006
  • The spray and combustion characteristics of liquid jet in cross flow with variation of injection angle are numerically studied. Numerical analysis was carried out using KIVA code, which may be used to generate numerical solutions to spray and chemical reactive fluid problem in three space dimensions and modified to be suitable for simulating liquid jet ejected into the cross flow. Wave model and Kelvin- Helmholtz(KH) /Rayleigh-Taylor(RT) hybrid model were used for the purpose of analyzing liquid column, ligament, and the breakup of droplet. Penetration length increases as flow velocity decreases and injection velocity increases. Numerical error increases as inflow velocity increases. The results of flame propagation contour in combustion chamber and local temperature distribution, combustion emissions were obtained.

A Study on the Characteristics of Liquid Jet in Crossflows Using Elliptical Nozzles (타원형 노즐을 이용한 횡단류 유동에서 액체제트 특성 연구)

  • Song, Yoonho;Hwang, Donghyun;Ahn, Kyubok
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.320-324
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    • 2017
  • Effect of elliptical orifice on the spray characteristics of liquid jet ejecting into subsonic crossflows were experimentally studied. Circular/elliptical plain-orifice injectors, which had different ratios of the orifice length to diameter and major axis to minor axis, were used for transverse injection. Compared with the previous research, breakup lengths of elliptical nozzles are shorter than circular nozzles at all experimental condition. Cavitation/hydraulic flip are considered as a reduction in the breakup length at all circular/elliptical nozzle. In the case of liquid column trajectories, major axis which was placed to the crossflows, increases the frontal area of the liquid column exposed to the crossflows. Hence, the aerodynamic force exerted on the jet is increased and the penetration depth is reduced.

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Numerical Simulation of Salinity Intrusion into Groundwater Near Estuary Barrage with Using OpenGeoSys (OpenGeoSys를 이용한 하굿둑 인근 지하수 내 염분 침투 수치모의)

  • Hyun Jung Lee;Seung Oh Lee;Seung Jin Maeng
    • Journal of Korean Society of Disaster and Security
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    • v.16 no.4
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    • pp.157-164
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    • 2023
  • The estuary dam is a structure installed and operated in a closed state except when flood event occurs to prevent inland saltwater intrusion and secure freshwater supply. However, the closed state of dam leads to issues such as eutrophication, so it is necessary to examine the extent of saltwater intrusion resulting from the opening of sluice gates. Groundwater, due to its subsurface conditions and slow flow characteristics, is widely analyzed using numerical models. OpenGeoSys, an open-source software capable of simulating Thermal- Hydraulic- Mechanical- Chemical phenomena, was adopted for this study. Simulations were conducted assuming natural flow conditions without dam and operating considering busy farming season, mostly from March to September. Verification of the model through analytical solutions showed error of 3.7%, confirming that OpenGeoSys is capable of simulating saltwater intrusion for these cases. From results simulated for 10 years, considering for the busy farming season, resulted in about 46% reduction in saltwater intrusion length compared to natural flow conditions, approximately 74.36 m. It may be helpful to make choices to use groundwater as a water resource.

Experimental Study on Fuel/Air Mixing using the Cavity in the Supersonic Flow (초음속 유동장 내의 공동을 이용한 연료/공기 혼합에 관한 실험적 연구)

  • Kim Chae-Hyoung;Jeong Eun-Ju;Jeung In-Seuck
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2005.11a
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    • pp.64-71
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    • 2005
  • To achieve efficient supersonic combustion within a manageable length, a successful fuel injection scheme must provide rapid mixing between fuel and airstream. In former days, various injection concepts have been investigated. Cavity flow is the open type, that is, length-to-depth ratio L/D=4.8, aft ramp angle is $22.5^{\circ}$. An experimental study on a transverse cross jet injection into a Mach 1.92 supersonic main stream which flows over a cavity was carried out to investigate the effect of the momentum flux ratio(J), the jet interaction characteristics, and the pressure distribution in the combustor and using the primary diagnostics : schlieren visualization and wall static pressure measurements. Fuel penetration height and jet interaction characteristics depend strongly on the momentum flux ratio.

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Leaching behaviour of the systemic insecticide carbofuran and the herbicide pretilachlor in soil columns (토양 column중 침투성 살충제 carbofuran과 제초제 pretilachlor의 용탈)

  • Lee, Jae-Koo;Kyung, Kee-Sung;Jung, In-Sang;Ahn, Ki-Chang;Kwon, Jeong-Wook
    • The Korean Journal of Pesticide Science
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    • v.2 no.2
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    • pp.59-67
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    • 1998
  • 토양중 침투성 살충제 carbofuran과 제초제 petilachlor의 용탈행적을 구명하기 위하여 물리화학적 성질이 상이한 2종의 논토양으로 충전된 토양 column (내경 5cm ${\times}$ 길이 30cm)에 $^{14}C$-표지 화합물을 각각 처리한 후 벼 (Oryza sativa L.)를 생육시키면서 벼를 심지 않은 경우를 대조구로 하여 8주 동안 주당 95.2 ml씩 용탈시켰다. Carbofuran의 경우 토양 column에서 용탈된 $^{14}C$ 방사능의 양은 벼를 재배하지 않은 토양 A와 B에서 각각 총처리 방사능의 74.8와 92.3%였으며, 벼를 재배한 토양에서는 각각 45.1%와 69.7%였다. 반면에 petilachlor의 경우 벼를 재배한 토양 column에서는 각각 총처리 방사능의 2.4%와 5.0%가 용탈되었으며, 벼를 재배한 경우는 각각 3.1%와 8.2%가 용탈되었다. 토양에 처리한 [$^{14}C$]화합물 모두 벼의 생육유무에 관계없이 양이온치환용량, 유기물 및 점토의 함량이 적은 토양 B에서 $^{14}C$ 방사능의 용탈이 증가되었다. 토양 column중 carbofuran의 이동성은 매우 높은 반면에 petilachlor는 매우 낮았으며, 이는 그들의 토양흡착과 수용성에 기인된 것으로 판단된다.

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A Permeable Wedge Crack in a Piezoelectric Material Under Antiplane Deformation (면외변형하의 압전재료에 대한 침투 쐐기균열)

  • Choi, Sung Ryul;Park, Jai Hak
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.39 no.9
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    • pp.859-869
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    • 2015
  • In this study, we analyze the problem of wedge cracks, which are geometrically unsymmetrical in transversely piezoelectric materials. A single concentrated antiplane mechanical load and inplane electrical load are applied at the point of the wedge surface, while one concentrated antiplane load is applied at the crack surface. The crack surfaces are considered as permeable thin slits, where both the normal component of electric displacement and the electric potential are assumed to be continuous across these slits. Using Mellin transform method, the problem is formulated and the Wiener-Hopf equation is derived. By solving the equation, the solution is obtained in a closed form. The intensity factors of the stress and the electric displacement are obtained for any crack length as well as inclined and wedge angles. Based on the results, the intensity factors are independent of the applied electric loads. The electric displacement intensity factor is always dependent on that of stress intensity factor, while the electric field intensity factor is zero. In addition, the energy release rate is computed. These solutions can be used as fundamental solutions which can be superposed to arbitrary electromechanical loadings.