• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.232-232
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• 2012

반도체 공정에서 일반적으로 오염입자를 측정하는 방법은 테스트 웨이퍼를 ex-situ 방식인 surface scanner를 이용하여 분석하는 particle per wafer pass (PWP) 방식이 주를 이루고 있다. 이러한 오염입자는 반도체 수율에 결정적인 역할을 하는 것으로 알려져 있으며 반도체 선폭이 작아지면서 제어해야하는 오염입자의 크기도 작아지고 있다. 하지만, 현재 사용하는 PWP 방식은 실시간 분석이 불가능하기 때문에 즉각적인 대처가 불가능 하고 이는 수율향상에 도움이 되지 못하는 후처리 방식이다. 따라서 저압에서 오염입자를 실시간으로 측정할 수 있는 장비에 대한 요구가 늘어나고 있는 실정이다. 저압에서 나노입자를 측정할 수 있는 장비로 PBMS가 있다. PBMS는 electron gun을 이용하여 입자를 하전시킨 후 편향판을 이용하여 크기를 분류하고 Faraday cup으로 측정된 전류를 환산하여 입자의 농도를 측정하는 장비이다. 편향판에 의하여 Faraday cup으로 이동되는 입자들은 농도 차에 의한 확산현상이 발생한다. 본 연구에서는 Faraday cup 이동 시 발생하는 확산현상을 여러 크기의 Faraday cup과 polystyrene latex (PSL) 표준입자를 이용하여 분석하였다. Faraday cup을 고정 식이 아닌 이동 식으로 설계를 하여 축의 원점을 기준으로 이동시켜 가면서 입자 전류량을 측정하였으며, 이를 기준 (reference) Faraday cup의 측정량과 비교하여 효율을 계산하였다. PSL 표준 입자 100, 200 nm 크기에 대하여 cup의 크기를 바꿔 가면서 각각 평가 하였다. 그 결과 입자의 크기가 작을 수록 더 넓은 구간으로 확산되었고 크기가 작은 Faraday cup의 경우에 정밀한 결과를 얻을 수 있었다. 본 연구를 통하여 편향판을 지나면서 발생하는 입자의 확산현상에 대한 정량적 평가를 수행할 수 있었으며, 추후 PBMS 설계 시 Faraday cup 크기를 결정하고 Faraday cup array 기술을 적용하는데 유용하게 활용 될 수 있을 것으로 기대 된다.

• Journal of the Korean Electrochemical Society
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• v.13 no.2
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• pp.81-88
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• 2010

Small size polymer electrolyte membrane fuel cell (PEMFC) stacks were prepared using carbon composite and graphite bipolar plates and their performances were evaluated on reactant gas and operating time. In comparison to single cell and stack, it was identified that home-made bipolar plate was well-designed to maximize stack performance as high as that of single cell. During long-term operation, the performances of stacks using two different kinds of bipolar plates were compared. The decrease of performance in both stacks was accelerated with increasing load current. It was observed from stack test that the stack performance using carbon composite bipolar plate was very similar to that using graphite bipolar plate.

• Progress in Medical Physics
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• v.9 no.2
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• pp.77-88
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• 1998

Wedge shaped isodoses are desired in a number of clinical situations. Hard wedge filters have provided nominal angled isodoses with dosimetric consequences of beam hardening, increased peripheral dosing, nonidealized gradients at deep depths along with the practical consequendes of filter handling and placement problems. Dynamic wedging uses a combination of a moving collimator and changing monitor dose to achieve angled isodoses. The segmented treatment tables(STT) that monitor unit setting by every distance of moving collimator, was induced by numerical formular. The characteristics of dynamic wedge by STT compared with real dosimetry. Methods and Materials : The accelerator CLINAC 2100C/D at Yonsei Cancer Center has two photon energies (6MV and 10MV), currently with dynamic wedge angles of 15$^{\circ}$, 30$^{\circ}$, 45$^{\circ}$ and 60$^{\circ}$. The segmented treatment tables(STT) that drive the collimator in concert with a changing monitor unit are unique for field sizes ranging from 4.0cm to 20.0cm in 0.5cm steps. Transmission wedge factors were measured for each STT with an standard ion chamber. Isodose profiles, isodose curves, percentage depth dose for dynamic wedge filters were measured with film dosimetry. Dynamic wedge angle by STT was well coincident with film dosimetry. Percent depth doses were found to be closer to open field but more shallow than hard wedge filter. The wedge transmission factor were decreased by increased the wedge angle and more higher than hard wedge filters. Dynamic wedging probided more consistent gradients across the field compared with hard wedge filters. Dynamic wedging has practical and dosimetric advantages over hard filters for rapid setup and keeping from table collisions. Dynamic wedge filters are positive replacement for hard filters and introduction of dynamic conformal radiotherapy and intensity modulation radiotherapy in a future.

• Geotechnical Engineering
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• v.8 no.1
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• pp.7-18
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• 1992

This paper is a basic study of three by finite element method. Plate and medium. Plate is discretized 4 node p melt. At the interface between plate a melt is adopted for considering plate Measured vertical displacement out by plate foundation interaction finite zion is followed as ; 1. as being interface element adopts dation interaction finite element 2. As being interface element and platefoundation interaction finite 3. As being interface element adopte Therefore, post processing that as.

• Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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• spring
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• pp.131-136
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• 2004

스피커는 진동판의 크기와 형태 외에도 소재 또는 내부구조에 따라 구동 특성이 달라진다. 본 연구에서는 동일한 신호가 입력되는 두 진동판 사이에 공동을 형성시킨 경우, 다공성 흡음재를 삽입한 경우 스피커의 특성 변화를 관측하였다. 특히, 다공성 흡음재를 삽입한 경우, 다공성 물질의 체적을 동일하게 하고 진동판 표면 상태에 따른 영향과 진동판 상의 진동 전달 경로에 의한 영향을 제거하여 내부물질에 따른 특성의 변화를 측정하였다.

• Information and Communications Magazine
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• v.26 no.5
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• pp.10-14
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• 2009

본고에서는 RGB LED전광판을 이용한 가시광 정보 방송시스템에 대하여 기술한다. 현재 상용 RGB LED로 구성된 전광판에 기존의 디스플레이 기능 외에 디지털 데이터 변조기능을 부가하였다. 전광판의 규격은 1단 2열 구조로 설정하였고, 전광판의 모든 RGB LED는 NRZ 10/20 Mbps신호로 동시에 변조가 가능하도록 설계하였다. LED가 공기 중으로 방사한 가시광 신호의 성능은 수신기를 통해 데이터를 검출한 뒤에 비트오율을 측정하여 검증하였다. 전광판 RGB LED를 최대한 활용하여 LED를 10 Mbps 데이터 신호로 변조하여 방송했을 때 에러 없이 5.6m이상 전송이 가능하였고, 전송 속도가 20 Mbps인 경우는 $10^{-6}$비트오율 기준으로 5.6m까지 방송이 가능하였다. 향후 전광판 LED가 통신용으로 설계된 제품으로 대체되어 변조 특성이 좋아지고, 전광판 구조가 커져 전광판이 방출하는 전체 광출력이 증가하면 전송 특성이 보다 향상될 것으로 예상된다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2008.10a
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• pp.14-16
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• 2008

자동차 구동용 연료전지 스택에 적용된 분리판에 대하여 연료전지 내부의 수분분포 및 농도를 측정할 수 있는 중성자 가시화 기법을 이용하여 구조진단을 실시하여 유로의 분기부 및 180도 회전부의 수분 응축과 같은 국부적인 Flooding 현상과 분리판의 반응면적 전체에 대한 불균일한 수분분포를 확인하였다. 신규 개발 스택에 적용된 분리판은 이러한 구조진단 결과를 바탕으로 변형된 유로 도입을 통한 180도 회전부 제거, 냉각수 입구와 인접한 부분에서 교차하게 되는 수소 출구 부분의 수분응축에 의한 Flooding 현상을 완화하기 위한 냉각수 유로를 적용하여 중성자 가시화 기법을 통하여 동일한 가습조건에서 부하에 따른 분리판 반응면적 전체에 대한 수분분포를 조사하였다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2008.10a
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• pp.114-117
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• 2008

본 연구에서는 알루미늄 반사판을 이용한 저집속 (2.25X) 집광형 태양광 모듈을 설계 및 제작하여 실증 연구를 실시하였다. 반사판을 이용한 집광형PV시스템의 성능향상을 평가하기 위하여, 일사량과 모듈온도 변화에 따른 출력변화와 효율변화를 평판형 모듈과 집광형 모듈에 대해서 각각 측정하고 비교하였다. 결과적으로 반사판을 사용 집속한 모듈이 약 20% 이상의 출력 증가를 보였으며, 모듈의 평균 온도 상승에도 불구하고 1.4 배의 발전효율 증가를 확인하였다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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• v.9 no.2
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• pp.174-180
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• 1985

A new measuring technique for the rigidities of stiffened plated is presented. The equations relating the rigidities of stiffened plates and the natural frequencies of a cantilever plate are derived and the rigidities are determined using the measured natural frequencies of the plate. The static deflection tests are conducted for checking the validity of this method. For unstiffened plates the measured rigidities are good agreement with the theoretical values and the experimental results of deflection tests. In the case of stiffened plates the measured rigidities closely matched with the results of deflection tests. It has been also demonstrated that this measuring technique can be utilized in determining the rigidities of arbitrarily stiffened plates.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.14 no.5
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• pp.29-35
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• 1995

Nonlinear distortion arising from the nonlinear movement of the loudspeaker diaphragm degradates the tone quality. The distortion is, in low frequency range, mainly caused by nonlinear characteristics of the suspension stiffness and the force factor. In this paper, the nonlinear suspension stiffness and the nonlinear force factor are modeled to the quadratic functions and a method is proposed to determine their coefficients. An additional mass to the diaphragm moved the quiescent point of the diaphragm and uncoupled the stiffness and the force factor. This made it possible to deter mine the coefficients of the nonlinear suspension stiffness by measuring the resonance frequencies at several quiescent points. The coefficients of the nonlinear force factor are then determined by fitting the curve which is calculated from the waveforms of input voltage and input current, and the displacement of the diaphragm at resonance frequency.