• 제목/요약/키워드: 충돌각도

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반도체 및 디스플레이 세정 공정용 $CO_2$ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석

  • 최후미;조유진;이종우;김태성
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.303-303
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    • 2013
  • 표면에 부착된 나노/마이크로 입자는 다양한 분야에서 오염물질로 작용한다. 특히 형상이 미세하고 공정 단계가 복잡한 반도체 및 디스플레이 등의 전자 소자 공정에서 미치는 영향이 크다. 따라서 입자상 오염물질의 제거에 관하여 상용화된 습식 세정 방법이 다양하게 존재하지만 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 문제점이 있어 새로운 세정 방법이 요구된다. 이에 건식 세정 방법, 그 중에서도 입자의 충돌을 통해 제거하는 방법인 에어로졸 세정, 필렛 세정 등이 개발되었으나 마이크로 크기로 생성되는 입자로 인하여 형상의 손상이 크다. 따라서 본 연구에서는 나노 단위로 기체/고체 혼합물만 생성하여 세정하는 가스 클러스터 세정 방법을 이용하여 이러한 문제점을 해결하고자 하였다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 정의 및 제어하기 위하여 생성되는 클러스터 특성에 관하여 이론적, 수치 해석적, 실험적 연구를 수행하였다. 먼저, $CO_2$의 물리적 특성 및 이를 이용한 특정 크기 오염 물질을 제거하는데 요구되는 임계 클러스터 크기 계산을 이론적으로 구하였다. 이는 오염물질의 부착력과 클러스터의 운동량 전달에 의한 제거력의 비교를 통해 이루어졌다. 두 번째로 클러스터 크기분포를 수치 해석적으로 예측하기 위하여 각 조건에 대하여 유동해석을 수행하고 이를 통해 구해진 노즐 내 기체의 냉각 속도를 GDE (General Dynamic Equation) 계산에 대입하여 구하였다. 마지막으로 PBMS(Particle Beam Mass Spectrometer)를 이용하여 실험적으로 클러스터 크기분포를 각 조건에 대하여 구할 수 있었다. 또한 크기 분포 경향에 대한 간접적 확인을 위하여 포토레지스트가 코팅된 웨이퍼에 클러스터의 충격으로 생성된 크레이터 크기의 경향을 분석하였다. 이와 같은 방법에 의하여 생성되는 클러스터는 노즐의 유량 증가, 온도 상승에 각각 비례하여 작아지는 것을 확인할 수 있었다.

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$CO_2$ 클러스터 표면 처리를 이용한 그래핀 특성 향상에 관한 연구

  • 최후미;김장아;조유진;황태현;이종우;김태성
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.655-655
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    • 2013
  • 그래핀은 높은 전자 이동도, 열전도도, 기계적 강도, 유연성 등의 고유한 특성으로 다양한 분야에 응용하기 위한 연구가 수행되고 있으며, 특히 전자 소자에의 적용에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 전자 소자에 적용하기 위해서는 성장 및 물성에 관한 규명, 응용 소자에 따른 특성 평가가 필요하다. 이러한 소자 특성은 그래핀 물성에 의한 영향이 기본적이지만 에칭, 전사 등의 공정 중 발생하는 오염, 표면 특성, 잔여물 등에 의한 물성 변화 또한 분석 및 제어에 관한 연구가 필요하다. 열화학증착법(thermal chemical vapor deposition)을 이용한 그래핀 합성은 구리 기판을 사용하며, 합성된 그래핀의 에칭, 박리 및 전사 공정이 있다. 이러한 공정 중 발생하는 오염 입자가 그래핀 표면에 흡착되거나, 제거되지 않은 PMMA 잔여물이 그래핀의 특성에 영향을 미치게 된다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터의 표면 충돌을 이용하여 이러한 오염 물질 및 잔여물을 제거하고 그래핀 표면을 평탄화하는 것에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기 까지 성장 하게 된다. 클러스터를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반 한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 본 연구에서는 이러한 변수들을 제어하여 클러스터를 이용한 그래핀 표면 처리 실험을 수행하였다. 평가는 클러스터 표면 처리 전과 후의 특성 비교에 기반 하였으며, 광학 현미경을 이용한 표면 형상 측정, 라만분광 분석, AFM을 이용한 표면 조도 측정, 그래핀 면저항 측정 결과를 비교하였다. 평가 결과를 통하여 표면 처리를 하지 않은 그래핀에 비하여 면저항과 표면 조도가 낮아지는 것을 확인 할 수 있었다. 또한 클러스터 세정은 300 mm 웨이퍼 크기 이상의 대면적을 짧은 시간에 건식으로 세정할 수 있다는 장점이 있어 향후 최적화를 통해 그래핀 양산 시 특성 향상을 위한 후처리 방법으로 사용될 수 있음을 확인하였다.

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CFD-DEM 연동을 통한 함정용 채프운의 시공간 분포 해석 (Numerical Simulation of Spatiotemporal Distribution of Chaff Clouds for Warship Defense using CFD-DEM Coupling)

  • 정욱진;김문홍;손동우
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제36권2호
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    • pp.93-103
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    • 2023
  • 수많은 함정용 채프들은 폭발에 의해 확산되어 채프운을 형성하며, 채프운은 허위 레이더 반사 단면적을 생성하여 적의 레이더를 기만한다. 본 논문에서는 전산유체역학-이산요소법 단방향 연동 기법을 기반으로 공기 중에 분포하는 함정용 채프운의 시공간 분포를 해석하는 수치적 프레임워크를 구축하고 바람의 방향과 속도, 채프 카트리지의 초기 각도와 폭발 압력이 채프운 분포에 미치는 영향을 분석하였다. 채프운의 확산은 폭발에 의한 방사형 확산, 난류와 충돌에 의한 전 방향 확산, 낙하 속도 차이에 의한 중력 방향 확산과 같이 세 단계로 구분되는 것을 확인하였다. 바람은 채프운의 평균 위치를 이동시켰으며, 항력에 의한 확산 효과는 나타나지 않았다. 카트리지 초기 각도에 따라 폭발에 의한 방사형 확산 방향이 달라졌으며, 각도가 지면과 수직에 가까울수록 더 넓게 확산되었다. 폭발 압력이 증가할수록 채프운은 더 넓게 확산되었으나 중력 방향으로는 분포 차이가 작았다.

인쇄회로 기판의 전기검사에서의 미세 탐침과 패드의 동적 거동 현상 관측 (Observation of Dynamic Movement of Probing Pin on PCB Pad Using Electrical Reliability Test)

  • 송성민;차강일;김명규;전승호;유상석
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제39권3호
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    • pp.245-251
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    • 2015
  • 인쇄기판의 양산 신뢰성 확인을 위한 전기검사에서는 다수의 미세 탐침들이 기판의 패드와 접점을 유지하며 회로의 전기적 신뢰성을 확인하는 검사이다. 이 때 다수의 탐침들이 모두 정 정렬 될 수 없으므로 탐침의 충돌하는 위치와 각도는 기판에 심각한 결과를 초래할 수 있다. 본 연구에서는 탐침이 패드와 충돌하는 상황에서 발생할 수 있는 탐침의 미끄러짐 현상을 관측하고자 한다. 탐침은 접촉부가 둥근형상과 평평한 형상의 두 종류를 선정하였고, 탐침 돌출 길이, 탐침 직경, 이송 속도 등이 탐침의 미끄러짐에 주는 영향을 관찰하였다. 이를 통해 전기 검사 시 탐침의 경사에 따라 기판의 패드에 작용하는 수평 인가력과 탐침 경사각 사이의 관계를 조사하였으며, 또 전기 검사 후 미끄러진 탐침의 복원시 발생할 수 있는 탐침과 패드 사이의 역학관계에 대해서도 고찰하였다. 경사각은 탐침의 접촉부가 평평하면서 돌출길이가 짧고, 직경이 크며, 검사 속도가 느린 경우에 작다는 것을 확인하였다.

베트남 라오까이 지역 흐몽족의 전통적 문화가치관에 미친 개신교의 영향 (Influences of Protestantism on some Traditional Cultural Values of Hmong Ethnic People in Lao Cai Province of Vietnam)

  • 응웬 반 히에우;조 꾸앙 선
    • 수완나부미
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    • 제1권2호
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    • pp.43-71
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    • 2009
  • 베트남 소수민족 공동체 중 Hmong족은 중요한 구성원이라고 여겨져 왔다. 타지에서 베트남으로 이민 와서 다른 민족들과 함께 오랫동안 살아 왔지만 Hmong족은 자기의 민족문화 특색을 잘 지켜왔다. 그런데 지난 몇 년 동안 전통적인 종교와 달리 새로운 종교를 믿게 되는 방향으로 Hmong족의 심령의 종교는 많이 변하고 있다. 그 중에 특히 주목받은 것은 개신교의 유입이다. 개신교는 직접적, 간접적 선교 방법으로 Lao Cai에 있는 Hmong족 공동체에 자연스럽게 유입되었다. Lao Cai의 많은 지방에서 사람들이 개신교를 믿게 되었고 그 중에는 가족이나 종족 환경에서 강제적 선교도 일어났다. 개신교는 Hmong족의 전통문화뿐만 아니라 Hmong족의 전통 종교, 신앙에도 직접적으로 영향을 주었다. 이 글에서는 Hmong족이 살고 있는 Lao Cai 지방을 선택하여 고찰하며 Hmong족의 전통문화가치에 대한 개신교의 영향 및 원인을 살펴보기로 한다. 먼저 Hmong사람들은 전통신앙을 버리고 개신교를 믿게 되는 원인을 살펴보자. 주 원인은 다음과 같은 네 가지가 있다고 본다. -경제와 관련된 원인 -성별 불평등과 관련된 원인 -학문 수준과 정보 습득 희망과 관련된 원인 -전통문화, 심리와 민속의식과 관련된 원인 그리고 다음과 같은 두 가지 각도에서 전통문화 가치에 대한 영향을 알아보았다. 첫째는 개신교가 Hmong사람의 전통사회체제에 큰 영향을 준 점, 둘째는 개신교가 Hmong사람의 풍속습관 및 전통 신앙에 영향을 준 점이다. 개신교가 Hmong사람의 전통사회체제에 큰 영향을 준 점은 여러 방면에서 보인다. 전통적인 가치와 개신교의 새로운 규정 사이의 충돌도 있고 가족 안에서 부부의 위치상 충돌도 있다. 또한 Hmong사람들에게 전통 종족의 역할, 위치를 약화시키는 영향도 주었고 산골 마을에서 개신교를 믿는 사람들과 믿지 않은 사람들 사이에 일어난 새로운 충돌도 있다 개신교와 개신교의 교리는 역시 풍속습관과 전통신앙에 큰 영향을 주었다. 첫째는 예수의 역할이 가장 중요하고 조상 숭배나 "집에 있는 귀신 숭배"같은 것보다 강력한 것이다. 그래서 Hmong사람의 신앙, 종교는 원시적 다신교부터 일신교로 변한 것으로 보인다. 둘째는 개신교를 믿는 사람들이 Hmong족의 전통 민속축제를 점차 멀리한다. 어떤 경우에는 그 사람들이 자기 민족의 전통문화 환경을 떠나 버리는 일도 있었다. 셋째는 개신교의 교리가 Hmong족의 풍속 규정을 바꾸게 하였고 Hmong사람들이 새로운 종교의 교리를 집행시켰다. 넷째는 인간 인생 주기에 관한 풍속습관 및 민속의례들은 의례 대상보다 의례 주제를 중심으로 삼는 것으로 점차 변화했다. 대체로 개신교가 Hmong족 공동체에 유입하여 이 민족의 전통문화 가치는 변화했다. Hmong족 공동체에 오래 존재해 왔던 낙후한 습관을 개선하는 점에서 개신교는 적극적 역할을 했다. 현재 문제점은 어떻게 전통문화가치를 유지하고 새로운 종교와 같이 존재할 수 있느냐라는 문제이다. 이 문제는 다음 연구 대상이 될 것이다.

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비정상 상태 운전 시 정면충돌에서의 상해 분석 (Analysis of Driver Injuries Caused by Frontal Impact during Abnormal Driver Position)

  • 박지양;윤영한;곽영찬;손창기
    • 자동차안전학회지
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    • 제10권3호
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    • pp.32-37
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    • 2018
  • Recently, the driver can be assisted by the advanced active safety devices such as ADAS from road traffic risks. With this system, driver and passenger may freed from can driving tasks or kept eyes on forward direction while on the road. Help from adoptive cruise control, auto parking and newly develped automated driving vehicles technologies, the driver positions will vary significantly from the current standard driver position during the travel time. On this hypothesis, the objective of this study is analyze the behavior and injuries of drivers in the event of frontal impact under these abnormal driver position. Based on the KNCAP frontal impact testing method, this simulation matrix was set-up with dummies of 5 th tile female Hybrid III dummy and 50 th tile male Hybrid III dummy. The small sedan type passenger car was modeled in this simulation. The series of simulation was performed to compare the injuries and behaviour of each dummy, varying the seating status and seat position of each dummy.

直接噴射式 디이젤機關의 燃燒室形狀과 火焰의 發達 (The effect of air and spray turbulence in a D.I. diesel engine on the flame progress)

  • 방중철;태전간랑
    • 대한기계학회논문집
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    • 제11권1호
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    • pp.44-52
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    • 1987
  • 본 논문에서는 앞서의 연구들에서 얻은 연구성과를 실제의 디이젤기관에 적용 시켜 화염의 발달상태와 기관속도의 상승 등을 고찰하여, 그 유효성을 평가했다. 또 고온공기류덕트에서는 실험하기가 곤란했던, 분무자체에 족회운동을 일으킨 경우의 연 소과정에 대해서도 피스톤요부의 벽면에 충돌하는 분무의 각도를 변화시켜, 고속도 화 염사진으로 부터 검토했다.

치아 스케일링 훈련을 위한 햅틱 시뮬레이션 알고리즘 (Haptic Simulation Algorithm for Tooth Scaling Training)

  • 조재현;김재현;박진아
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
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    • 한국정보과학회 2011년도 한국컴퓨터종합학술대회논문집 Vol.38 No.1(B)
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    • pp.290-293
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    • 2011
  • 치아 스케일링은 치아에 단단하게 결착된 치석을 제거하는 치과 시술로서 치아 우식 및 잇몸염증을 예방하는 중요한 시술이다. 특히 요즘에는 치료시간의 단축을 통한 효율성 증대의 목적으로 전기적 에너지를 미세한 진동에너지로 바꾸는 원리를 활용한 초음파 스케일링 기법이 많이 행해지고 있다. 하지만 치아 및 치석 확보에 따른 어려움으로 인해 스케일링 시술을 충분히 훈련하기란 쉽지 않다. 본 논문에서는 사용자가 가상현실을 통해 시각 및 촉각 피드백을 받으며 초음파 스케일링 시술을 훈련할 수 있는 치아 스케일링 시뮬레이션을 위한 알고리즘을 제안한다. 치아, 치석 및 잇몸의 볼륨모델과 스케이러 팁을 구성하는 각 부문의 관통깊이를 이용한 햅틱 랜더링 기법을 적용하여 스케일러의 모양에 따른 햅틱 피드백을 생성하였다. 그리고 치아의 손상을 줄이기 위해 스케일러의 팁 부문이 치아 표면에 되도록 평형을 이루어야 한다는 점에 입각하여, 치석을 구성하는 복셀들의 치아 디스턴스필드 값 비교를 통해 치석과 치아 사이의 접착면을 추출하고 스케일러의 팁 부분과 충돌하는 추출된 집착면의 각도를 고려한 스케일링 알고리즘을 구현하였다. 또한 수동 스케일링과는 달리 초음파 스케일링은 초음파의 진동에너지에 의해 점진적으로 치아와 치석 사이의 결속력이 감소된다는 점에 착안하여 치아와 치석의 접착면을 구성하는 지점 사이의 거리에 따른 결속력 감쇠 모델을 고안하였다.

사각 덕트내 요철의 각도 변화에 따른 열전달 특성 (Augmented heat transfer in a rectangular duct with angled ribs)

  • 우성제;김완식;조형희
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제22권4호
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    • pp.530-541
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    • 1998
  • Heat transfer augmentation in a rib-roughened duct is affected by the rib configurations, such as rib height, angle of attack, shape, rib to rib pitch, and aspect ratio of a duct. These have been the main subjects in studying the average heat transfer and the friction loss of the fully developed flow. Investigating distributions of local heat transfer coefficients and flow patterns in a duct with the rib turbulators is necessary to find the characteristics of heat transfer augmentation and to decide the optimal configurations of ribs. In the present study the numerical analyses and the mass transfer experiments are performed to understand the flow through a rib roughened duct and the heat transfer characteristics with various angles of attack of ribs. A pair of counter-rotating secondary flow in a duct has a main effect on the lateral distributions of local mass transfer coefficients. Downwash of the rotating secondary flow, reattachment of main flow between ribs and the vortices near ribs and wall enhanced the mass transfer locally up to 8 times of that in case of the duct without ribs.

사진측량에 의한 교통사고분석처리 및 활용방안에 관한 연구 (A Study on Traffic Accident Analysis Treatment and a plan Practical Use by Photogrammetry)

  • 백은기;김감래
    • 한국측량학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.27-35
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    • 1989
  • 교통사고분석처리에 있어서 거리측정기를 가지고 측정하는 것은 정확도 및 보존관계에 문제를 야기하고 있기 때문에 유럽 및 일본에서 사용하는 스테레오카메라를 사용하여 현장에서 직접 촬영하였다. 촬영 및 기준점측량의 시간을 비교하였고 입체모델에서 삼차원좌표를 측정 계산한 후 전용도화기PAMS을 이용하여 현장도를 작성하여 사고원인을 분석하였고 또한 사고차양을 모델로 하여 차양충돌후의 각도, 핸들의 방향실손양을 계산하여 사고처리에 대한 활용방안을 제시하였다.

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