Computer Simulation and Control performance evaluation for Feedback System of Ultra Precision Positioning by using Laser Interferometer (Laser Interferometer를 이용한 초정밀위치결정 피드백시스템의 컴퓨터 시뮬레이션 및 제어성능 평가)
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- Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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- 2001.10a
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- pp.68-74
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- 2001