• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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• pp.537-537
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• 2010

High precision sensing is very important in various technologies. Especially, it is more important when it were applied to nano/micro meter level's sensing like AFM, storage, etc. And capacitive sensing is widely used method. To improve the measurement efficiency, many signal conditioners were studied and one of them was surface acoustic wave (SAW) device. SAW device is very widely used as a high frequency bandwidth filter. Due to the reflective characteristic of high frequency, the response of SAW device contains both propagative and reflective signal at the external impedance. In this paper, we used SAW device as signal conditioner of capacitive sensor. And high precision gap measurement was executed using capacitive load. Reference signal was reflective SAW response and the magnitude at the center frequency of SAW device by the change of impedance was checked. Finally, the attainable gap resolution was determined.

• 한국생산제조학회지
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• 제22권5호
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• pp.824-830
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• 2013

In ultra-precision machining, the inside temperature should be controlled precisely. The important factors are environmental conditions (outside temperature, humidity) and temperature conditions (cutting heat, spindle heat). Thus, in this study, an environmental control cell for the ultra-precision machine that could control the inside temperature and minimize effects of the surrounding environment to achieve a thermal deformation of less than 400nm of a specimen was designed and verified through C.F.D. Further, a method that could control the temperature precisely by using a blower, heat exchanger and heater was evaluated. As a result, this study established a C.F.D technic for the environmental control cell, and the specimen temperature was controlled to be within $17.465{\pm}0.055^{\circ}C$.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제16권7호
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• pp.4405-4410
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• 2015

두 개의 1차원 주기 패턴을 수직으로 중첩시켜 상하층 패턴으로부터 이축 변위 정보를 각각 디코딩할 수 있는 방법을 제안한다. 투명한 상층 패턴 판별은 굴절률차에 기인한 레이저 빔의 디플렉션 검출을 통해 이뤄지고 하층 패턴 판별은 수광 전압 차의 검출를 통해 이뤄진다. 빌드 업 필름 재질의 상층 패턴은 UV 레이저 가공에 의해 미세가공되고 그리고 알루미늄 하층 패턴은 초정밀 머시닝에 의한 트렌치 가공과 불투명 소재 증착 그리고 폴리싱 과정을 통해 제작된다. 10마이크로미터 간격으로 제작된 샘플 패턴과 이를 인코딩할 수 있는 전용 광학계에 의한 변위 측정 방법은 대면적 스테이지에 장착되어 레이저 간섭계를 이용한 측정데이터와 비교하여 검증된다.

• 한국자기학회지
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• 제20권4호
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• pp.149-152
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• 2010

평판형 전자기 엑츄에이터는 이동코일과 가이드 사이의 마찰이 없기 때문에 초정밀 제품에 널리 사용된다. 전자기 엑츄에이터의 성능 검증에 가장 많이 사용되는 방법 중 한 가지는 유한요소해석 방법이다. 하지만 유한요소해석 방법은 해석 시간이 많이든다는 단점이 있다. 유한요소해석 방법의 대안으로 계산시간은 짧지만 높은 정확도의 해석 결과를 도출해 낼 수 있는 집중매개 변수모델 해석방법이 많이 사용되고 있다. 본 논문에서는 평판형 전자기 엑츄에이터의 집중매개변수 모델링을 생성하고 시뮬레이션을 통해 성능을 검증하고 그 결과를 유한요소해석 결과와 비교해 본다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.290-290
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• 2009

Blu-ray Disk, the next generation optical information storing equipment used Blu-ray is the next generation leading storing equipment that has capacity is about from six times to thirty-five times bigger than the existing CDs, DVDs. Especially, we need elaborate optical pick-Up equipment to record and recognize detailed date. Moreover, Blu-ray disk has so narrow track-pitch so it is used high NA(Numerical Aperture) aspheric glass objective lens. In this research, we processed optical pick-up aspheric glass objective lens molding press core by parallel grinding method with ultra precision machining and mold core surface measured form accuracy(PV), surface roughness(Ra).

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2001년도 춘계학술대회논문집C
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• pp.83-87
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• 2001

A 110 mm diameter aspheric metal secondary mirror for a test model of an earth observation satellite camera was fabricated by ultra-precision single point diamond turning (SPDT). Aluminum alloy for mirror substrates is known to be easily machinable, but not polishable due to its ductility. A harder material, Ni, is usually electrolessly coated on an Al substrate to increase the surface hardness for optical polishing. Aspheric metal secondary mirror without a conventional polishing process, the surface roughness of Ra=10nm, and the form error of $Ra={\lambda}/12({\lambda}=632nm)$ has been required. The purpose of this research is to find the optimum machining conditions for reflector cutting of electroless-Ni coated Al alloy and apply the SPDT technique to the manufacturing of ultra precision optical components of metal aspheric reflector.

• 한국생산제조학회지
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• 제22권4호
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• pp.747-754
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• 2013

This study introduces a recently designed desktop-sized NC turning system and its components. This machine is designed for the ultra-precise turning of parts with a diameter of 0.5-20 mm with minimum space usage for the machine. This study aims to achieve submicron-level accuracy of movements and good rigidity of the machine for precision machining using the desktop-sized machine. The components such as the main machine structure, air bearing servo spindle, and XZ stage with needle roller guides are designed, and the designed machine is built with a PC-based CNC controller. Its static and dynamic stiffness performances and positioning resolutions are tested. Through machining tests with single-crystal diamond tools, a form error less than $0.8{\mu}m$ and surface roughness (Ra) of $0.03{\mu}m$ for workpieces are obtained.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2007년도 추계학술대회논문집
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• pp.731-736
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• 2007

최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공 및 측정에 방진 시스템을 많이 필요로 한다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 Takagi-Sugeno 퍼지 방법을 이용해서 능동 방진 시스템을 설계한다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2011년도 제42회 하계학술대회
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• pp.555-556
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• 2011

오늘날 전기는 물과 같이 일상생활에 없어서는 안 될 생활 필수품이다. 특히 21세기는 IT, 디지털, 초정밀 산업의 시대로 순간정전에도 민감하게 반응하는 고품질의 전력이 요구되는 시대이다. KEPCO는 세계 최고 수준의 전기품질과 저렴한 요금으로 모든 국민에게 안정적으로 전력을 공급해야 하는 막중한 책임이 있다. 따라서 고품질의 전력을 주요 수요지로 수송하기 위한 송전선로와 변전소의 적기 건설을 위한 효율적이고 체계적인 프로젝트관리 중요성이 대두되었으며, KEPCO는 경영의 투명성을 제고하고 회사내부의 자원 및 업무 프로세스를 통합관리하고자 도입한 전사적자원관리(Enterprise Resource Planning; ERP) 시스템내에 송변전 건설 프로젝트 시스템(PS)을 구축함으로써 송변전건설 프로젝트 관리업무를 ERP라는 통합된 환경에서 수행할 수 있게 되었다. 그러나 최근 생활수준의 향상에 따른 송변전 건설관련 민원과 각종 건설규제 법률 강화 등으로 보다 효율적이고 통제 가능한 송변전설비 건설프로젝트 관리의 필요성에 대한 요구가 지속적으로 제기되었다. 이에 본 논문에서는 KEPCO의 효율적인 송변전 건설사업 공정관리를 위한 ICT기반의 건설 프로젝트 관리 방안에 대해 살펴보고자 한다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제24권2호
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• pp.156-161
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• 2011

The present study introduces a novel wet etching technique for nanostructure fabrications which usually requires low surface roughness. Using the current method, acquired profiles were smooth even in the nanoscale, which cannot be easily achieved with conventional wet or dry etching methods. As one of the most popular single crystal silicon etchant, potassium hydroxide (KOH) solution was used as a base solvent and two additives, antimony trioxide (Sb2O3) and ethyl alcohol were employed in. Four experimental parameters, concentrations of KOH, Sb2O3, and ethyl alcohol and temperature were optimized at 60 wt.%, 0.003 wt.%, 10 v/v%, and $23^{\circ}C$, respectively. Effects of additives in KOH solution were investigated on the profiles in both (110) and (111) planes of single crystal silicon wafer. The preliminary results show that additives play a critical role to decrease etch rate significantly down to ~2 nm/min resulting in smooth side wall profiles on (111) plane and enhanced surface roughness.