• 제목/요약/키워드: 초정밀

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마찰구동기구에 의한 초정밀위치 결정

  • 신영재;최대봉;이득우
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2001년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.159-163
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    • 2001

  • 마찰구동은 다른 구동방식에 비하여 구조가 간단하고, 기계적인 정도를 얻기 쉬우며, 백래쉬 등에 기인하는 비선형 요소인 로스트모션이 없고 관성이 작아 구동력이 작은 이점이 있다. 그 반면에 접촉부에서 미끄럼이 발생하여 큰 구동력을 얻기 어렵고 마찰저항에 의하여 마멸이 생기는 결점이 지적되고 있다. 본 연구에서는 초정밀가공기용 위치결정기구로 마찰구동기구를 사용하기 위하여 위치 결정도에 관한 설계, 구동력의 설계 및 재료의 선택에 관하 여 분석하고 시작품을 제작하여 특성을 연구하였다.

히스테리시스 보상을 이용한 압전구동기의 초정밀 위치제어 (Ultra-Precision Position Control of Piezoelectric Actuator System Using Hysteresis Compensation)

  • 홍성룡;이병룡
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.85-88
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    • 2000

  • In this paper, the ultra precision positioning system for piezoelectric actuator using hysteresis compensation has been developed. Piezoelectric actuators exhibit limited accuracy in tracking control due to their hysteresis nonlinearity. The main purpose of the proposed controller is to compensate the hysteresis nonlinearity of the piezoelectric actuator. The controller is composed of a PD, hysteresis compensation and neural network part in parallel manner, at first, the excellent tracking performance of the neural network controller was verified by experiments and was compared with the classical PD controller.

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멀티블레이드를 이용한 Micro BGA의 초정밀 싱귤레이션 (Ultra-precision Singulation of Micro BGA using Multi Blade)

  • 김성철;이은상;이해동
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.861-864
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    • 1997

  • Singulation is a process that cutting for separating a chip individually after finishing packaging process(micro BGA etc.). For shortening the process of singulation, we proposed the singulation using multi-blade. This paper introduced a method of multi-blade singulation and investigated a result of application and problems. The efficiency of singulation process was improved five times better than the single-blade by the singulation using Multi-blade.

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