• 한국생산제조학회지
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• 제7권6호
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• pp.132-140
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• 1998

Recently, precision machining technology has been developed continuously in order to make high productivity and quality assurance of the precision parts of several industrial fields. Waviness may occur on the surface of the machined parts due to the table motion error and the dynamic cutting mechanism between the tool and the workpiece. The waviness may fall off the form accuracy of the precision machine parts. In the research, a micro cutting device with piezoelectric actuator has been developed to control precise depth of cut and compensate the waviness on the surface of the workpiece. Experiments have been carried out in the precision lathe. The characteristics of the surface profile and cause of the waviness profile have been analyzed and waviness profiles of some cause have been compared with those of experiments.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.6-6
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• 2004

마이크로 / 나노 바이오 기술은 생명공학 및 의약기술의 발전을 가능하게 하고 생체시스템 관련 연구를 위한 마이크로 및 나노 기기를 제작할 수 있게 함으로써 새로운 기술적 영역으로 부각되고 있다. 이러한 기술은 1990년대 초에 랩온어칩(Lab-on-a-chip)의 개발을 가능하게 하였다. 랩온어칩은 실험실(Lab)을 하나의 소자(Chip)에 올려놓는다(On)는 말로 쉽게 설명된다. 즉, 생물학이나 생화학 실험실에서 주로 연구되는 단백질, 세포 등 인체에 영향을 주는 다양한 물질들이 체내외에서 나타내는 반응을 쉽게 검출, 분석하는 일련의 과정들을 빠르고 정확하게 수행할 수 있도록 도와주는 도구인셈이다.(중략)

• 한국염색가공학회:학술대회논문집
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• 한국염색가공학회 2011년도 제45차 학술발표회
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• pp.44-44
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• 2011

본 연구에서는 직물조직의 분석과정을 자동화할 수 있는 전용 하드웨어 및 소프트웨어를 개발하였다. 직물조직의 분석은 직물 설계 및 품질관리 단계에서 매우 중요한 공정이나 현재까지도 확대경과 분해침에 의존하여 수작업으로 이루어지고 있는 것이 실정이라 자동화가 절실히 요구되는 분야라고 할 수 있다. 최근 컴퓨터 기술의 발달로 섬유산업 분야에서도 자동화 관련 연구가 많이 이루어지고 있으며 직물 분석 과정에 대한 연구도 여러 차례 시도된 바 있다. 여기에는 주로 디지털 영상으로부터 특징을 찾아내고 분석하는 이미지 프로세싱 기법이 쓰였는데 이는 재현성, 정확성, 속도 등에서 육안에 의한 방법과는 비교할 수 없는 장점을 가지고 있다. 그러나 기존의 연구들은 카메라의 한계로 인해 주로 저해상도의 이미지를 가지고 작업을 하거나, 이미지 프로세싱 또는 인공 신경망을 단독으로 적용하는 등의 한계를 가지고 있었다. 본 연구에서는 이러한 문제점을 극복하기 위해 초고해상도 직물 이미지를 획득한 뒤 이로부터 직물의 교차점을 인식하는데 필요한 파라미터를 추출하고 이를 인공 신경망에 학습시켜 직물 설계에 필요한 조직도를 생성하는 시스템을 개발하고자 하였다. 이를 위해 먼저 컴퓨터로 컨트롤이 가능한 직물 분석 전용 초정밀 XY 스테이지의 하드웨어를 설계 제작 하였으며 각종 이미지 분석 및 하드웨어 컨트롤에 필요한 전용 소프트웨어를 개발하였으며 그 결과 각종 직물의 조직을 매우 정확히 인식할 수 있게 되었다. 향후 이미지 획득 과정의 보완, 새로운 파라미터의 정의 및 신경망의 반복 학습을 통해 본 시스템이 보다 보완된다면 직물 분석 작업의 자동화를 통한 제품 개발과 생산에 소요되는 시간을 단축 및 품질 관리 공정의 자동화에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.100-103
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• 2005

In this study, tool path control algorithm for aspherical surface grinding was derived and discussed. The aspherical surface actually means contact points between lens and tool. Tool positions are generally defined at the center of a tool, so there is difference between tool path and lens surface. The path was obtained from contact angle and relative position from the contact point. The angle could be calculated after differentiating an aspheric equation and complex algebraic operations. The assumption of the control algorithm was that x moves by constant velocity while z velocity varies. X was normal to the radial direction of lens, but z was tangential. The z velocities and accelerations were determined from current error and next position in each step. In the experiment, accuracy of the control algorithm was checked on a micro-precision machine. The result showed that the control error tended to be diminished when the tool diameter increased, and the error was under sub-micro level.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.108-113
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• 2005

In this study, rotary type diamond dressing system for ultra-precision centerless grinding for ferrule was developed at the first time and experiments were conducted with AE sensor and hall sensor system to verify the optimum dressing condition for ultra-precision centerless grinding for ferrule. The correlations with the condition of dressing are evaluated by AE signal analysis with root mean square (RMS) and frequency analysis. And current signals from hall sensor are also studied as a factor of dressing optimum condition selection. Dressing process was conducted to investigate the effects of depth of cut, rotating speed, and the number of overlap to select the optimum condition of rotary dressing system of ultra-precision centerless grinding machine for ferrule fabrication. In order to verify the optimum condition of dressing, AE and current signals were compared with the surface quality of dressing wheel and grinding wheel for ultra-precision ferrule grinding. All of these experiments were completed by Taguchi Methodology to reduce experimental time. Hence, the optimum condition of rotary dressing system for ultra-precision centerless grinding for ferrule fabrication can be selected following to the experiment result from signals of AE and hall sensor.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2007년도 춘계학술대회논문집
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• pp.185-190
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• 2007

최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공, 측정 등이 필요함에 따라, 외란과 내부 진동을 차단하는 방진 시스템에 대한 연구가 활성화 되고 있다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 기존의 레벨링 밸브를 이용한 수동 방진 시스템을 분석하여 이를 개선하고 능동 방진 시스템을 설계한다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2007년도 추계학술대회논문집
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• pp.731-736
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• 2007

최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공 및 측정에 방진 시스템을 많이 필요로 한다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 Takagi-Sugeno 퍼지 방법을 이용해서 능동 방진 시스템을 설계한다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

• 한국분말재료학회지
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• 제20권4호
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• pp.308-312
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• 2013

In this paper, we describe experiment results using a vibration assisted hybrid femtosecond laser (${\lambda}$:795 nm) ultra-precision machining system. The hybrid system we have developed is possible that optical focal point of the femtosecond laser constantly and frequently within the range of PZT(piezoactuator) vibrator working distance. Using the hybrid system, We have experimented on brass and studied about differences of result of hole aspect ratio compare to general experiment setup of femtosecond laser system. Aspect ratio of a micro hole on brass is increased as 54% with 100 Hz vibration frequency and surface roughness of the side wall also improved compare to non-vibration.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제12권12호
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• pp.5412-5419
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• 2011

산업의 발달에 따른 각종기기 장치들의 고속화, 소형화, 정밀화로 인해 고속 스핀들의 필요성은 점점 커지고 있다. 또한 공기동압베어링은 스테이지 모션에 대해서 무마찰 실현을 위해서 웨이퍼 생산용 광학 리소그래피 분야에도 적용된다. 공기동압베어링은 마찰에 의한 동력손실과 열 발생이 적어 고속회전에 유리하고 고정밀 회전이 가능하기 때문에 고속 고정밀 스핀들 시스템 및 하드 디스크 드라이브에 사용될 수 있다. 본 연구에서는 축 하중 지지를 위해 헤링본 홈 형상을 가지는 공기동압베어링의 성능에 대한 수치해석을 수행하였다. 또한 본 연구에서는 공기동압베어링을 제작하기 위해서 기존의 기계 가공방법과는 다른 비접촉식 초정밀 가공 방법인 마이크로 전기화학가공에 의한 방법으로 마이크로 그루브 가공을 수행하였고, 수치해석 프로그램을 이용하여 전극의 간극, 전해용액 농도, 가공시간 등 이론적인 수치를 시뮬레이션 하였다.

• 한국공작기계학회논문집
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• 제18권1호
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• pp.1-12
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• 2009

Presently, the semiconductor industry has the chronic problem. In the semiconductor industry, it has the semiconductor wafer, a package, the optical filter cut by using the saw blade, the mold, a laser etc. The cutting technique has the difficulty due to the rising of the production cost by the wearing of mold, the poor quality problem due to generated heat at the moment of cutting procedure and curve cutting etc. The goal of this time of national research and development project is develop the apparatus for solving the problem that the existing cutting technique has. The technology is so called waterjet abrasive method. This technology will be mainly applied to cut a semiconductor package and a wafer. Two important things to be considered are ripple effect(in other words, the scale of a market) and simplicity of an application.