• Title/Summary/Keyword: 초고전압투과 전자현미경

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Application of band-pass filtering techniques for improvement on 3D tomogram (3D Tomogram 향상을 위한 Band-pass Filtering 기술의 활용)

  • Ryu, Keun-Yong;Kim, Soo-Jin;Jung, Hyun-Suk;Kweon, Hee-Seok
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2011.04a
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    • pp.382-383
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    • 2011
  • 초고전압 투과전자현미경으로부터 생산된 2D 이미지들에는 고전압(1250 kV)의 사용으로 인한 다양한 노이즈가 발생한다. 따라서 2D 이미지로부터 3D tomogram으로 재구성시 선명도 향상을 위하여 2D 이미지의 노이즈 제거 과정은 필수적이다. 본 연구에서는 band-pass filtering 기법을 활용하여 노이즈를 상당 부분 제거하였고, 필터링된 이미지로부터 3D tomogram으로 재구성한 경우 band-pass filtering의 효과가 2D 이미지에서 뿐만아니라 3D tomogram으로 재구성 했을 경우에 어떤 대역의 filter radius를 적용해야 더욱 효과가 크다는 사실을 확인하였다.

Remote Access and Data Acquisition System for High Voltage Electron Microscopy (초고전압 투과전자현미경의 원격제어 및 데이터 획득 시스템)

  • Ahn, Young-Heon;Kang, Ji-Seoun;Jung, Hyun-Joon;Kim, Hyeong-Seog;Jung, Hyung-Soo;Han, Hyuck;Jeong, Jong-Man;Gu, Jung-Eok;Lee, Sang-Dong;Lee, Jy-Soo;Cho, Kum-Won;Kim, Youn-Joong;Yeom, Heon-Young
    • Applied Microscopy
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    • v.36 no.1
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    • pp.7-16
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    • 2006
  • A new remote access system for a 1.3 MV high voltage electron microscope has been developed. Almost all essential functions for HVEM operation, huck as stage control, specimen tilting, TV camera selection and image recording, are successfully embedded into this prototype of the remote system. Particularly, this system permits perfect and precise operation of the goniometer and also controls the high resolution digital camera via simple Web browsers. Transmission of control signals and communication with the microscope is accomplished via the global ring network for advanced applications development (GLORIAD). This fact makes it possible to realize virtual laboratory to carry out practical national and international HVEM collaboration by using the present system

Measurement of Spherical Aberration Coefficient of the Objective Lens in KBSI-HVEM (KBSI-HVEM 대물렌즈의 구면수차 계수 측정)

  • Kim, Young-Min;Shim, Hyo-Sik;Kim, Youn-Joong
    • Applied Microscopy
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    • v.37 no.2
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    • pp.111-121
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    • 2007
  • Coefficient of spherical aberration of the objective lens in the KBSI-HVEM was evaluated by diffractogram method. Instrumental resolution was also discussed with this method. In order to improve the accuracy, digital processing and graphical curve fitting for intensity profile of diffractogram were employed. Experimental concerns where the optimal procedure of the measurement con be accomplished for this study were discussed. The spherical aberration coefficient $(C_s)$ was estimated to be $2.628{\pm}0.04\;mm$ from this study, which was almost coincident with the value of the manufacture's suggestion $(C_s=2.65\;mm)$.

Effects of the Integrity of Silicon Thin Films on the Electrical Characteristics of Thin Dielectric ONO Film (실리콘 박막의 Integrity가 ONO(Oxide/Nitride/Oxide) 유전박막의 전기적 성질에 미치는 영향)

  • 김동원;라사균;이영종
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.3 no.3
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    • pp.360-367
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    • 1994
  • Si2H6PH3 혼합기체를 사용하여 증착된 in-situ P-doped 비정질 실리콘과 SiH4 기체를사용하여 증착한후에 As+ 이온주입에 의해 도핑시킨 다결정 실리콘 박막을 하부 전극으로 하는 캐패시터를 형성 하였다. 여기서 유전박막층은 자연산화막 화학증착된 실리콘질화막 및 질화막의 산화에 의해 형성된 O-N-O 구조를 갖는 것이었다. 두 종류의 하부전극에 따른 캐패시터의 전기적 특서을 조사하였다. 전기 적 특성으로는 정전용량, 누설전류, 절연파괴전압 및 TDDB 등이었다. 이 가운데 정전용량, 누설전류 및 절연파괴전압은 하부전극에 따라 큰 차이를 보이지않았다. 그러나 음의 전장하에서의 TDDB 특성은 in-situ P-doped 비정실 실리콘이 하부전극인 캐패시터가 As+ 이온 주입실리콘이 하부전극인 것에 비해 더우수하였다. 이와 같은 TDDB 특성의 차이는 하부전극 실리콘의 integrity 차이로 인한 자연산화막의 결함 정도의 차이에 기인하는 것 같다. 이를 뒷받침하는 것으로 투과전자현미경 단면사진으로 확인하였 다. Shallow junction을 유지하는데도 in-situ P-doped 비정실 실리콘은 만족할 만한 결과를 보이며 박 막자체의 면저항값도 낮출 수 있어 초고집적 회로의 캐패시터 전극으로서 이용될 수 있는 것으로 평가 되었다.

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Electron Tomography 시스템을 위한 e-HVEM 포털

  • Jeong, Won-Gu;Lee, Ho;Park, Su-Jin;Lee, Ji-Yeong;Kim, Eun-Seong;Jeong, Im-Yeong;Jeong, Jong-Man;Choe, Sang-Su;Sin, Yeong-Gil;Yeom, Heon-Yeong;Choe, Dong-Hun;Kim, Yun-Jung;Gwon, Hui-Seok
    • Korea Information Processing Society Review
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    • v.15 no.2
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    • pp.123-132
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    • 2008
  • 그리드 기반의 e-Science 시스템을 실용화하여 세계 최고 수준의 국가적 첨단 공동 연구 장비의 활용도를 제고하고 e-Science 기반의 동시협업 연구가 가능한 차세대 연구 개발 환경 구축을 목적으로 국내 유일의 가속전압 1.3 MV의 초고전압투과전자현미경 (HVEM)을 이용한 전문연구 포털인 e-HVEM 포털을 개발하였다. 이는 웹 포탈 시스템에서 원격 제어 (Tele-HVEM), Nano-Bio 데이터베이스 및 계산 그리드 기반의 tomography 시스템 (G-Render)를 동시에 사용 할 수 있는 통합 연구 환경으로써 e-HVEM 포털 시스템에서 단순 장비 운용뿐만 아니라 실제연구 분석까지 활용할 수 있도록 하였다. 특히 본 연구에서는 HVEM으로부터 얻어진 일련의 화상 정보들에 대한 3차원 구조 복원을 위하여 그리드 연산 시스템을 도입함으로써 보다 빠른 시간에 원하는 최종 결과물을 얻을 수 있도록 구성하였다. 이로써 e-HVEM 포털은 다양한 국가 대형 연구 장비를 활용하여 시공간 개념을 넘어선 e-Science 공동 협업 시스템의 성공적인 모델로써 국내는 물론 국제적인 공동 연구를 수행할 수 있는 장비 활용 가상 실험실 구축의 실현 가능성을 시사한다.

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Rhabdomere Formation in Late Pupal Stage of Drosophila melanogaster; Observation Using High-Pressure Freezing and Freeze-Substitution, and High-Voltage Electron Microscopy (초고압 동결장비와 초고압투과전자현미경을 이용한 초파리의 감간분체 형성과정의 구조분석)

  • Mun, Ji-Young;Arii, Tatsuo;Hama, Kiyoshi;Han, Sung-Sik
    • Applied Microscopy
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    • v.37 no.1
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    • pp.35-42
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    • 2007
  • The late pupal stage of Drosophila melanogaster occurs immediately before the completion of retinal development, during which the rhabdomere rapidly forms. In this period, the photoreceptor cells were fixed and dehydrated using a high-pressure freezer (HPF) and freeze substitution (FS) technique, which is the most effective in preserving the cell structures, and observed using high-voltage electron microscopy (HVEM) at 1000 KV. The rhabdomere was classified structurally into three types of formation patterns using stereo-tiling image of thick sections. Initially, hexagonal arrays of rhabdomere existed in different angles. In addition, small pieces of rhabdomere could be observed in the cytoplasm of the photoreceptor rolls, which were visible during the profess of rhabdomere formation. In addition, multiple layers of rhabdomere strings were observed. We observed there are at least three types of vesicles related to rhabdomere formation in photoreceptor cells. In addition, it was found that these vesicles initiate the formation of the rhabdomeres during the pupal stage. Collectively, these data suggest that rhabdomeres were mainly formed through vesicles, and that parts of the rhabdomere formed first and then gathered and formed rhabdomeres in the late pupal stage.

Enlargement of Field-of-View (FOV) of the CCD Camera by the Current Adjustment of the Projection Lens System in the KBSI-HVEM (KBSI-HVEM 투사렌즈 전류제어에 의한 CCD Camera의 Field of View(FOV) 확장)

  • Kim, Young-Min;Shim, Hyo-Sik;Kim, Youn-Joong
    • Applied Microscopy
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    • v.35 no.4
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    • pp.98-104
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    • 2005
  • A FOV (field-of-view) of the HV-MSC (high voltage multi-scan CCD, $1024{\times}1024$ pixels) camera mounted in the post-column HV-GIF (high voltage gatan image filter) has been drastically enlarged by the projection lens current adjustment. An imaging area of the HV-MSC camera obtained at the lowest magnification (2,000x) is $112{\mu}m^2$ which corresponds to the recording area of the film at the magnification of 8,800x, while the achievable recording area is only $0.43{\mu}m^2$ at the same magnification without this technique. Ignoring the image distortion of less than 5%, we have designed an on-site reference graph to estimate projection lens currents for microscope magnifications above 8,800x, where the recording area on the HVMSC is same as that on the film.

금속 산화물 나노입자가 포함된 ZnO 박막의 광학적 및 전기적 특성 연구

  • Lee, Dong-Uk;O, Gyu-Jin;Sim, Seong-Min;Kim, Eun-Gyu
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.210.1-210.1
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    • 2013
  • ZnO는 태양전지의 투명전극 및 윈도우 물질로 그 동안 광범위하게 사용되어 왔다. 하지만 태양광의 효율 증가를 위하여서는 가시광 영역뿐만 아니라 자외선 및 적외선 영역을 이용할 필요가 있다. 또한 금속 산화물 반도체 나노 입자는 크기를 조절하여 흡수하는 태양광의 파장 영역을 조절할 수 있고 이를 이용하여 이종구조를 사지는 고효율의 태양전지를 구현할 수 있다. 본 연구에서는 3.4 eV의 에너지 밴드갭을 가지는 ZnO박막내에 밴드갭을 조절 할 수 있는 금속 산화물 나노입자를 삽입하여 광학적, 전기적 특성을 연구하였다. ZnO 박막을 증착하기 전 유리 및 사파이어 기판에 스퍼터를 사용하여 Pt금속전극을 형성한 이후, ZnO 박막을 $1{\times}10^{-10}$ Torr의 기본 진공도를 유지하는 초고진공 스퍼터를 사용하여 100 nm 두께로 증착 하였다. 금속 산화물 나노 입자를 제작 하기 위하여, ZnO 박막에 열증착 장비(thermal evaporator)를 사용하여 In 나노 입자를 10 nm 이하의 크기로 제작 하였다. 그 상부에 초고진공 스퍼터 와 열증착 장비를 사용하여 ZnO 박막 및 In 나노 입자를 순차적으로 증착하여 수백 nm 두께의 ZnO 박막을 제작한다. ZnO 박막 내부에 형성된 In 양자점은 ZnO 증착공정 중에 산화되어 $In_2O_3$ 의 산화물 나노 입자로 형성되며, 내부의 구조는 투과전자 현미경을 사용하여 확인 하였다. 제작된 금속 산화물 나노입자가 포함된 ZnO 박막의 광학적 특성을 photoluminescence, UV-Vis spectroscopy, ellipsometry를 통하여 확인 하였으며, solar simulator와 전류-전압 특정 장비를 사용하여 전기적 특성을 분석 하였다.

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Volume Rendering System of e-Science Electron Microscopy using Grid (Gird를 이용한 e-사이언스 전자현미경 볼륨 랜더링 시스템)

  • Jeong, Won-Gu;Jeong, Jong-Man;Lee, Ho;Choe, Sang-Su;Ahn, Young-heon;Hur, Man-Hoi;Kim, Jay;Kim, Eunsung;Jung, Im Y.;Yeom, Heon Y.;Cho, Kum Won;Kweon, Hee-Seok
    • Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.560-564
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    • 2007
  • Korea Basic Science Institute(KBSI) has three general electron microscopes including High Voltage Electron Microscope(HVEM) which is the only one in Korea. Observed images through an electron microscope are what they are tilted by each step and saved, offering the more better circumstances for observers, a reconstruction to 3D could be a essential process. In this process, a warping method decreases distortions maximumly of avoided parts of a camera's focus. All these image treatment processes and 3D reconstruction processes are based on an accompaniment of a highly efficient computer, a number of Grid Node Personal computers share this process in a short time and dispose of it. Grid Node Personal computers' purpose is to make an owner can share different each other and various computing resources efficiently and also Grid Node Personal computers is applying to solve problems like a role scheduling needed for a constructing system, a resource management, a security, a capacity measurement, a condition monitoring and so on. Grid Node Personal computers accomplish roles of a highly efficient computer that general individuals felt hard to use, moreover, a image treatment using the warping method becomes a foundation for reconstructing to more closer shape with an real object of observation. Construction of the electron microscope volume 랜더링 system based on Grid Node Personal computer through the warping process can offer more convenient and speedy experiment circumstances to observers, and makes them meet with experiment outcome that is similar to real shapes and is easy to understand.

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