차세대 원자로(KNGR : Korea Next Generation Reactor)에는 새로운 안전개념으로서 피동형 안전주입탱크(Safety Injection Tank. SIT)의 도입을 고려하고 있는데, 이러한 피동형 유량조절기능은 안전주입탱크내의 유체기구(Fluidic device)인 볼텍스챔버(vortex chamber)에 의해 이루어진다. 볼텍스챔버는 내부에서 발생되는 와류강도에 따라 유동저항의 강도가 달라짐을 이용하여 유량을 피동적으로 조절할 수 있는 유체기구이다. 본 연구에서는 볼텍스챔버의 유동특성을 관찰하기 위하여 소규모 실험장치를 구축하고, 이를 이용하여 실험을 수행하였다. 본 연구는 두 단계로 수행되었다. 제1단계 실험에서는 볼텍스챔버의 기하학적 특성이 안전주입탱크의 안전주입수 방출특성에 미치는 영향에 대한 거시적 관점에서의 연구로서. 볼텍스챔버의 기하학적 변수(유입구 및 방출구의 직경)가 안전주입수의 방출과정에서 발생되는 SIT 내의수위 거동, 안전주입수의 방출유량 특성등에 미치는 영향에 대해 중점적으로 고찰하였다 제2단계 실험에서는 1단계 실험에서 관찰된 안전주입탱크의 여러 가지 방출특성과 볼텍스챔버 내부 유동장의 유동특성과의 관련성을 규명하기 위해 PIV (Particle Image Velocimetry)를 이용하여 볼텍스챔버의 기하학적 변수에 따른 유동장 내부의 국소 유속분포를 측정하였다.
설계변경된 sector 챔버를 제작하고 저장링 챔버로서 성능을 알기 위하여 각종 진공실험을 하였 다. 가스방출률은 낮은 10-13 Torr.1/sec/cm2 이고 누설률은 1-10-10 Torr.1/sec 이하이며 2회 ba-keout과 NEG활성화후 얻어진 최종진공도는 낮은 10-11 Torr이었다.이러한 결과는 저장링 sector 챔버으 진공요 구조건을 충분히 만족시킨다.
구조가 복잡한 챔버의 온도분포와 유속변화를 연구하였다. 압축성 혹은 비압축성 유체, 층류 혹은 난류의 유속변화를 모델링 할 수 있는 FLUENT 프로그램으로 모사실험을 하였다. 챔버의 구조는 매우 복잡하여 단순화한 구조를 표준 $\kappa-\varepsilon$ 모델과 RNG $\kappa-\varepsilon$ 난류 모델 모사 실험하였다. 평가지역의 온도편차가 적은 것이 중요하다. 본 연구에서 얻은 챔버 내부의 온도분포와 유속변화 자료를 챔버의 제어 알고리즘을 향상하는 제공하였다. 개선된 제어 알고리즘을 이용하여 실제계에 적용한 결과 평가지역의 온도편차가 매우 개선되었다.
동물용 고압산소치료 시 산소를 통한 가압은 이미 있는 공기를 제거하고 산소로 대치시키는데 효율성이 떨어져서 100%에 가까운 산소분압을 구현하는데 어려움이 있고, 그 방법도 표준화되지 않았다. 따라서 어떠한 방식의 산소가압이 신속하고 효율적으로 100%에 가까운 산소분압을 구현할 수 있는지에 대한 방안을 개발하고 표준화할 필요가 있다. 동물용 고압산소치료를 활용한 동물실험이나 동물의 치료 중 가압 단계에서 간헐적 환기 방법이 더 신속하게 100%에 가까운 산소 분압을 보이므로 향후 표준 지침 개발을 위한 중요한 기반 연구와 제안으로 활용 가능하다. 이는 재난 기반으로의 고압산소챔버의 활용을 위한 기초 자료가 될 것이다.
본 논문은 맥파전달현상을 유지하며 맥압을 조절할 수 있는 시뮬레이터를 제작하는 것이 목적이다. 이를 위해 탄성튜브와 컴플라이언스 챔버를 융합하였다. 본 시뮬레이터는 슬라이더-크랭크로 구성된 압력발생부, 저항조절부를 포함한 혈관부, 수조 그리고 측정부로 구성되어있다. 챔버의 위치선정을 위해 챔버의 위치에 따른 맥파의 변화를 실험하였다. 또한 챔버가 맥압에 미치는 영향을 보기 위해 챔버의 유무에 따른 맥압의 변화를 비교하였다. 챔버의 유무가 맥파전달현상에 미치는 영향을 조사하였다. 실험결과, 튜브의 상류지점에 챔버를 설치할 때가 하류지점에 설치할 때 보다 인체와 더 유사한 압력파형을 나타냈다. 챔버를 설치하였을 때가 설치하지 않았을 때보다 인체와 유사한 맥압을 생성하였다. 챔버의 설치여부에 따른 맥파 전달 속도는 큰 변화가 없었다.
알루미늄 합금 진공챔버를 제작할 때 따르는 기밀 기술을 용접과 플랜지 이음 측면에서 해설하였다. 알루미늄 합금 재료 특성의 유리한 점 때문에 진공챔버로서의 그 사용이 증가하고 있으나, 챔버나 부품들을 제작할 때에 용접과 플랜지 이음에 상대적인 어려움이 있다. 진공 용접은 주로 TIG용접이며, 용접시에 가상누설을 최소화 하고 균열 방지를 위한 용접설계와 시공조건을 고려하는 것이 중요하다. 플랜지 이음에서는 알루미늄 콘플랫형과 금속오링을 사용하는 플랜지에 대하여 소개하였다. 이러한 기술은 앞으로 핵융합장치, 플라즈마 실험장치, 반도체 제조장비, 일반 초고진공장치에 응용될 것이다.
스모그 챔버는 대기 중 성분들의 화학 반응 기작을 연구하는데 사용되고 있다. 그러나, 기존 연구에서는 광화학 반응 전구물질의 농도가 실제 대기 농도보다 높고, 청정 공기에 연구 대상 전구물질만을 주입한 단순 혼합물을 이용하였으며, 여러 날에 걸쳐 반응이 진행된 성분들을 이용하지 않았다 (Dodge, 2000). 이와 달리 본 연구팀에서는 실내 스모그 챔버에 실제 대기를 도입하여 광화학 반응 실험을 수행하고 있다 (배귀남 등, 2003). 한 개의 스모그 챔버를 이용하는 경우 외기의 특성상 매 실험마다 초기조건이 달라지기 때문에 단일 인자의 차이에 따른 영향을 파악하기가 쉽지 않았다 (배귀남 등, 2003b). (중략)
본 연구에서는 다양한 작동조건(인가전압, 주파수)에 대하여 박막의 두께와 챔버의 직경이 열공압형 마이크로펌프의 액추에이터 박막의 거동 특성에 미치는 영향을 실험적으로 파악하기 위해 다양한 박막 두께와 챔버직경의 액추에이터를 제작하였다. 액추에이터는 파이렉스 표면에 위치한 마이크로히터, 챔버, 그리고 박막으로 구성된다. 모든 인가전압에 대하여 주파수가 10 Hz 이하로 감소함에 따라 박막 중앙의 최대 변위는 박막의 두께와 챔버의 직경에 관계없이 크게 증가한다. 낮은 주파수 영역에서 챔버로 공급되는 열량이 증가함에 따라 박막 중앙의 변위는 박막의 두께가 얇을수록, 챔버의 직경이 작을수록 증가한다. 10 Hz 이상의 주파수 영역에서 박막 두께, 챔버 직경, 공급 열량과 같은 모든 설계 변수가 박막 중앙의 변위에 미치는 영향은 미미하다.
플라즈마 공정에 있어 챔버 및 웨이퍼의 표면 상태변화는 공정 결과에 큰 영향을 끼치게 된다. 챔버 표면에 대한 연구는 많이 진행되어 있지만 대부분의 연구가 챔버 표면에서 일어나는 화학적 반응에 초점을 맞추고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 상태 변화에 따른 챔버 표면물질의 전기적 특성 변화를 관찰하였다. 프로브 표면에 Al2O3로 코팅을 하고 플라즈마에 삽입 후 AC 하모닉법을 이용하여 실시간으로 표면의 축전용량을 측정하였다. 그 결과 표면의 축전용량은 플라즈마에 인가한 전력과 표면이 플라즈마에 노출된 시간에 따라 변하는 것이 관찰되었다. 플라즈마에 인가된 전력이 증가되면 처음에는 급격이 축전용량이 증가하였고, 그 후 시간이 지날수록 천천히 수렴되었다. 유전물질의 축전용량은 그 물질의 온도와 연관이 있다. 실험 결과로 미루어 보았을 때, 플라즈마에서의 표면의 축전용량의 변화는 플라즈마로부터 표면으로의 열전달에 의한 표면의 온도 변화에 의한 것으로 이해할 수 있다. 특히, 쉬스에서 가속되는 이온의 포격에 의해 표면 격자가 크게 진동하면서서 일반적인 온도 변화에 의한 축전용량의 변화보다 더 큰 변화가 일어난 것으로 추정된다. 공정에 사용되는 많은 챔버의 표면이나 전극의 표면은 유전체로 코팅되어 있다. 이 유전체의 특성이 온도에 의해 변하게 되면 챔버의 전기적인 특성이 변하게 되어 임피던스 매칭 조건에 변화를 가져온다. 그 결과 플라즈마의 특성도 바뀌게 되어 공정 결과에 영향을 미치게 된다. 그러므로 챔버 표면의 유전특성을 관찰하고 제어하는 것이 플라즈마의 특성을 유지시키는데 중요하다고 할 수 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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