• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.230-230
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• 2013

플라즈마를 활용한 미세 패턴의 건식 식각은 반도체 소자 공정에 있어서 가장 중요한 기술 중 하나이다. 한편, 매년 발행되는 ITRS Roadmap 에 따르면 DRAM 의 1/2 pitch 는 감소하는 동시에 Contact A/R (Aspect Ratio) 는 증가하고 있다. 이러한 추세 속에서 기존의 공정을 그대로 활용할 경우 식각물의 프로파일 왜곡 혹은 휨 현상이 발생하고 식각 속도가 저하되며 이러한 특성들이 결과적으로는 생산성의 저하로 이어질 수 있다. 이러한 현상을 최소화하기 위해서는 무엇보다 독립된 plasma parameter 들이 식각물의 프로파일 혹은 식각 속도 등에 어떠한 영향을 주는 지에 대한 학문적 이해가 필요하다. 본 논문에서는 최소 CD (Critical Dimenstion) 100nm, 최대 A/R 30 인 HARC (High Aspect Ration Contact hole) 의 식각 특성이 plasma parameter 에 따라 어떻게 변하는지 확인해 보고자 한다. 산화물의 식각은 대표적인 high density plasma source 중의 하나인 ICP에서 진행하였으며 기존에 알려진 plasma parameter 에 더하여 자장의 인가가 산화물의 식각 특성에 어떠한 영향을 주는지 살펴보고자 전자석을 ICP 에 추가로 설치하여 실험을 진행하였다. 결과적으로, plasma parameter 에 따른 혹은 자장의 세기 변화에 따른 산화물의 식각 실험을 플라즈마 진단 실험과 병행하여 진행함으로써 다양한 인자에 따른 산화물의 식각 메커니즘을 정확하게 이해하고자 하였다. 실험 내용을 요약하면 다음과 같다. 먼저, 전자석의 전류 인가 조건에 따라 축 방향 혹은 반경 방향으로의 자장의 분포가 달라질 수 있음을 확인하였고 플라즈마 진단 결과 축 방향 혹은 반경 방향으로의 자장이 증가하였을 때 고밀도의 플라즈마가 형성될 수 있음은 물론 반경 방향으로의 플라즈마 밀도의 균일도가 향상됨을 확인할 수 있었다. 또한 ICP 조건에서 바이어스 주파수, 압력, 바이어스 파워, 소스 파워, 가스 유량 등의 plasma parameter 가 산화물의 식각 특성에 미치는 영향 및 메커니즘을 규명하였고 이 과정을 통해 최적화된 프로파일을 바탕으로 축 방향 혹은 반경 방향으로 증가하는 자장을 인가하였을 때 (M-ICP 혹은 자화 유도 결합 플라즈마) ICP 대비 산화물의 식각 속도가 증가함은 물론 PR-to-oxide 의 선택비가 개선될 수 있음을 확인할 수 있었다. 자장의 인가에 따른 산화물의 정확한 식각 메커니즘은 향후의 실험 진행을 통해 이해하고 이를 통해 궁극적으로는 산화물의 식각 공정이 나아가야 할 올바른 방향을 제시하고자 한다.

• Explosives and Blasting
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• v.19 no.1
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• pp.41-52
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• 2001

본 연구에서는 터널발파 진동의 전달 특성을 규명하기 위하여 네 곳의 도로터널의 '터널내부','터널외부','터널직상부 진행방향', '터널직상부' 진행직각방향'의 네 방향으로 발파진동을 계측하였다. 지발당장약량을 해당 지발당장약량과 최대 지발당장약량으로 구분하였으며, 지반의 진동 전달 특성을 확인하기 위하여 자승근 환산거리와 입방근 환산거리로 회귀분석 하였다. 또한 PPV, 거리별 우세진동수를 구하였다. 터널상부 진행방향의 진동 수준이 가장 크게 나타났으며, 진동의 감쇠도 크게 이루어졌다. 터널내부는 비교적 고주파성분이 우세하였으나 나머지는 일반적인 경향을 보였다 최대 지발당장약량을 적용한 입방근 환산거리의 경우가 거리별 감쇠특성 및 상관성이 다른 비교대상에 비하여 가장 우세하게 나타났다. 따라서 최대 지발당장약량을 적용한 입방근 환산거리 방식으로 설계하는 것이 바람직하다고 판단된다.

• Magazine of the Korea Concrete Institute
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• v.9 no.4
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• pp.187-196
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• 1997

시멘트를 기초로하는 복합재료의 파괴거동은 주균열이 진행하기 이전에 파괴진행영역이라고 하는 미세균열대가 콘크리트 내부에 형성고기 때문에 선형파괴역하게 입각하여 해석하게 되면 실험치와 상당한 차이를 나타낸다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 가상균열모델이나 균열띠 모델, 두 파라메터 파괴모델 등 비선형해석에 따른 여러 파괴역학모델들이 제안되었으나 이들 모델들은 2차원 해석에 근거를 두고 있기 때문에 구조체의 두께 방향으로 동일한 균열이 형성되며, 특히 콘크리트 실험에서 관찰되는 비연속적 균열발생에 대해서 설며이 어려웠다. 이에 본 연구는 콘크리트를하나의 다종복합체로 가정하고 연립변형모드 및 진행파괴모드 방향으로 구성재료를 배열한 상태에서 가상균열 이론에 근거한 비선형해석방법으로 모델링하였다. 진행파괴모드로 구성재료를 배열하면 강성이 높은 구성재료를 통과하여 균열이 진행될 때 균열선단으로부터 분포된 응력이 상층의 허용인장강도를 초과하게 되어 균열이 발생되며 이러한 균열은점진적인 균열진행과는 달리 비연속 동시 발생 균열ㄹ로 나타났다. 본 연구는 진행파괴모드에서의 파괴 해석 방법과연립변형모드에서의 해석 방법을 제시하였으며, 해석결과를 실험결과와 비교함으로써 검증하였다.

• Proceedings of the IEEK Conference
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• 2000.09a
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• pp.967-970
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• 2000

본 논문에서는 기동하는 표적을 추적하기 위한 표적의 운동 모델링 방법에 대해서 다룬다. 실제 표적의 운동은 진행방향으로의 가속과 이와는 독립적인 방향 전환으로 이루어진다는 점에 착안하여 표적의 진행방향에 따라 동작 잡음의 분산 행렬이 변화하는 표적 중심 모델을 제안하고, 이를 IMMPDAF(Interacting Multiple Model Probabilistic Data Association Filter)에 적용하였다. 모의실험을 통해 기존의 모델을 사용한 IMMPDAF와 비교하였으며, 그 결과 기동 구간의 오차가 30% 정도 줄어들며 추적 실패율도 낮아짐을 볼 수 있었다.

• Proceeding of EDISON Challenge
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• 2017.03a
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• pp.412-416
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• 2017

CMOS device에서 off leakage current로 인한 power dissipation 문제는 미래 소자에 주어진 주요한 과제이다. Nanowire FET은 이러한 문제를 해결할 주요 미래소자로 각광받고있다. 하지만 nanowire FET을 공정할 때 채널 에칭을 완벽한 원형 구조로 가지는 것이 어렵기 때문에 타원형으로 시뮬레이션을 진행해 볼 필요성이 있다. 본 논문에서는 nanowire의 aspect ratio, crystal orientation의 변화에 따른 nanowire FET의 전압-전류 특성 및 transport 특성을 관찰하는 연구를 진행하였다. 시뮬레이션 결과, [100] 방향은 완벽한 원형구조에서 최적인 반면에 [110] 방향은 타원형으로 모델링함에 있어서 장점이 있는 것으로 나타났다.

• Journal of Korean Tunnelling and Underground Space Association
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• v.5 no.3
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• pp.251-260
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• 2003

Tunnel blasting has been performed with V-cut to investigate the characteristics. Blasting vibrations were measured at two directions, the proceed direction and side direction. Propagation characteristics were determined by regression analysis; square root scaled distance and cube root scaled distance with maximum charge per delay of the blast. Testing result, The cross point was 62m in the allowable vibration velocity of 3mm/sec and 46m in 5mm/sec. Also, vibration level with measuring point was highest and decayed fastest, adapting to cube root scaled distance, for the proceed direction on ground.

• Computational Structural Engineering
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• v.8 no.1
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• pp.137-146
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• 1995

Structural stress under shock or impact load is varied with the lapse of time and the structural stress is called stress wave. Propagating longitudinal stress wave is studied in a 2-dimensional plate. A finite element program for elastic stress wave propagation is developed in order to investigate the shape of stress field at time increment. The longitudinal stress wave is generated by unit step function. According to the finite element analysis results, the longitudinal stress wave propagates to the similar direction of impact load and the front of stress wave propagates with the same speed as analytic solution and the shape of stress field is similar to that of analytic solution. The shear wave is occurred after the longitudinal stress wave and declined at an angle of 45 degrees compared with longitudinal stress wave and the speed of shear wave is about a half of the longitudinal stress wave. The intensity of shear wave is larger than that of longitudinal stress wave.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.24 no.8B
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• pp.1500-1505
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• 1999

In this paper, we presented the stereo algorithm for 3-D object recognition. In order to solve the problem for matching time in existed methods, we proposed the method which used the moving direction vector. On the other hand, after we extracted the moving vectors by moving direction of objects, rotated object was matched on axis of it. Using the Hough transform, we obtained the 2-D synthesed image as reference images corresponding to the rate of moving, and then compared with the unknown input images.

• Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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• v.20 no.5
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• pp.491-497
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• 2008

The effect of wave and current interactions on jet-like current flowing against waves was investigated based on numerical simulations. The numerical simulations were conducted using a model system of REF/DIF(a wave model) and SHORECIRC(a current model). In the simulations, irregular waves refracted due to the jet-like opposing current were focused along the centerline of current, and the jet-like current was spreaded earlier when the wave heights become larger. The numerical results show that the rapid change of wave height distribution in transverse direction near current inlet plays a significant role to spread the jet-like current. In other words, the radiation stress gradients acting in transverse direction have a more significant effect on the jet-like current than its gradients acting in flowing direction which tend to accelerate the current do. In conclusion, it is indispensible to take into account the interaction between waves and current when the jet-like current such as river mouth meets opposing waves.

• Information and Communications Magazine
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• v.22 no.9
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• pp.138-163
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• 2005

2세대 이동통신의 본격적인 상용화 이후, 보다 향상된 무선 멀티미디어 서비스를 지원하기 위해 ITU는 IMT-2000이라고 불리는 복수의 국제 무선 규격을 2000년에 승인하였으며 이을 통칭하여 3G(Third Generation) 이동통신 시스템이라고 부르고 있다. 특히 여러 3G 기술 표준들 가운데 3GPP(Third Generation Partnership Project)와 3GPP2(Third Generation Partnership Project)라는 양대 국제 표준화 기구에서 완성된 UMTS와 cdma20()0 @ 시스템은 현재 일본, 유럽, 미국, 국내 등지에서 본격적인 상용 서비스를 시행 또는 준비 중에 있다. 초기 3G 표준의 제정 이후, 각 표준화 기구들은 상향과 하향 링크의 양방향 모두에서의 고속 패킷 데이터 전송, 무선 성능 향상, IP 네트워크를 위한 구조의 진화, 향상된 서비스 등을 목표로 하여 3G 무선 규격에 대한 성능 향상 및 진화를 위한 표준화 작업을 진행해 왔으며 또한 현재에도 진행 중에 있다. 최근에 이르러3GPP에서는 장기적 관점에서 향후 시스템의 진화 (Long-Term Evolution: LTE) 방향에 대한 논의가 활발히 진행되고 있으며, 3GPP2 TSG-C에서도 진화 방향에 대한 논의가 구체화되기 시작하였다. 본 논문 에서는 3GPP/3GPP2 표준화 동향 및 각 표준화 단체의 최종 진화 시스템에 대한 다양한 방향성을 가늠해 본다.