• Title/Summary/Keyword: 진공배기

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유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석

  • Yu, Yeong-Gun;Choe, Ji-Seong;Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.186-186
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    • 2013
  • 종래의 흑연 위주 연료전지 분리판 개발되어 최근 고분자 전해질 막 연료전지가 높은 전력, 낮은 배기 가스 배출, 낮은 작동 온도로 자동차 산업에서 상당한 주목을 받고 있다. 요구사항은 높은 전기 전도도, 높은 내식성, 낮은 가스 투과성, 낮은 무게, 쉬운 가공, 낮은 제조비용이다. Thin film Cr 장비로 저항가열 furnace, sputter 등이 사용된다. 연료전지 분리판의 고전도도, 내부식성 보호막의 고속 증착을 위한 새로운 증착원으로 스퍼터 - 승화형 소스의 가능성을 유도 결합 플라즈마에 금속 봉을 직류 바이어스 함으로써 시도하였다. 유도 결합 플라즈마를 이용하여 승화증착 시스템을 사용하여 OES (SQ-2000)와 QMS (CPM-300)를 사용하여 $N_2$ flow에 따른 유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화증착 시스템을 사용 하여도 균일한 공정을 하는 것을 확인 하였다. 5 mTorr의 Ar 유도 결합 플라즈마를 2.4 MHz, 500 W로 유지하면서 직류 바이어스 전력을 30 W (900 V, 0.02 A) 인가하고, $N_2$의 유량을 0.5, 1.0, 1.5 SCCM로 변화를 주어 특성을 분석하였다. MID (Multiple Ion Detection) mode에서 유도결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 장비를 사용하여 CrN thin flim 성장시켰고, deposition rate은 44.8 nm/min으로 얻을 수 있었다. 또한 $N_2$의 유량이 증가할 수록 bias voltage가 증가하는 것을 확인 할 수 있었다. OES time acquisition을 이용한 공정 분석에서는 $N_2$ 유량을 off 하였을 때 Ar, Cr의 중성 intensity peak이 상승하였고, 시간 경과에 따라 sublimation에 의한 영향이 없는 것을 확인 할 수가 있었다. XRD data에서는 질소 유량이 증가함에 따라 $Cr_2N$이 감소하고, CrN이 증가하는 것을 확인할 수가 있었다. 결정배향성과 Morphology는 다결정 재료의 경도에 영향을 주는 인자이다. CrN 결정 구조의 경우는 (200)면이 경도가 제일 높은데 (200)면에서 성장한 것을 확인 할 수 있었다. 잔류가스 분석 결과로는 일정한 Ar의 유량을 흘렸을 때 $N_2$의 변화량이 비례적인 경향이 보이는 것을 확인 할수 있었다. 또한 $N_2$가 흐르면서도 유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템을 사용하면 일정한 공정을 하는 것을 확인 할 수 있었다. 질소의 분압이 유량에 따라서 $3.0{\times}10^{-10}$ Torr에서 $1.65{\times}10^{-9} $Torr까지 일정한 비율로 증가한다. 즉, 이 시스템으로 양산장비 설계를 하여도 가능 하다는 것을 말해준다.

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An Experimental Study on the Smoke Filtration System Using Water Injection and Vacuum Pump driven by Exhaust Gas (물 분사 및 배기가스 구동형 진공펌프를 이용한 매연여과장치에 대한 실험적 연구)

  • Lee, Han-Sung;Kim, Kyong-Hyon;Jung, Suk-Ho;Koh, Dae-Kwon
    • Journal of Power System Engineering
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    • v.17 no.3
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    • pp.17-22
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    • 2013
  • Diesel particulate filter has been adopted in new vehicle with diesel engine. Since the flow of exhaust gas was clogged as particulate matters were deposited in the filter, it have bad effects on a fuel consumption and power. It was investigated that a particulate filtering system with vacuum pump in the exhaust gas line could be free from clogging in previous research. In this study, the effects of water injection and position of inlet port in filtering system on reducing in particulate matter were investigated. It was noticed that particulate matter were decreased remarkable by water injection and moving the position of inlet port.

Evaluation of Oxidation System for Metal Oxide Thin Film (금속 산화물 박막 제작을 위한 산화 시스템의 평가)

  • 임중관;김종서;박용필
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2003.05a
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    • pp.590-593
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    • 2003
  • Ozone is a strong and useful oxidizing gas for the fabrication of oxide thin films. In order to obtain high quality oxide thin films, higher ozone concentration is necessary. In this paper an ozone condensation system was evaluated from the viewpoint of an ozone supplier for oxide thin film growth. Crone was condensed by an adsorption method and the ozone concentration reached 8.5 mol% in 2.5 h after the beginning of the ozone condensation process, indicating high effectiveness of the condensation process. Ozone was continuously desorbed from the silica gel by the negative pressure. We found the decomposition in the ozone concentration negligible if the condensed ozone is transferred from the ozone condensation system to the film growth chamber within a few minutes.

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High Temperature Oxidation Behavior of the Brazed Joint in Fe-Cr-Al-Y Alloy (Fe-Cr-AI-Y합금에서 브레이징 접합부의 고온산화거동)

  • Mun, Byeong-Gi;Choe, Cheol-Jin;Park, Won-Uk
    • 연구논문집
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    • s.27
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    • pp.201-208
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    • 1997
  • To improve the joining characteristics of metallic converter substrate for exhaust gas cleaning, high temperature brazing process has been studied. In this study, the effect of chemical composition of brazing filler metal on the oxidation behavior of brazed joints was investigated closely. Brazing was carried out at $1200^\circC$ in vacuum furnace using nickel-based filler metals : BNi-5 powder(Ni-Cr-Si base alloy) and MBF-50 foil(Ni-Cr-Si-B). The MBF-50 containing 1-1.5 wt%B showed relatively poor oxidation resistance of the brazed joints compared to BNi-5, because of the faster invasion of oxygen through the Kirkendal voids along the interface of mother alloy/filler metal.

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Drum Type Auto Seeding System for Automatic Speed Control System (속도 자동 제어 기능을 구비한 드럼식 자동 파종 시스템)

  • Kim, Song-Hyun;Kim, Hyun-Soo;Oh, Chang-Jun
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2017.10a
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    • pp.512-513
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    • 2017
  • In this paper, an automatic sowing system which arranges the seeds gathered using inhaling technique, on the upper part of cells in trays, is developed to improve the sowing efficiency. In the system, the seeds in inhaled into the vacuum drum, then the seeds are exhausted and arranged on the rotating tray, resulting in rapid sowing system. Also, the velocity control algorithm for the conveyor belt transporting tray is developed to compensate the velocity error generated while the belt is carrying the tray. The velocity control algorithm controls the pulses applying to the stepper motor rotating the drum.

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Construction and Assembly of KSTAR Current Leads and the Helium Control System (KSTAR 전류인입선 및 헬륨냉매 제어시스템 제작 및 설치)

  • Song, N.H.;Woo, I.S.;Lee, Y.J.;Kwag, S.W.;Bang, E.N.;Lee, K.S.;Kim, J.S.;Jang, Y.B.;Park, H.T.;Hong, J.S.;Park, Y.M.;Kim, Y.S.;Choi, C.H.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.16 no.5
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    • pp.388-396
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    • 2007
  • KSTAR (Korea Superconducting Tokamak Advanced Research) current lead system (CLS) has a role to interconnect magnet power supply (MPS) in room temperature (300 K) and superconducting (SC) bus-line, electrically. For the first plasma experiments, it should be assembled 4 current leads (CL) on toroidal field (TF) current lead box (CLB) and 14 leads on poloidal field (PF) CLB. Two current leads, with the design currents 17.5 kA, and SC bus-lines are connected in parallel to supply 35 kA DC currents on TF magnet. Whereas, it could supply $20\;{\sim}\;26\;kA$ to each pairs of PF magnets during more than 350 s. At the cold terminals of the leads, there are joined SC bus-lines and it was constructed helium coolant control system, aside from main tokamak system, to protect heat flux through current leads and enhanced Joule heat due to supplied currents. Throughout the establishment processes, it was tested the high vacuum pumping, helium leak of the helium lines and hardwares mounted between the helium lines, flow controls for CL, and liquid nitrogen cool-down of possible parts (current leads, CL helium lines, and thermal shield helium lines for CLB), for the accomplishment of the required performances.

Synthesis and Magnetic Properties of $Fe-TiO_2$ Nanocomposite Powders by Mechanical Alloying (기계적 합금화법에 의한 $Fe-TiO_2$ Nanocomposite의 합성 및 자기적 성질)

  • 홍대석;이성희;이충효;김지순;권영순
    • Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.63-63
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    • 2002
  • 현재 기계적 합금화법에서는 주로 합금을 구성하는 성분원소 분말을 불활성분위기에서 볼밀처리 함으로써 함금화를 시키거나 모합금에 산화물을 분산시켜 복합화시키는 공정을 통하여 각종 화합물, 비정질상 및 과포화고용체등의 준안정상의 합성 뿐만이 아니라 초미세조직의 생성에 관한 폭 넓은 분야의 연구가 행하여지고 있다. 한편 MA에서는 볼멀처리중 기계적 에너지의 투여에 의하여 실제 반응온도보다 낮은 온도에서 발생하는 특이한 화학반응 즉 Mechanochemical 반응을 일으키 기도 한다. 본 연구에서는 헤마타이트($Fe_20_3$)와 금속윈소인 Ti의 MA처리에 의하여 고상환원반응 을 유기시켜 $Fe-TiO_2$계 nanocomposite 분말재료를 제조하고자 한다. 특히 MA 공정에 있어서 자기 물성의 변화와 X선 회절을 통하여 고상환원반응에 의한 복합분말의 생성과정을 조사하였다. 출발원료는 $Fe_20_3$(고순도화학제,99.9%, 평균입경 0.1$\mu\textrm{m}$)와 금속원소인 Ti(99.9%, 명균업경 150$\mu\textrm{m}$)을 몰비 2:3의 조성이 되도록 하여 MA를 실시하였다. 볼멀은 고에너지 유성형 볼밀장치(독일 제, Fritsch P-5)를 이용하였으며 진공치환형 용기에 원료분말을 장입하여 2회정도 진공배기한 후 아르곤 가스를 충전하여 볼밀을 행하였다. 얻어진 분말시료에 대하여 x-선 회절장치, 전자현미경 (SEM) 및 진동시료형자력계(VSM)를 통하여 결정구조, 미셰조직 빛 자기특성을 조사하였다. $Fe_2O_3-Ti$ 혼합분말의 MA처리 에 의하여 초기단계부터 환원반응과 함께 $Fe_3TIO_{lO}$ 중간상이 관찰 되었으나 30hrs의 MA처리 후 Fe와 산화물 $TiO_2$로 모두 환원되어 $Fe-TiO_2$계 나노복합분말이 얻어짐을 알 수 있었다. 이 때 X션 회절피크의 line broadening으로부터 복합분말의 Fe 명균 결정립 크기는 24nm로 초미세 결정럽의 분말합금이었다. 포화자화값은 볼밀처리에 따라 점점 증가하여 MA 30시간에는 20.3emu/g로 포화됨을 알 수 있었다. 또한 보자력 Hc는 MA초기단계에 350e로 매우 낮으나 30시간 후에는 Hc값이 2600e로 매우 큰 값을 나타내었다. 이것은 환원반응결과 초기에 생성된 Fe의 결정립이 비교적 크고 결정결함이 적으나 볼밀처리를 30시간까지 행하면 Fe 결정렵의 미세화 빛 strain 증가로 magnetic hardening이 일어나기 때문인 것으로 사료된다.

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PL 사례에 대응한 제품안전성 제고방안

  • 임현교
    • Proceedings of the Korean Reliability Society Conference
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    • 2001.06a
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    • pp.375-375
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    • 2001
  • 금년 7월 1일부터 개정 시행되는 품질경영촉진 및 공산품안전관리범파, 2002 년 7 월 1 일부터 시행되는 제조물책임(Product Liability; PL)법으로 인하여 제품의 안전성을 제고하기 위한 노력이 정부와 기업. 학계에서 다각도로 진행중이다. 그러나, 그 추진방향들이 아직 제각각이어서 하나의 조직적인 체계를 갖추진 못하고 있다. 그 이유는 제조물책임에 대응하기 위한 제품안전성 향상이 어느 한 분야의 활동으로는 충족시킬 수 없기 때문이지만, 기본적으로는 제품안전이 담당하여야 하는 책임의 범위가 어디까지인지 기업을 비롯한 관계자들이 명확히 이해하고 있지 못하기 때문이다. 본 연구에서는 이와 관련하여, 기존에 이미 시행착오를 겪은 선진국들의 소송사례를 중심으로 제품결함 중 어느 부분에 문제가 제기되는가를 살펴보고, 그 대응책을 제시하고자 하였다. 먼저 제조물책임법의 제정 취지와 법에서 정하고 있는 책임범위가 어디까지인지를 살펴보고, 선진국의 소송사례를 중심으로 그 적용범위를 확인하였다 또한 제조물책임에 대응하기 위한 방법이 어떻게 진행되는지를 살펴보고, 그 중 제품 안전성 (Product Safety) 을 향상시키기 위하여 신뢰성이나 품질측면에서 경영상의 어떤 노력이 경주되어야 하는가를 검토하였다. 한편, 리스크 관리상의 리스크 분석과 위험성 분석과의 관계, 위험성 분석의 기법들, 위험성 분석기법의 선정요령, 제품의 안전성을 평가하기 위하여 기존의 위험성 분석기법을 어떻게 활용할 것인가, 적용상의 문제점은 없는가 검토하였다. 마지막으로, 현재 기업들이 가장 소홀하게 대응하고 있는 표시상의 결함에 대하여 소송 및 보상사례를 살펴보고, 그에 대한 대책으로서 픽토그램, 라벨, 경고문구, 그리고 사용설명서의 작성 및 표시 방안에 대하여 대응방안을 고찰하였다. 용융이 발생될 수 있다. 따라서, 이러한 현상을 방지하기 위해서는 진공 분위기 하에서 적절한 접합 틈새를 유지할 수 있는 공정 및 장비의 개발이 필요하다.(Icing화) 문제가 발생하기 때문에 배기가스의 Icing을 방지하기 위하여 압축기 끝단에서 공기를 추출하여 배기부분에 송출할 필요성이 있는 것으로 판단되었다. 출구가스의 기체 유동속도가 매우 빠르므로 (100-l10m.sec) 이를 완화하기 위한 디퓨저의 설계가 요구된다고 판단된다. 또 연소기 후방에 물을 주입하는 경우 열교환기 및 기타 부분품에 발생할 수 있는 부식 및 열교환 효율 저하도 간과할 수 없는 문제로 파악되었다. 이러한 기술적 문제가 적절히 해결되는 경우 비활성 가스 제너레이터는 민수용으로는 대형 빌딩, 산림, 유조선 등의 화재에 매우 적절히 사용되어 질 수 있을 뿐 아니라 군사적으로도 군사작전 중 및 공군 기지의 화재 그리고 지하벙커에 설치되어 있는 고급 첨단 군사 장비 등의 화재 뿐 아니라 대간첩작전 등에 효과적으로 활용될 수 있을 것으로 판단된다.가 작으며, 본 연소관에 충전된 RDX/AP계 추진제의 경우 추진제의 습기투과에 의한 추진제 물성 변화는 미미한 것으로 나타났다.의 향상으로, 음성개선에 효과적이라고 사료되었으며, 이 방법이 편측 성대마비 환자의 효과적인 음성개선의 치료방법의 하나로 응용될 수 있으리라 생각된다..7%), 혈액투석, 식도부분절제술 및 위루술·위회장문합술을 시행한 경우가 각 1례(2.9%)씩이었다. 13) 심각한 합병증은 9례(26.5%)에서 보였는데 그중 식도협착증이 6례(17.6%), 급성신부전증 1례(2.9%), 종격동기흉과 폐염이 병발한 경우와 폐염이 각 1례(2.9%)였다. 14) 식도경 시행회수는 1회가 17례(54.8%), 2회가 9례(29.0%), 3회 이상이

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The Effect of Contamination of Ion Source on Ionic Current of Quadrupole Mass Spectrometer (사중극 질량 분석기의 이온소스 오염이 이온전류에 미치는 영향)

  • Lee, K.C.;Park, C.J.;Kim, J.T.;Oh, E.S.;Hong, K.S.;Hong, S.S.;Lim, I.T.;Yun, J.Y.;Kang, S.W.;Shin, Y.H.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.18 no.3
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    • pp.197-202
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    • 2009
  • The long term stability of ion current of QMS has been one of key parameters for monitoring gas process in vacuum. The time dependence of ionic current was monitored while the pressure of nitrogen gas was kept at a fixed pressure by introducing the gas into vacuum chamber. The chamber was evacuated to ${\sim}3{\times}10^{-9}\;Torr$ to reduce background signals before the measurement. Two ion sources were tested; one had brownish or black color due to gas contamination and the other one was new, i.e. cleaner. At a nitrogen pressure of $1{\times}10^{-5}\;Torr$, the ionic currents measured by the contaminated ion source decreased faster with time. The decrease rate was respectively ${\sim}46%$ for cleaner one and ${\sim}84%$ for contaminated one after ${\sim}5.5%$ hours. In order to test the effect of filament material on the ion current decrease, we fabricated a tungsten(W) filament which consisted of two parts; one half was made of W and the other was coated with yttria. The similar decrease of ionic currents were shown for the two types of filaments, indicating that slight change of temperature of filament due to material difference i.e. baking effect could not improve the origin of ionic current decrease. Overall the decreasing rate of ionic current is more closely associated with contaminated ion source of QMS rather than its filament materials.

Development and Validation of Cryopanel Cooling System Using Liquid Helium for a Satellite Test (액체헬륨을 이용한 위성시험용 극저온패널 냉각시스템 개발 및 검증)

  • Cho, Hyok-Jin;Moon, Guee-Won;Seo, Hee-Jun;Lee, Sang-Hoon;Hong, Seok-Jong;Choi, Seok-Weon
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.34 no.2
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    • pp.213-218
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    • 2010
  • A cooling system utilizing liquid helium to chill the cryopanel (800 mm $\times$ 700 mm dimensions) down to 4.2 K was designed, implemented, and tested to verify the role of the cryopanel as a heat sink for the payload of a spacecraft inside the large thermal vacuum chamber (effective dimensions : 8 m ($\Phi$) $\times$ 10 m (L)) of KARI (Korea Aerospace Research Institute). Two LHe (Liquid Helium) Dewars, one for the main supply and the other for refilling, were used to supply liquid helium or cold helium gas into this cryopanel, and flow control for the target temperature of the cryopanel within requirements was done through fine adjustment of the pressure inside the LHe Dewars. The return helium gas from the cryopanel was reused as a thermal barrier to minimize the heat influx on the core liquid helium supply pipe. The test verified a cooling time of around three hours from the ambient temperature to 40 K (combined standard uncertainty of 194 mK), the capacity for maintaining the cryopanel at intermediate temperatures, and a 1 K uniformity over the entire cryopanel surface at around 40 K with 20 W cooling power.