3차원 적층 패키지를 위한 Cu/Sn-3.5Ag 미세범프의 솔더 구조에 따른 금속간화합물 성장거동을 분석하기 위해 솔더 두께가 각각 $6{\mu}m$, $4{\mu}m$인 서로 다른 구조의 미세범프를 $130^{\circ}C$, $150^{\circ}C$, $170^{\circ}C$ 조건에서 실시간 주사전자현미경을 이용하여 실시간 금속간화합물 성장 거동을 분석하였다. Cu/Sn-3.5Ag($6{\mu}m$) 미세범프의 경우, 많은 양의 솔더로 인해 접합 직후 솔더가 넓게 퍼진 형상을 나타내었고, 열처리 시간경과에 따라 $Cu_6Sn_5$ 및 $Cu_3Sn$금속간화합물이 성장한 후, 잔류 Sn 소모 시점 이후 $Cu_6Sn_5$가 $Cu_3Sn$으로 상전이 되는 구간이 존재하였다. 반면, Cu/Sn-3.5Ag($4{\mu}m$) 미세범프의 경우, 적은양의 솔더로 인해 접합 직후 솔더의 퍼짐 현상이 억제 되었고, 접합 직후 잔류 Sn상이 존재하지 않아서 금속간화합물 성장구간이 억제되고, 열처리 시간경과에 따라 $Cu_6Sn_5$가 $Cu_3Sn$으로 상전이 되는 구간만 존재하였다. 두 시편의 $Cu_3Sn$상의 활성화 에너지의 값은 Cu/Sn-3.5Ag($6{\mu}m$) 및 Cu/Sn-3.5Ag($4{\mu}m$) 미세범프가 각각 0.80eV, 0.71eV로 나타났고, 이러한 차이는 반응기구 구간의 차이에 따른 것으로 판단된다. 따라서, 솔더의 측면 퍼짐 보다는 접합 두께가 미세범프의 금속간화합물 반응 기구를 지배하는 것으로 판단된다.
이온빔보조증착법을 이용하여 c-BN(70%)/h-BN(30%) 혼합막을 합성하였으며, 이를 후속 열처리로 안정화 시켰다. 보론은 e-beam evaporator로, 질소는 end-hall type 이온 건으로 공급하였으며, 기판에는 -400과 -500V의 DC 바이어스를 각각 인가하였고, $700^{\circ}C$로 가열하였다. 보론의 기화속도는 1.2 $\AA$/sec였고, 질소이온의 에너지는 약 100 eV였다. 막 합성 후같은 진공에서 후속열처리를 $700^{\circ}C$ 및 $800^{\circ}C$에서 1시간동안 각각 행하였다. 후속열처리를 하지 않은 경우에는 공기 중에 노출된 직후에 막이 기판에서 박리된 반면, $800^{\circ}C$에서 후속 열처리를 한 경우에는 안정하였다. 후속 열처리에 의하여 막 전체의 응력은 4.9 GPa에서 3.4 GPa로 감소하였으나, c-BN상의 응력은 변화하지 않았다. 이러한 결과는 c-BN상의 응력 해소를 주요 안정화 기구로 보고한 기존의 결과와 다른 것으로, 후속 열처리 동안에, 비정질이나 결함이 많은 h-BN상의 구조적, 화학적 relaxation에 의하여 막의 안정화가 진행될 수 있음을 의미한다. c-BN상의 분율이 작은 혼합막의 경우 비 c-BN상의 안정화가 막 전체의 안정화에 매우 중요할 것으로 판단된다.
고추장을 열(8$0^{\circ}C$/30분)과 초고압(73$^{\circ}C$/680 MPa/30분)으로 처리한 후 37$^{\circ}C$에서 120일간 저장하면서 생균수와 품질변화를 측정하였다. 처리 직후 생균수는 열처리군이 1.43$\times$$10^{6}$ CFU/g과 비교하여 볼 때 열처리에 의한 미생물 살균효과는 미약하였으나, 초고압 처리로 생균수를 약 3 log cycle 감소시킬 수 있었다. 고추장의 생균수는 저장기간에 따라 감소하였다. 무처리군은 저장 초기에 3.78$\times$$10^{6}$ CFU/g에서 저장 120일에는 5.43$\times$$10^4$ CFU/g으로 약 2 log cycle 감소하였고, 열처리군은 저장 초기에 1.43$\times$$10^{6}$ CFU/g에서 저장 120에는 3.10$\times$$10^2$ CFU/g으로 약 4 log cycle 감소한 반면, 초고압 처리군은 처리 직후 1.56$\times$$10^3$ CFU/g에서 저장 90일 후에는 검출되지 않았다. 고추장의 pH는 저장기간에 따라 유의적으로 감소하였다. 고추장의 적정산도는 저장기간에 따라 유의적으로 증가하였으며, 초고압 처리군은 무처리군보다는 낮은 값을, 열처리군보다는 높은 값을 유지하였다. 고추장의 아미노태질소 함량은 저장기간에 따라 유의적으로 감소하였으며, 초고압 처리군은 열처리군보다는 높은 값을, 무처리군보다는 낮은 값을 유지하였다. 고추장의 저장 중 환원당과 에탄올 함량은 처리방법에 관계없이 저장기간에 따라 유의적으로 차이가 없었다. 고추장의 Hunter L, a, b값은 저장기간에 다라 유의적으로 감소하여 흑변하는 현상을 관찰할 수 있었으며, 무처리 고추장은 열처리군과 초고압 처리군에 비하여 변색의 정도가 심하였으나, 초고압 처리군은 열처리군과 유사한 경향을 나타내었다.
감귤의 수확후 저장, 유통과정에서 부패 억제 및 약제 후숙처리 대체 효과를 얻기 위하여 환경친화적 방법으로서 제한적 열처리 기술의 적용 가능성을 확인하고자, 제주 서귀포산 조생종 온주 감귤의 열풍(hot air)처리에 따른 저장중 품질특성 변화를 살펴보았다. 상처가 없는 일정한 크기(약 120 g 내외)의 건전 과실을 선별한 후, 45$^{\circ}C$에서 2, 4, 6시간 동안 열풍을 가한 다음 5$^{\circ}C$에서 2시간 냉각하였다. 충분히 냉각시킨 과실을 통기성 천공 LDPE 필름에 포장하여 5$^{\circ}C$에서 3주, 18$^{\circ}C$에서 1 주간 저장하면서 생리적, 이화학적, 관능적 특성변화를 측정하였다. 열풍처리 직후 초기 호흡률은 처리구 모두 무처리구와 비교하여 높았으나 처리시간과는 유의적 상관성이 없었고, 저장중 처리구 감귤의 호흡률은 감소하여 21일째는 무처리구와 유사한 수준을 나타내었다. 과실내 기체조성은 처리구간에 차이를 보이지 않았으나 저장 21일부터는 저장온도 상승에 따라 $O_2$는 다소 감소하고 $CO_2$는 증가하는 양상을 보였다. 또한 과즙의 pH, 산도, 당 함량은 열처리에 의해 거의 영향을 받지 않았으며, 과실의 생체 중량감소율과 경도에서도 처리구간의 유의적인 차이를 구분할 수 없었다. 과피 표면색은 저장중 초기에 비해 다소 붉은 색으로 변하였으나, 6시간 처리구에서는 비교적 자은 노란색을 유지하였다. 한편 부패과 발생률에 있어서는 4시간 처리구가 축부병 등에 의한 짓무름 현상과 곰팡이 발생정도, 검은 썩음병에 따른 흑변 정도에서 저장중 가장 낮은 수준을 나타내었다. 그러나 관능적 평가에서는 열풍처리구와 무처리구 사이에서의 유의적인 차이를 발견할 수 없었다. 결과적으로 45$^{\circ}C$, 4시간이상의 제한적 열풍처리는 조생종 온주 감귤의 저장중 부패과 발생률을 현저히 감소시킴으로서 수확후 품질유지에 효과적인 열처리 조건임을 확인할 수 있었다.
100keV $O^+$이온 빔에 의해 형성된 separation by implanted oxygen(SIMOX) silicon on insulator (SOI)의 열처리 전후의 계면 구조를 high resolution transmission electron microscopy(HRTEM)을 이용하여 관찰하였다. 실리콘 주입 온도 $550^{\circ}C$에서 ~$5\times 10^{17}\textrm{cm}^{-2}O^+$를 주입한 직후의 계면은 매우 거칠고 산화물 석출, stacking fault, coesite $SiO_2$ 상 석출물 등 여러 가지 형태의 결함들을 가지고 있었다. 반면, 이것을 $1300^{\circ}C$에서 열처리한 후의 계면은 매우 편편하고 잘 정의된 계면으로 변하였다. 열처리후의 계면은 HRTEM을 통해서 3keV$O_2^\;+$이온 빔에 의해 형성된 산화막 계면, 그리고 게이트 산화막으로 사용되는 ~ 6nm열 산화막 계면과 비교하여 볼 때 비슷한 수준의 roughness를 보여 주었다.
DC 마그네트론 스퍼터를 이용하여 $InSb$ 박막을 증착하고 증착온도, 후속 열처리, 증발 차폐막 및 적층구조의 영향을 조사 하였다. 증착직후의 $InSb$ 시편에서 증착온도의 증가와 더불어 이동도와 전자농도 모두 거의 선형적으로 증가 하였으며 이동도가 극히 낮은 영역에서의 이동도는 화학양론비보다도 결정립의 크기에 직접적으로 영향을 받는 것으로 확인 되었다. 차폐막이 없는 경우에 비하여 차폐막을 형성시킨 경우 이동도가 크게 증가 하였으며, 또한 적층구조 시편의 경우 $In$의 증착량 증가와 더불어 이동도가 증가 하였다. 이는 두 경우 모두 박막내의 $In$과 $Sb$의 화학양론비가 점차 정량에 가까워지기 때문인 것으로 판단된다. 차폐막을 형성시키고 열처리한 시편의 경우 열처리 시간이 길어질수록 박막의 이동도는 증가하고 있으며 박막의 최대 이동도값은 1612 $cm^2$/Vs로 측정 되었다.
새송이 버섯은 맛과 향이 좋고 영양적으로 우수하여 성인병 예방과 개선 효과가 있다고 알려져 있으나 재배농가의 급증으로 인한 가격하락과 집중출하로 신선도의 하락 등이 문제가 되고 있어 새송이 버섯의 활용성을 향상시키고, 소비자의 기호를 충족시킬 수 있는 버섯류 가공품 개발이 요구되고 있다. 전통절임식품을 응용한 새로운 버섯류 장류절임 가공법을 개발하기 위하여 절임 전 처리에 따른 품질특성을 비교하였으며, 이를 위하여 먼저 절임 전처리 조건으로 블랜칭처리, 적정 염농도와 처리시간 및 탈염법을 개발하고 건조 등의 전처리에 따른 품질 평가는 수분함량, 염도, 색상, 조직감, 관능특성 등을 평가하였다. 새송이 버섯을 전처리하기 위한 블랜칭 처리조건은 7$0^{\circ}C$에서 10분간 처리한 구가 조직감이 우수하고 갈변이 적었으며 염 침지시간은 침지 72시간까지는 증가하였으나 그 이후로는 증가하지 않았고 4$0^{\circ}C$에서 탈염하는 것이 가장 우수하여 전처리 조건으로 선정하였다. 전처리 방법에 따른 중량변화는 블랜칭 처리가 약 10% 정도 중량이 더 많았으며 이 영향은 건조 후에도 지속되었다. 수분함량도 블랜칭 처리가 높았으며 염도 또한 건조 처리에 따라 높은 함량을 보였으나 블랜칭 처리를 병행했을 경우 낮은 값을 나타내었다. 조직의 강도는 무처리에 비하여 전처리를 함에 따라 많은 힘이 소요되어 질긴 조직 특성을 나타냄을 알 수 있다. 관능평가 결과 블랜칭 처리를 단독으로 실시한 B(B)처리구가 관능적 특성치 모두 높은 값을 보여 전처리 방법으로는 가장 우수한 전처리 방법임을 알 수 있었다.저온 장시간 처리한 경우에 비하여 낮은 수준이지만 약간의 증감 경향을 보이다가 고른 평형 상태를 유지하였다. 산소 농도는 저온 장시간 처리 직후 급격히 저하된 후 다시 증가하였으며 저장 7일 후에는 4$0^{\circ}C$ 3시간 처리구를 제외하고는 평형 상태를 유지하였다. 고온 단시간 처리구의 경우 처리 직후부터 저장 7일 후까지 고른 평형 상태를 유지하였다. 에틸렌의 경우 저온 장시간 처리구는 처리 직후 그 농도가 급격히 상승하였다가 저장 1일 후부터 대조구보다 낮은 값을 나타내었다. 고온 단시간 처리구의 경우 저온 장시간 처리구와는 달리 저장 1일 후부터 그 농도가 다소 상승되었다가 다시 감소는 경향을 보였다. 한편 열처리하여 냉각시킨 직후 및 저장1주 후 사과의 pH, 산도, 당도, 경도, 과육의 갈변도 등을 조사하였던 바 대조구 및 처리구간에 일부 항목에 있어서는 약간의 차이를 나타내었다. 대치할 수 있을 것이라고 사료된다. 수분함량은 기계적 검사보다 관능검사와 더욱 높은 상관관계를 나타냈다.내었다. 항균활성이 우수한 생약재를 농도별로 활성을 조사한 결과, 물 추출물과 10% Ethanol 추출물 모두 낮은 농도에서도 우수한 항균활성을 나타내었다.취와 함께 점질성 갈변물질이 생성되었다. 이와 같은 결과로 볼 때, BAAG의 처리는 BAAC의 경우보다 가격은 저렴하면서도 항균력은 우수한 천연 항균복합제재로써 농산물 식품원료에 적용하여 선도유지 기간을 연장할 수 있는 효과를 기대할 수 있었다. 과일 등의 포장제로서 이용할 가능성을 확인하였다.로 [-wh] 겹의문사는 복수 의미를 지닐 수 없 다. 그러면 단수 의미는 어떻
본 연구에서는 PbZr(sub)0.53Ti(sub)0.47O$_3$(PZT) 박막을 복수 도포함에 따른 박막내의 응력을 온도의 함수로 실시간(in situ) 측정하였으며, 응력발생의 원인에 박막의 건조, 열분해(pyrolysis), 치밀화 및 결정화 현상과 연관시켜 설명하였다. 도포직후 단층박막에 생성된 55MPa의 인장응력은 가열됨에 따라$ 300^{\circ}C$-$350^{\circ}C$에서 최대 145MPa로 증가하였으며, 박막내의 응력은 모든 온도구간에서 항상 인장응력을 나타내었더. 다층도포시 $650^{\circ}C$까지 열처리 주기를 완료한 층이 두꺼워질수록 새로 도포한 층의 영향은 점차 감소하였으며, 9층박막에 이르러서는 가열과 냉각에 따라 응력이 동일하게 변화하였다. 응력측정 결과 다층박막의 치밀화는 $350^{\circ}C$에서 시작되어 $520^{\circ}C$-$550^{\circ}C$ 부근에서 완료되는 것으로 나타났으며 치밀화가 시작하는 온도는 미세경도 측정결과와 일치하였다. $PbTiO_3$(PT)와 달리 PZT 다층박막은 Si 기판 위에서 perovskite로의 결정화가 일어나지 않았다.
쌀은 우리나라에서 오래 전부터 주식으로 사용되어 온 중요한 식량자원으로, 우리 식생활에서 밥이 차지하는 비중은 상당히 크며 매식사 마다 취반하는 것이 보편적 형태이다. 하지만, 취반 직후의 밥은 시간이 지남에 따라 물성이 변화하므로 이에 따라, 밥을 냉동 보존하여 적절한 방법으로 해동하면 갓 지은 밥의 조직감으로 복원이 가능하다. 또한, 건조 처리하여 열수복원 후 즉석으로 섭취할 수 있어 장기 보존 시의 품질유지를 위한 가공기술 적용이 필요할 것으로 사료된다. 이에 따라, 쌀알을 이용하여 HMR(Home meal replacement) 편의식 개발을 위한 가공적성 연구를 수행중에 있으며, 건조, 냉동, 열처리 방법과 같은 가공변수에 따라 냉동밥, 건조밥, 편의식 죽 등의 적용 특성을 분석함으로써 다양한 원료쌀 을 선택할 수 있는 기틀을 마련하여 국내 쌀 소비확대에 기여할 것으로 생각된다.
급증하는 무선통신 정보수요는 특히, 고주파대역 (300NHz-300GHz)에서 사용되는 공진기, 필터, 발진기 등과 같은 소자의 품질향상을 요구하고 있다. 고주파용 유전체 중 ZrTiO4 는 $\alpha$-PbO2 계열의 사방정구조를 갖고 있는 유전체로서 높은 유전율 ($\varepsilon$=40)과 높은 품질계수 (Q=1/tan$\delta$=4700 at 7GHz)를 갖고 있고, Sn 첨가시 0ppm/$^{\circ}C$의 공진주파수 온도계수를 얻을 수 있다고 보고되어 있다. 본 연구에서는 약 110$0^{\circ}C$ 이상에서 안정한 상으로 존재하는 ZrTiO4를 저온에서 증착하여 준안정한 상태로 결정화되게 한후, 유전손실 (tan$\delta$)과 유전율($\varepsilon$)을 측정하였다. 또한 증착온도와 열처리과정에 따른 박막의 us형 (Strain) 정도의 변화를 X-선 회절결과로부터 분석하였으며 이를 측정된 유전특성 값과 비교하였다. ZrTiO4 박막은 DC magnetron reactive sputter로 Zr과 Ti 타겟으로부터 high phosphorous doped Si (100) 기판위에 증착하였다. 압력은 4mTorr로 유지하고 박막의 화학양론적 조성비를 맞추기 위해 각 타겟에 가해지는 power는 Zr/Ti=500W/650W로 고정하고, 반응가스의 비율을 Ar/O2=17sccm/3.5sccm으로 유지하여 박막내에 인입되는 산소량을 제어하였다. 증착 직후와 열처리 후의 박막특성을 비교하기 위해 증착온도를 상온에서부터 $600^{\circ}C$까지 변호시키고 증착후 각각의 시편을 80$0^{\circ}C$ 산소분위기에서 2시간동안 열처리하여 시편을 준비하였다. 박막의 상형성 여부와 결정성변화는 $ heta$-2$\theta$X-선 회절법을 사용하여 조사하였고, EPMA를 이용하여 박막의 조성을 확인하였다. 유전특성의 측정을 위해 백금 상부전극을 증착한 후, impedance analyzer를 이용하여 100kHz 영역에서의 유전손실을 측정하고, 측정된 정전용량과 박막의 두께로부터 유전율을 계산하였다. ZrTiO4 박막은 증착온도 20$0^{\circ}C$ 이상에서 결정성을 보이기 시작했으며, 열처리 이후에는 상온에서 비정질이었던 시편이 $650^{\circ}C$ 이상의 온도에서 결정화되기 시작하였다. 증착온도에 따라 유전손실은 0.038에서 0.017 정도로 감소하는 경향을 나타냈으며, 각각 열처리에 의해서 0.034, 0.005 정도로 다시 감소하였다. 박막의 유전율은 약 35 정도의 값을 나타내었으며 X-선 회절 data로부터 분석한 박막의 변형은 증온도에 따라 7.2%에서 0.04%로 감소하였고 이 이경향은 유전손실은 감소경향과 일치하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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