다층 MEMS구조의 기초기판쌍 소재로 쓰일 수 있는 Si∥SiO₂/Si₃N₄∥Si 기판쌍의 직접접합 가능성을 확인하기 위해서 2000Å-SiO₂와 500Å-Si₃N₄층을 가진 직경 10cm의 실리콘 기판을 각각 친수성 및 소수성 표면세척을 하고 청정분위기에서 경면끼리 가접을 실시하였다. 가접된 기판쌍을 통상의 박스형 전기로를 이용하여 400, 600, 800, 1000, 1200℃ 범위에서 2시간 동안 가열하여 접합을 완료하였다. 완성된 기판쌍을 적외선분석기를 이용하여 접합면적을 확인하였고, 면도칼 삽입법으로 접합계면에너지를 측정하였다. 실험온도 범위 내에서 Si∥SiO₂/Si₃N₄∥Si 기판쌍은 1000℃ 이상에서 접합계면에너지는 2,344mJ/㎡을 나타냈으며, 이는 기존의 Si/Si의 동종접합기판쌍과 동등한 수준의 접합강도로서 부가가치가 큰 새로운 조합의 기판쌍 제조가 가능하였다.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.1
no.1
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pp.23-26
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2000
In spot welded joint. Electronic Speckle Pattern Interferometry(ESPI) method using the Model 95 Ar laser a video system and an image processor was applied to measure the stress Unlike traditional strain gauges or Moire method, ESPI method has no special surface preparation or attachments and can be measured in-plane displacement with non-contact and real time. In this experiment, specimens are loaded in parallel with a load cell. The specimens are made of the cold rolled steel sheet with 1mm thickness, are attached strain. gauges. This study Provides an example of how ESPI has been used to measure stress and strain inspecimen. The results measured by ESPI are compared with the data which was measured by strain gauge method under tensile testing.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.126-126
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2010
본 연구에서는 catalyst-free 유기금속 화학증착법 (MOCVD)를 이용하여 사파이어 (0001)면 위에 직접 InN nanorods를 성장하였다. InN 박막의 성장에서 TMIn과 $NH_3$를 전구체로 사용하였으며, 캐리어 가스로는 질소를 사용하였다. 성장 전, 기판에 $1100^{\circ}C$에서 3분간 nitridation 처리를 거친 후 온도를 낮춰 $630{\sim}730^{\circ}C$의 온도범위 에서 InN 박막을 성장하였다. 이때 $710^{\circ}C$의 온도에서 박막은 columnar growth의 특성을 보였으며 동일조건에서 80분간 성장시킨 결과 InN nanorods가 성장되었다. 성장시킨 InN nanorod는 X-선 회절 측정법, 주사 전자 현미경 그리고 투과 전자 현미경을 이용하여 그 특성을 분석하였다. 투과 전자 현미경을 통한 분석결과 지름이 150~200 nm이며 그 길이는 수 ${\mu}m$인 InN nanorod가 성공적으로 성장되었음을 확인하였다. 또한 X-선 회절 측정법과 주사 전자 현미경을 통한 분석에서 이들 nanorods가 대부분 c 방향으로 수직하게 정렬되어 있음을 확인하였다. 또한 Ti/Au (120/80 nm)를 전극으로 사용하여 개개의 nanorod의 전기적 특성을 분석한 결과 linear한 I-V특성이 관찰되었으며 비저항은 평균적으로 $0.0024\;{\Omega}cm$ 이었다. transfer 특성의 측정결과 -50V까지 게이트 전압을 인가하여도 드레인 전류의 변화는 매우 적어 doping level이 상당히 높다고 예상가능하다. 또한 mobility는 $133\;cm^2/Vs$로 도출되었다.
Bio-impedance measurement is a measurement device that can be used to obtain biometric information and diagnose skin diseases using convenience, low cost, and low cost devices. In this study, the bio-impedance was measured using a direct dry gold electrode and a simulation study through animal bio modeling to obtain biometric information in a biometric form. Impedance was measured by inserting electrodes into subcutaneous areas of animal tissue and applying frequencies of 100 uA, 1-100 kHz using a two-electrode method. As a result of the measurement, the resistance of the electrodes is measured high at 5 mm electrodes compared to 7.5 mm and 10 mm electrodes based on 5 mm electrodes. Based on the 5 mm electrode, an average difference of 1.49% was found for the 7.5 mm electrode in the total frequency range, and the impedance difference was confirmed to be 2.624% for the 10 mm electrode. In the future, the research results are expected to be valuable in designing and manufacturing electrodes for bio-inserted electrocardiogram sensors.
Background: We evaluated a sensitive and quantitative method utilizing fragment analysis of the fms-like tyrosine kinase 3-internal tandem duplication (FLT3-ITD), simultaneously measuring mutant allele burden and length, and verified the analytical performance. Methods: The number and allelic burden of FLT3-ITD mutations was determined by fragment analysis. Serial mixtures of mutant and wild-type plasmid DNA were used to calculate the limit of detection of fragment analysis, conventional PCR, and Sanger sequencing. Specificity was evaluated using DNA samples derived from 50 normal donors. Results of fragment analysis were compared to those of conventional PCR, using 481 AML specimens. Results: Defined mixtures were consistently and accurately identified by fragment analysis at a 5% relative concentration of mutant to wild-type, and at 10% and 20% ratios by conventional PCR and direct sequencing, respectively. No false positivity was identified. Among 481 AML specimens, 40.1% (193/481) had FLT3-ITD mutations. The mutant allele burden (1.7-94.1%; median, 28.2%) and repeated length of the mutation (14-153 bp; median, 49 bp) were variable. The concordance rate between fragment analysis and conventional PCR was 97.7% (470/481). Fragment analysis was more sensitive than conventional PCR and detected 11 additional cases: seven had mutations below 10%, three cases represented conventional PCR failure, and one case showed false negativity because of short ITD length (14 bp). Conclusions: The new fragment analysis method proved to be sensitive and reliable for the detection and monitoring of FLT3-ITD in patients with AML. This could be used to simultaneously assess ITD mutant allele burden and length.
The coastline of semi-enclosed Hampyung Bay, southwestern coast of Korea, consists largely of erosional sea-cliffs characterized by steep face slope, low in height (less than 3m), and composition of soft reddish soil. Recession rates of the sea-cliffs in the Haeuri coast of Hampyung Bay, which were Quantified by photogrammetry using single aerial photographs taken 1976 and 1990, respectively, were approximately 1${\sim}2m/yr. This value is in good agreement with the field measurement conducted by Chang et al. (1999). Subsequently, the photogrammetry seems to be a very useful method to measure easily long-term coastline change. This severe erosion of sea-cliff in the semi-enclosed bay environment, furthemore, is probably due to combined effects of typhoon or/and storm surges and weak resistance of soil cliff itself.
Rhee, Jae Seong;Kim, Young Sang;Cha, Ki Suk;Rhee, Hee Jung;Hong, Chein Soo;Nam, Hae Won;Myung, Choon Ok;Lee, Ki Wan;Lee, Yang Cha
Analytical Science and Technology
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v.10
no.1
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pp.43-52
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1997
The application of high performance liquid chromatogaphy(HPLC) with fluorimetric detection for the measurement of histamine in biological fluids has been developed recently. Because of time consumption during measurement and difficulties in controling optimum operating condition for HPLC system, spectrofluorimetry was adopted to detect histamine. Detection limit by spectrofluorimetry was $3.0{\times}10^{-2}{\mu}g/mL$ wi th R. S. D. 3.74%~16.2% on standard solution. The relative ratio of histmine levels between the result from HPLC-fluorimetry and that from spectrofluorimetry ranged from 1.5 to 3.5. The recoveries of each samples obtained from standard addition method by spctrofluorimetry have shown 100%~125%.
고체 표면의 구조해석 방법에는 LEED(저에너지 전자선 회절법)나 RHEED(반사 고에너지 전자선 회절법) 등과 같이 표면의 2차원적 회절상을 해석하는 방법이 있고(역격자 공간의 해석), 또는 ISS(이온산란 분광법), RBS(러더포드 후방산란법) 등과 같이 표면 원자의 실공간에 대한 정보를 직접 얻는 방법이 있다. 실제로는 두 가지 종류의 분석법을 상호 보완적으로 조합하여 효율적인 구조해석을 수행한다. 본고에서는 직충돌 이온산란 분광법(ICISS: Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy)에 대한 원리, 장치, 측정방법 등을 소개한 전고에 이어서 이를 이용한 반도체 표면구조 해석에 관하여 기술하고자 한다. 표면의 원자구조를 알아내기 위해서는 산란된 입자의 강도를 입사각도와 출사각도에 대하여 조사하여야 하는데, 이온이 원자와 충돌하여 산란될 때 원자의 후방으로 형성되는 shadow cone에 의하여 생성되는 집속 효과(focusing effect) 및 가리움 효과(blocking effect) 중에서 ICISS는 집속 효과만을 고려하여 해석하면 실공간에서의 원자구조를 해석할 수 있다. 본 고에서는 ICISS를 이용하여 금속 또는 절연체 물질이 반도체 표면 위에서 흡착 또는 성장될 때 초기의 계면 구조 해석, 금속/반도체 계면에서 시간에 따른 동적변화 해석, III-V족 반도체의 표면구조 해석, 반도체 기판 위에서 박막 성장 과정 해석 등에 관한 연구 사례를 소개하고자 한다.
Park, Yeon-Soo;Cheon, Dong-Ho;Cheon, Yang-Bae;Kang, Kyoung-Koo
Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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v.9
no.4
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pp.127-134
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2005
Design and construction of long-span bridge are recently increasing by development of computer technology. Specially, cable stayed bridge and suspension bridge having cable component are representative of long-span bridge may do. Therefore, this paper a present a methodology for cable tension force monitoring in cable-stayed bridge under construction using acceleration data acquired by the vibration method. To improve accuracy construction, all stay cables are measured, according to 4-step construction stage and change of temperature.
PEMFC를 구성하는 여러 부품 중 핵심부품은 MEA(Membrane Electrode Assembly)으로서 실제 연료전지 반응이 일어나며 연료전지의 성능을 결정하는 부품이다. 그러나 PEMFC의 특성 상 촉매로 귀금속인 Pt가 사용됨에 따라 경제성이 확보된 MEA의 성능을 얻기 위해선 현재 Pt 담지량을 0.3mg/$cm^2$ 이하로 크게 감소시키면서 Pt촉매의 고분산화와 미반응 사이트의 감소가 필요하다. 본 연구에서는 Pt 촉매의 미반응 사이트를 줄이고자 전기영동법에 의해 카본전극(carbon black + GDL) 상에 Pt 나노입자를 직접 석출시켜 Pt/C 촉매 전극을 제조 하였다. 본 실험에서는 가장 좋은 Pt 나노입자의 석출거동을 나타낸 30mA/$cm^2$, pH 2, duty cycle 25% 조건을 기준으로 하여 electro-deposition time을 통한 석출량 제어와 carbon paper의 wet proofing 정도에 따른 Pt의 석출거동을 조사하였으며, 종래의 방법으로 제조한 Pt/C 촉매전극의 전기화학적 특성과 비교 분석하였다. 전기영동 석출법에 사용된 Pt나노입자는 $H_2PtCl_6{\cdot}6H_2O$로부터 화학적 환원법으로 합성한 2~3nm 입경을 갖는 Pt콜로이드를 사용하였으며, magnetic stirring과 항온 ($20^{\circ}C$)을 유지하여 실험하였다. 전기영동 석출량 제어는 electro-deposition time을 5~25분까지 5분 간격으로 나누어 실험하였고 카본전극을 구성하는 carbon paper의 wet proofing 정도가 Pt 나노입자 석출거동에 미치는 영향을 조사하기 위하여 20, 40, 60%의 서로 다른 wet proofing 값을 갖는 carbon paper를 사용하여 Pt/C 촉매 전극을 제조하였다. 전기영동법으로 석출된 카본블랙 전극 상 Pt나노입자의 분산도와 담지량는 각각 FE-SEM과 TGA 장비를 사용하여 측정하였고, 제조된 Pt/C 촉매 전극의 전기화학적 촉매 특성은 cyclic voltammetry(CV)법으로 측정하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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