RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 투명 전도성 $SnO_2$ 박막의 제조
(Preparation of Transparent and Conducting $SnO_2$ Thin Films by RF Magnetron Sputtering Method)
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- 한국진공학회지
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- 제5권2호
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- pp.139-146
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- 1996