• Title/Summary/Keyword: 중복 입자

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하이브리드 SEM 시스템

  • Kim, Yong-Ju
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.109-110
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    • 2014
  • 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.

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A hybrid method to compose an optimal gene set for multi-class classification using mRMR and modified particle swarm optimization (mRMR과 수정된 입자군집화 방법을 이용한 다범주 분류를 위한 최적유전자집단 구성)

  • Lee, Sunho
    • The Korean Journal of Applied Statistics
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    • v.33 no.6
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    • pp.683-696
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    • 2020
  • The aim of this research is to find an optimal gene set that provides highly accurate multi-class classification with a minimum number of genes. A two-stage procedure is proposed: Based on minimum redundancy and maximum relevance (mRMR) framework, several statistics to rank differential expression genes and K-means clustering to reduce redundancy between genes are used for data filtering procedure. And a particle swarm optimization is modified to select a small subset of informative genes. Two well known multi-class microarray data sets, ALL and SRBCT, are analyzed to indicate the effectiveness of this hybrid method.

Physico-chemical Properties of Bracken(Pteridium aquilinum) Root Starch -1. Morphology and Chemical Properties- 중복기사검색 (고사리(Pteridium aquilinum) 뿌리 전분의 이화학적 특성에 관한 연구 -1. 전분의 일반 성상 및 화학적 특성-)

  • Jo, Jae-Sun
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.10 no.1
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    • pp.57-62
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    • 1978
  • The morphology and chemical properties of bracken (Pteridium aquilinum) root starch were investigated. The starch granules were mainly sphere and cocoon with the diameter of $5-12\mu$. Polarized micrograph indicated that the starch granule had a hilum at the center of granule, showing a crossed-birefringence. X-ray diffraction pattern demonstrated that the granules showed B-type. The density of the starch was 1.49 and the amylose content was 22%. The ferricyanide number and alkali number were 0.292 and 11.03, respectively. Proximate analysis showed that the starch contained 0.52% lipid, 0.63% ash and 150ppm phosphorus of which over 80% were found in the amylopectin fraction. The iodine affinity and molecular weight of amylose were 16.1 and 83,000 respectively. The degree of branching and glucose units per segment of amylopectin were 3.7% and 27, respectively.

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Improvement of Image Processing Technique for Drop Size Measurement (입경 측정을 위한 영상 처리 기법의 개선)

  • Kim, Joo Youn;Chu, Jeong Ho;Lee, Sang Yong
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.22 no.8
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    • pp.1152-1163
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    • 1998
  • In the present work, the image processing technique for measurement of drop sizes has been improved. Firstly, the local processing concept was adopted in addition to the global processing technique to take account of non-uniformity of the illumination intensity ; thereby, basically, the measurement error can be reduced. Also, the unfocussed image of drops can be eliminated more precisely since the elimination process is based on the local normalized contrast. Secondly the algorithms to process the partially detected or overlapped drop images and the non-spherical drop images were developed. Finally, the improved algorithm was tested by using an artificially prepared image-frame, where the partial or overlapped particles and the non-spherical particles are mixed with the normal spherical ones (with their true size-distributions known a priori). The results showed that both the recognition rate of the number of particles and the measurement accuracy were improved prominently.

A Study on Face Masks Distribution System based on the Blockchain Decentralized Identity (블록체인 분산신원증명에 기반한 공적마스크 중복구매 확인 시스템에 대한 연구)

  • Noh, Siwan;Jang, Seolah;Rhee, Kyune-Hyune
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2020.05a
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    • pp.214-217
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    • 2020
  • 2020년 1월 국내에 신종 코로나 바이러스의 확산으로 인해 보건 마스크의 수요가 급증하고 이에 따라 마스크의 가격이 폭등하자 정부가 건강보험정보를 기반으로 보건용 마스크 판매에 관여하는 공적 마스크 5부제를 시행해 왔다. 하지만 건강보험 가입정보에 의존적인 신원 인증 시스템으로 인해 유학생 등 건강보험 미가입자의 경우 마스크의 구입이 어렵고 개인정보 접근 문제 등으로 판매채널의 확장이 어려운 문제가 있었다. 본 논문에서는 건강보험과 같은 특정 신원정보 시스템에 의존하지 않고 중앙기관이 발행하는 신뢰할 수 있는 모든 신원정보(여권, 외국인등록증 등)에 기반하여 사용자가 스스로 자신의 신원정보 속성을 블록체인을 통해 관리하는 방법을 제안한다. 또한 제안 방법에 대해 디지털신원 기법을 평가할 수 있는 지표를 기반으로 자체 평가를 수행한다.

A H.264 based Selective Fine Granular Scalable Coding Scheme (H.264 기반 선택적인 미세입자 스케일러블 코딩 방법)

  • 박광훈;유원혁;김규헌
    • Journal of KIISE:Computing Practices and Letters
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    • v.10 no.4
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    • pp.309-318
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    • 2004
  • This paper proposes the H.264-based selective fine granular scalable (FGS) coding scheme that selectively uses the temporal prediction data in the enhancement layer. The base layer of the proposed scheme is basically coded by the H.264 (MPEG-4 Part 10 AVC) visual coding scheme that is the state-of-art in codig efficiency. The enhancement layer is basically coded by the same bitplane-based algorithm of the MPEG-4 (Part 2) fine granular scalable coding scheme. In this paper, we introduce a new algorithm that uses the temproal prediction mechanism inside the enhancement layer and the effective selection mechanism to decide whether the temporally-predicted data would be sent to the decoder or not. Whenever applying the temporal prediction inside the enhancement layer, the temporal redundancies may be effectively reduced, however the drift problem would be severly occurred especially at the low bitrate transmission, due to the mismatch bewteen the encoder's and decoder's reference frame images. Proposed algorithm selectively uses the temporal-prediction data inside the enhancement layer only in case those data could siginificantly reduce the temporal redundancies, to minimize the drift error and thus to improve the overall coding efficiency. Simulation results, based on several test image sequences, show that the proposed scheme has 1∼3 dB higher coding efficiency than the H.264-based FGS coding scheme, even 3∼5 dB higher coding efficiency than the MPEG-4 FGS international standard.

Particle Swarm Optimization for Redundancy Allocation of Multi-level System considering Alternative Units (대안 부품을 고려한 다계층 시스템의 중복 할당을 위한 입자 군집 최적화)

  • Chung, Il Han
    • Journal of Korean Society for Quality Management
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    • v.47 no.4
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    • pp.701-711
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    • 2019
  • Purpose: The problem of optimizing redundancy allocation in multi-level systems is considered when each item in a multi-level system has alternative items with the same function. The number of redundancy of multi-level system is allocated to maximize the reliability of the system under path set and cost limitation constraints. Methods: Based on cost limitation and path set constraints, a mathematical model is established to maximize system reliability. Particle swarm optimization is employed for redundant allocation and verified by numerical experiments. Results: Comparing the particle swarm optimization method and the memetic algorithm for the 3 and 4 level systems, the particle swarm optimization method showed better performance for solution quality and search time. Particularly, the particle swarm optimization showed much less than the memetic algorithm for variation of results. Conclusion: The proposed particle swarm optimization considerably shortens the time to search for a feasible solution in MRAP with path set constraints. PS optimization is expected to reduce search time and propose the better solution for various problems related to MRAP.

Biological Control of Plant Diseases and Biodegradation of Pesticides by Gliocladium virens (Gliocladium virens를 이용한 식물병의 생물적 방제 및 유기합성농약의 분해)

  • 박용하;이용세
    • Korean Journal Plant Pathology
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    • v.12 no.2
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    • pp.255-265
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    • 1996
  • 토양에 존재하는 진균인 Gliocladium virens는 식물병을 감소 또는 방제할 수 있는 생물학적인 특성에 의하여 G. virens는 지난 수십년간 실용가능성이 큰 생물학적 방제균(또는 길항균)으로 집중적으로 연구되었다. 이 균이 식물병의 발생을 감소시키는 생물적 방제효과는 항생작용, 중복기생, 근권에서의 생존과 집단번식, 뿌리표면에서의 정착 등에 의한 것으로 분류되고 있다. 특히, 항생물질인 gliotoxin, gliovirin, viridin 등은 Rhizoctonia solani 및/또는 Pythium spp. 등에 항생효과가 뚜렷하고, 식물병의 발생과 직접적인 상관관계를 나타내고 있어 G. virens의 식물병의 방제에 관련된 중요한 작용기작으로 제시되어 있다. 또한, 근권에서 이균의 생존과 집단증식 및 뿌리표면에서의 정착은 식물병의 방제와 상관관계를 나타낼 수 있는 중요한 작용기작으로 제시되고 있다. 그러나 이균이 R. solani 등에 기생하는 현상은 식물병의 생물적 방제의 직접적인 연관관계를 나타내고 있지 않다. G. virens을 이용의 생물적 방제효과를 증진시키기 위한 방법으로 다음과 같은 두 가지 방법을 들 수 있다. 첫째, 길항효과가 높은 G. virens 균주를 선발하기 위하여 여러 종류의 토양에서 길항력이 높은 G. virens의 선발이 지난 수십년간 진행되고 있다. 또한, 특정 길항효과를 발현하는 유전자를 G. virens의 염색체에 도입하고 이를 발현시킴으로써 생물적 방제효과를 증진시키는 것으로 이러한 방법은 1980년 후반부터 진행되고 있다. 둘째, G. virens의 길항효과가 최대의 효율로 발현될 수 있도록 최적의 미세환경을 갖추고 있으며 농민이 편리하게 사용할 수 있는 G. virens의 운송매체의 개발이 중요하다. 운송매체의 개발에 의한 'Glioguard'는 G. virens의 포자를 alginate 입자에 제형화한 것으로서 미국에서 시판되고 있다. Aldicarb, metalaxyl, atrazine 등의 농약을 분해할 수 있는 능력은 G. virens의 다른 생물적 특성중의 하나이다. 특히, parathion을 분해할 수 있는 Flavobacterium sp.의 유전자(opd)가 G. virens의 염색체에 도입되여 발현될 수 있는 방법이 제시되었으며, 이는 G. virens을 이용한 토양에서의 특정한 농약의 분해효율을 증진시킬수 있는 가능성을 제시한 것이다. 그러나, G. virens를 이용한 농약의 생물적 분해에 관한 연구는 기초단계로 평가되고 있으며, 포장에서 이를 실용화하기 위해서는 향후 지속적인 연구가 필요하다.

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Measurement do Water Content in Sandy-Gravelly Soils using Time Domain Reflectometry (TDR(Time Domain Reflectometry)에 의한 사력토(Sandy-Gravelly Soil)의 함수량 측정)

  • Kim, Dong-Ju;Kim, Jeong-Seok
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • v.32 no.3
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    • pp.215-223
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    • 1999
  • Recently, measurement of soil moisture contents using TDR (time domain reflectometry) has been proven to be viable technique. The first empirical model proposed by Topp et al. (1980) has been widely used to determine moisture contents of soils from the TDR-measured dielectric constants. However, applicability of the model was limited to medium-textured soils. In this study, we investigate the applicability of the model to sandy-gravelly soils. Calibration experiments consisted of measurement on travel time of electromagnetic waveform along the parallel TDR rods inserted into samples and gravimetric determination of soil moisture contents. The experiments are performed for two sets of samples different in the length and each set consisted of seven different particle size distributions with various gavel contents. The calibration results show that the Topp equation overestimated the measured moisture content for a given dielectric constant by 3 to 8%. We therefore propose new empirical relationships valid for sandy-gravelly soils.

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Optimal Culture Conditions and Food Waste Decomposition Effects of Mixed Strains Separated from Traditional Fermented Food and Soils (전통발효식품과 토양으로부터 분리된 혼합균주의 최적생육조건 및 음식물쓰레기 분해 효과)

  • Kim, Min-Sun;Kim, Hee-Jeong;Jung, Eun-Seon;Park, Ju-Yong;Chae, Jong-Chan;Hwang, Kwontack;Lee, Seung-Je
    • Journal of Chitin and Chitosan
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    • v.23 no.4
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    • pp.285-292
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    • 2018
  • In this study, for the purpose of decomposing food waste, the strain was screened from traditional fermented food and soils. The enzyme activity (protease, amylase, cellulase, lipase) experiment was carried out using the paper disc method in 212 strains isolated from 5% NaCl media. Among them, only the strains having enzyme activity of more than 2 (soil) or more than 4 (traditional fermented food) with the halozone of enzyme activity of 15 mm or more were selected first, and microorganism identification through 16S rRNA sequencing was performed. Finally, were identified such as Bacillus subtilis, Bacillus amyloliquefaciens, Bacillus siamensis, Bacillus licheniformis, Bacillus aquimaris, Bacillus megaterium, Bacillus koreensis, Bacillus stratoshericus, Bacillus aryabhattai, Bacillus safensis, Marinobacter hydrocarbonoclasticus. 11 species of mixed strains were confirmed that the culture time was 24 hours, the incubation temperature was $30^{\circ}C$ and the optimum pH was 7.0. In order to confirm the degree of decomposition of standard food wastes (100 g) by treating 11 kinds of mixed strains (25%), solid content of more than $2000{\mu}m$ was determined to be 103 g for the sterilized water group and 18 g for the mixed strains group. And the rest was decomposed to a size of less than $2000{\mu}m$.