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XRR 박막 두께 표준물질 제작조건에 따른 구조적특성 연구

  • 유병윤;빈석민;오병성;김창수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.283-283
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    • 2011
  • 본 연구에서는 XRR 측정에 있어 박막두께 표준보급을 하기 위하여 표준물질을 이온빔 스퍼터링 증착법을 이용하여 제작하였다. 시편제작 시 공기 중 노출에 의해 산화가 되지 않는 산화물 박막과 산화물 기판을 선택하였다. 기판 및 타겟물질 등을 변화시키면서 제작된 시편의 특성을 살펴보았다. 사용된 타겟 물질로는 HfO2, Ta2O5, Cr2O3를 사용하였으며, 기판으로는 glass, sapphire, quartz, SiO2(1 ${\mu}m$-thermal oxidation)를 사용하였다. 산화물 타겟을 사용하여 증착 시 타겟 주위로 생기는 전하들의 charge build-up 되는 현상은 neutralizer를 사용함으로써 문제를 해결하였다. 제작된 시편은 XRR을 이용하여 측정하였고, XRR simulation과 curve fitting을 통하여 박막의 두께, 표면 및 계면의 거칠기, 밀도를 평가하였다. 기판으로 사용된 glass, quartz는 타겟 물질과 관계없이 표면 거칠기가 좋지 않아 XRR 반사율이 급격히 떨어지면서 측정되는 각도의 영역이 작아졌다. sapphire로 제작한 시편에서는 측정된 데이터와 simulation의 curve fitting이 양호하지 않았다. 이 문제는 현재 조사중에 있다. SiO2 기판으로 제작한 시편의 경우 타겟 물질과 관계없이 XRR curve fitting 결과가 양호 하였다. 그 중 Cr2O3의 결과가 다른 타겟 물질에 비해 x 2 값이 작았고 반사율 곡선에서의 거칠기와 진폭도 양호하였다. 위 연구결과로써 SiO2 기판을 사용한 Cr2O3 타겟 물질로 제작된 시편이 XRR 박막 두께 표준물질로써 적합한 것으로 판단된다.

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동축이중 공기분류중의 난류확산화염에 관한 실험적 연구 II (An Experimental Study on Turbulent Diffusion Flame in Double Coaxial Air Jets(II))

  • 조용대;최병윤
    • 대한기계학회논문집
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    • 제14권5호
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    • pp.1234-1243
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    • 1990
  • 본 연구에서는 선회가 없는 중심기류와 주위기류의 난류 전단층에서 형성되는 난류확산화염의 천이영역(transition region)에 주목하여 전단층내의 혼합작용과 화염 구조와의 상호작용을 규명하기 위해 거시적 및 순간적인 화염구조에 대해 실험적으로 조사 연구한 결과를 보고한다.

터발파압력에 기인한 이방성 암반손상의 수치해석적 분석 (Numerical analysis of blast-induced anisotropic rock damage)

  • 박봉기;조국환;이인모
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제6권4호
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    • pp.291-302
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    • 2004
  • 발파압력이 발파공 주위 암반에 발생시키는 암반손상을 연속체 손상역학과 사용자 부프로그램을 이용한 수치해석을 통하여 분석하였다. 암반의 이방성 특성을 적용한 이방성 발파압력을 산출하였으며, 이를 이용하여 이방성 암반손상을 분석하였다. 또한 등방성 암반손상에 대해서도 분석하였다. 자연 암반이 가지고 있는 초기손상을 함께 고려하여 암반손상을 분석하였다. 등방성 암반손상의 매개변수 분석결과, 발파압력과 탄성계수가 암반손상에 가장 크게 영향을 미쳤다. 또한 이방성 암반손상의 매개변수 분석결과, 발파압력이 이방성 암반손상에 가장 크게 영향을 미쳤으나 탄생계수는 이방성 암반손상에 크게 영향을 미치지 않음을 알 수 있었다. 등방성과 이방성 암반손상을 등방성 암반손상과 비교한 결과, 이방성 암반의 수평방향 암반손상이 약 34% 증가 하였고 수직방향은 12% 감소하는 결과를 얻을 수 있었다. 등방성 암반에 대한 밀장전 조건과 디커플링장전 조건하에 발파로 인한 암반손상을 비교한 결과, 밀장전 조건의 암반손상이 디커플링장전 조건보다 약30배 정도 크게 나타났으며, 밀장전 조건의 발파압력은 디커플링장전 조건보다 10배 이상 큼을 알 수 있었다.

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WPMM 방법을 이용한 레이더 강수량 추정 : 1. 1998년 여름철 관악산 DWSR-88C를 위한 Ze-R 관계식 산출 (Radar Rainfall Estimation Using Window Probability Matching Method : 1. Establishment of Ze-R Relationship for Kwanak Mt, DWSR-88C at Summer, 1998)

  • 김효경;이동인;유철환;권원태
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제35권1호
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    • pp.25-36
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    • 2002
  • 1998년 여름철, 기상레이더와 레이더 주위의 고밀도 우량계 관측자료를 이용하여 $Z_{e}-R$ 관계식을 산출하기 위하여 관악산 레이더 자료와 강우강도 자료의 확률밀도함수를 구해 확률이 같은 지점을 매치시키는 Window Probability Matching Method(WPMM)라는 통계적 방법을 사용하였다. 레이더 반사도의 확률 분포는 약 15dBZ에서 가장 많은 빈도 분포를 보였고 강우강도의 확률분포는 대부분의 영역에서 시간당 10mm 이하의 비가 내리는 것으로 나타났다. WPMM을 이용한 $Z_{e}-R$ 관계식은 로그 좌표계에서 곡선형의 분포를 가지고 있어 직선형의 분포를 가지는 멱급수 형태의 관계식에 비해 반사도를 강우량으로 전환하는데 있어 더 나은 것으로 나타났다. 특히, 3개월 동안의 누적 강수량 산출시 $Z=200R^{1.6}$ 식은 실제 우량계 강수량의 44%만을 추정하는데 반해 WPMM의 경우는 실제 강수량의 80%까지 근접하는 것으로 나타났다.

소수계 유역 인공습지에서 식생 밀도 차이에 다른 영양염류 제거효율 (Nutrients Removal Efficiency by Vegetation Density on Constructed Wetland from Small Watershed)

  • 고지연;강항원;이재생;김춘송
    • 한국환경농학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.266-272
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    • 2003
  • 호주 시드니 인근 도 농 복합 소도시로부터 발생하는 비점오염원을 처리하기 위하여 설치된 Plumpton park와 Woodcroft park 인공습지의 처리효율을 살펴본 결과, 수생식물의 밀도가 증가하고 식생이 안정된 Plumpton Park 인공습지에서 T-P의 26.2%, T-N의 38.3%, 식생분포가 안정적이지 않은 Woodcroft park에서 14.0%와 20.2%가 각각 제거됨으로서 인공습지에서 식물체와 식물체 근권 미생물에 의한 T-P 및 T-N의 제거 효율이 상당히 큼을 알 수 있었다. 또한 T-N와 T-P에 비하여 $NH_4-N$, $NO_3-N$, $PO_4^{-3}$의 제거율이 높았던 것은 무기태 형태의 영양염류가 식물 및 미생물에 더 쉽게 이용되었기 때문으로 생각된다. 이상의 결과로 볼 때 인공습지에서 식물체와 근권 주위 미생물에 의한 염류제거는 인공습지가 설치한지 오래되었을 때도 효과적이었고, 또한 인공습지는 무기태 영양염류의 제거효율이 더욱 높았으므로 무기화학비료 등의 용탈이 일어나기 쉬운 농경지 비점오염원으로 부터 발생하는 수질오염의 개선에 이용할 수 있는 경제적이고도 효율적인 system으로 고려되었다.

화약발파에서 폴리머 겔의 전색효과에 관한 실험적 및 수치해석적 연구 (An Experimental and Numerical Study on the Stemming Effect of a Polymer Gel in Explosive Blasting)

  • ;김정규;고영훈;김승준;정승원;양형식;김용기;김종관
    • 화약ㆍ발파
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    • 제36권4호
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    • pp.35-47
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    • 2018
  • 본 연구에서는 콘크리트 블록발파 실험과 AUTODYN 수치해석을 통해 몇 가지 전색제 및 충전재가 폭발결과에 미치는 효과를 분석하였다. 전색제와 충전재는 공기, 모래, 폴리머 겔을 이용하였다. 이들 재료들의 전색효과 및 충전효과는 밀장전 조건의 경우와 비교하였다. 매립된 콘크리트 블록을 사용하여 현장 누두공 시험을 실시하였다. 콘크리트 블록 실험 및 수치해석 결과 폴리머 겔을 사용한 경우가 모래 및 디커플링의 경우에 비해 누두공의 크기와 발파공 주위의 최대압력이 더 크게 나타나는 것을 확인하였다. 또한, 수치해석 결과는 현장시험 결과와 잘 일치하는 경향을 보여주었다. 주변암반 중에서 계산된 최대압력은 폴리머 겔, 모래, 무전색 및 디커플링 조건일 때 각각 37, 30, 16 MPa로 나타났다. 수치해석 모델 내 밀장전 시 최대 압력은 52 MPa로 가장 높게 나타났다. 그러나 손상영역의 크기는 폴리머 겔을 사용한 경우보다 작게 나타났다. 또한, 밀장전은 기준 실험으로 사용되었다.

경증의 임상 소견을 보이는 COVID-19 환자들의 흉부 CT 소견 (Chest CT Findings of COVID-19 Patients with Mild Clinical Symptoms at a Single Hospital in Korea)

  • 백운영;이영경;김수현;함초롬;안미영;오동현;최재필
    • 대한영상의학회지
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    • 제82권1호
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    • pp.139-151
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    • 2021
  • 목적 경증의 임상 소견을 보이는 coronavirus disease 2019 (이하 COVID-19) 환자들의 흉부 CT 소견에 대하여 후향적으로 평가하고자 한다. 대상과 방법 경증의 임상 소견(발열 < 38℃, 호흡 곤란 없음)을 보이는 87명의 COVID-19 환자의 흉부 CT 소견을 평가하였다. 결과 39명(44.8%)의 환자는 정상 CT 소견을 보였으며, 48명(55.2%)은 비정상 CT 소견을 보였다. 폐 실질 병변이 있는 48명의 환자 중 17명(35.4%)이 일측성 분포 보였으며, 31명(64.6%)이 양측성 분포를 보였다. 1명(2.1%)의 환자는 흉막하 분포를 보였고, 9명(18.8%)은 기관지 혈관 주위 분포를 보였으며, 38명(79.2%)은 흉막하 및 기관지 혈관 주위 분포를 보였다. 22명(45.8%)의 환자는 경화 없는 순수 간유리 음영 병변을 보였고, 17명(35.4%)은 간유리 음영이 우세한 혼합 밀도의 병변을 보였고, 9명(18.8%)은 경화가 우세한 혼합 밀도의 병변을 보였다. 간유리 음영 없는 경화 병변을 보인 환자는 없었다. 결론 경증의 임상 소견을 보이는 COVID-19 환자의 가장 흔한 CT 소견은 흉막 하 및 기관지 혈관 주위 분포를 보이는 양측성 다발성 간유리 음영 우세 병변이었다. 경증의 임상 소견을 보이는 COVID-19 환자의 거의 절반의 초기 흉부 CT상 폐 실질 병변을 보이지 않았다. 경증의 COVID-19는 상대적으로 중증의 COVID-19과 비교하여 일측성 병변의 비율이 높고, 순수 간유리 음영이나 간유리 음영 우세 병변의 비율이 높으며, 공기기관지 음영의 비율은 낮다.

관상동맥 재협착 방지를 위한 치료에서 $^{32}$ P 핵종의 선원 형태에 따른 선량분포에 관한 연구 (A Study on the dose distribution produced by $^{32}$ P source form in treatment for inhibiting restenosis of coronary artery)

  • 김경화;김영미;박경배
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제10권1호
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    • pp.1-7
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    • 1999
  • 본 연구에서는 $\beta$선 방출 동위원소들 중에서 $^{32}$P으로부터 방출되는 $\beta$선에 의한 홉수선량 분포를 방사선원의 형태와 기하학적인 조건을 달리하여 컴퓨터를 이용한 모사실험을 통해 예측함으로써 balloon catheter 및 radioactive stent의 이용과 관련된 정보를 얻고자한다. $^{32}$p로부터 방출된 $\beta$선이 인체내에서 에너지를 전달하는 과정에 대한 모사실험은 EGS4 code system 을 이용하여 수행되었다. 인체내의 방사선 흡수선량은 선원의 형태와 위치를 고려하여 축방향과 반경방향으로 등간격으로 나누어 각 격자에서 계산되었다. $^{32}$P 에서 방출되는 $\beta$선 에너지는 Coulomb 포텐셜에 대한 Dirac방정식의 해를 이용하여 계산된 $\beta$선 스펙트럼의 결과를 사용하여 무작위로 선정되었다. 체적 선원과 표면선원에서 시료 표면으로부터 반경방향으로 깊이 0.5 mm내에 있는 표적체에서의 선량률은 각각 12.133 cGy/s per GBq (0.449 cGy/s per mCi, uncertainty: 1.51%)와 24.732 cGy/s per GBq (0.915 cGy/s per mCi, uncertainty: 1.01 %)이다. 선량률은 시료표면으로부터 축방향과 반경방향으로의 거리에 따라 감소한다. 본 연구 결과를 근거로하여 balloon catheter 및 radioactive stent에 $^{32}$P 핵종을 사용할 때 치료선량을 20 Gy로 할 경우 치료에 적합한 초기 방사능량은 각각 29.69 mCi(치료시간을 3분으로 제한할 때) 와 1.2278 $\mu$Ci (영구삽입)로 계산되었다. 또한 원통형 체적선원과 표면선원에 대하여 초기방사능의 크기를 1 mCi/ml의 방사능 체적 밀도와 0.1 mCi/$cm^2$의 방사능 면 밀도로 나타내었을 때 각 표적체에서의 흡수선량률을 계산하였다. 통일한 값의 방사능 체적 밀도와 방사능 면 밀도는 크기가 다른 모델에 대해서 비슷한 크기의 홉수선량을 유도하므로 $^{32}$p 방사선원의 초기 방사능 체적 밀도와 초기 방사능 면 밀도를 알고 있을 때 본 연구의 계산 결과를 이용하면 직경과 길이가 다른 $^{32}$P 핵종의 원통형 모델 주위의 홉수선량 분포를 쉽게 계산할 수 있다.

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물리탐사 기술의 석회암 지반침하 지역 공동탐지 적용성 연구 (Application of Geophysical Methods to Cavity Detection at the Ground Subsidence Area in Karst)

  • 김창렬;김정호;박삼규;박영수;이명종;손정술;임형래
    • 지구물리와물리탐사
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    • 제9권4호
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    • pp.271-278
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    • 2006
  • 국내 지반침하의 주요 원인 중의 하나인 석회암 공동에 대한 조사는 단순한 지반침하 원인의 규명 이외에 지반 침하 지역 또는 예상지역의 보강 설계 및 사후 관리에 이르기까지 폭넓은 지반 정보를 제공하는 역할을 수행한다는 측면에서 매우 중요하다고 할 수 있다. 지반침하지역 공동탐지에 유용하게 사용되는 물리탐사기법으로 한 종류의 지반 물성을 이용하는 단위 물리탐사기술보다는 여러 가지 물성의 지하를 조명하는 복합 물리탐사기술에 대한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 지반침하조사 시 지하공동 탐지를 위한 복합 물리탐사 시스템 구축의 일환으로 전라남도 무안군 무안읍 용월리에 과거 석회암 공동에 의한 지반침하 경력이 있는 지역을 현장 실험장으로 이용하여 다양한 종류의 물리탐사를 실시하였다. 그 중 전기비저항탐사, 전자탐사 그리고 고정밀 중력탐사 결과로부터 지하 공동의 위치 및 분포를 추정 해석하고, 시추조사 결과와 비교함으로서 단위 물리탐사 기술의 공동탐지 적용성에 대하여 고찰하였다. 시추조사결과, 실험장 지역 기반암내 공동은 대부분 지하수 또는 물로 포화된 점토로 채워져 있어 주위 기반암에 비하여 매우 낮은 전기비저항 및 밀도를 가지며, 넓은 지역에 걸쳐 망구조로 분포하고 있는 것으로 해석된다. 실험장에 적용한 전기비저항, 전자 및 고정밀 중력 탐사 결과, 저비저항대와 음의 중력 이상대 분포 지역이 시추 조사에서 확인된 지하 공동의 분포 위치와 상당 부분 일치함을 보여 이들 각 탐사법들이 지하 공동 분포 파악에 효과적임이 입증되었다. 또한 개별 탐사 기법 해석과 아울러 각종 탐사결과를 종합함으로써 보다 정확한 지하공동의 분포 해석이 가능하였으며, 특히 국내에서의 사용이 미비하였던 고정밀 중력탐사기법이 지하공동 탐지에 매우 유용함을 확인하였다.

노지재배 감귤에서의 볼록총채벌레 발생 양상과 피해 증상 (Seasonal Occurrence of Yellow Tea Thrips, Scirtothrips dorsalis Hood (Thysanoptera: Thripidae) in Citrus Orchards and Its Damage Symptoms on Citrus Fruits)

  • 현재욱;황록연;이관석;송정흡;이평호;권혁모;현동희;김광식
    • 한국응용곤충학회지
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    • 제51권1호
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    • pp.1-7
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    • 2012
  • 최근 들어 노지재배 감귤에서 볼록총채벌레에 의해 검은점무늬병 후기 증상 및 녹응애 피해 증상과 매우 유사하게 과정부 주위를 중심으로 검붉게 그을린 증상 또는 조직이 회갈색으로 괴사되어 딱지형태가 되는 증상들이 2007년부터 서귀포시 남원읍 일부지역에 발생하여 큰 피해를 주고 있다. 황색 끈끈이 트랩을 이용하여 7일 마다 발생 밀도를 조사한 결과 2009년의 경우 5월 상순부터 발생하기 시작하여 꾸준히 증가하다 8월 하순에 밀도가 가장 높았으며 2010년과 2011년의 경우 10월 상순에 밀도가 가장 높았다. 2009년의 경우 5월부터 10월 하순까지 최소 7회의 발생 세대를 보였고 통상 7월 경부터 볼록총채벌레가 감귤원에서 우점하여 발생하였다. 과실에서 볼록총채벌레 약충들이 7월부터 발견되어 2009년의 경우 8월 하순부터 9월 중순, 그리고 10월 상순에 피크를 보였고 피해 증상은 9월 중순부터 발생하기 시작하였다. 2011년의 경우 7월 상순에 밀도가 매우 높았으며 이후 9월 하순에 다시 밀도가 증가하였고 피해 증상은 7월 중하순 부터 발생하기 시작하여 10월 하순까지 계속적으로 증가하였다. 피해증상은 과정부를 중심으로 회색빛으로 부스럼같이 코르크화 되거나 초기에 검은색을 띄다가 착색기에 접어들어 과피가 검붉게 변하였다. 감귤에서 볼록총채벌레에 의한 이런 피해 증상을 국내에 처음으로 보고한다.