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진공 장비용 코팅부품의 내플라즈마 특성 평가 방법

  • 노승완;신재수;이창희;강상우;김진태;신용현;윤주영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.329-329
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    • 2010
  • 반도체 및 디스플레이의 진공부품은 알루미늄 모제에 전해연마법(electrolytic polishing), 양극산화피막법(Anodizing), 플라즈마 용사법(Plasma spray) 등을 사용하여 $Al_2O_3$ 피막을 성장시켜 사용되고 있다. 반도체 제조공정 중 30~40% 이상의 비중을 차지하는 식각(etching) 및 증착(deposition) 공정은 대부분 플라즈마를 사용하고 있다. 플라즈마에 의해 화학적, 물리적 침식이 발생하여 코팅막에 손상을 일으켜 코팅막이 깨지거나 박리되면서 다량의 Particle을 생성함으로써 생산수율에도 문제를 야기 시킨다고 알려져 있다. 하지만 이들 코팅막을 평가하는 방법은 거의 전무하여 산업계에서 많은 애로를 겪고 있다. 이러한 코팅부품의 내플라즈마 성능평가 방법과 기준이 없어 적절한 교체시기를 파악하기 위한 코팅부품의 손상정도를 정량화 및 평가 방법의 표준화를 구축하는 연구를 수행하였다. 본 연구에서는 이러한 소재의 특성평가를 위해 공정에서 사용 중 손상되어 교체된 샘플의 모폴로지 관찰하고 내전압 측정으로 전기적 특성을 분석하여 손상 전, 후의 변화를 관찰하였다. 또한 플라즈마의 영향에 따른 코팅 막 형태 변화 및 전기적 특성의 변화를 알아보기 위하여 양극산화피막법(Anodizing)으로 $Al_2O_3$를 성장시킨 평가용 샘플을 제작한 후, Plasma chamber 장비를 이용하여 플라즈마 처리에 따른 코팅막의 내전압, 식각율, 표면 미세구조의 변화를 측정하였고 이를 종합적으로 고려하여 진공 장비용 코팅부품의 공정영향에 의한 내플라즈마 특성평가방법 개발에 관하여 연구하였다. 이러한 실험을 통해 플라즈마 처리 후 코팅 막에 크랙이 발생되는 것을 확인할 수 있었고 코팅 막의 손상으로 전기적 특성이 감소를 것을 확인할 수 있었다. 또한 ISPM 장비를 이용하여 진공 장비용 코팅부품이 플라즈마 공정에서 발생하는 오염 입자를 측정할 수 있는 방법을 연구하였다. 이러한 결과를 이용하여 진공공정에서 사용되는 코팅부품이 플라즈마에 의한 손상정도를 정량화 하고 평가방법을 개발하여 부품 양산업체의 진공장비용 코팅부품 개발 신뢰성 향상이 가능할 것으로 본다.

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XKT-1(수출형 KT-1) 항공기 열 환경시험에 관한 연구 (Study on Thermal Environmental Test for XKT-1 (KT-1 Export Version) Aircraft)

  • 김진석
    • 항공우주시스템공학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.105-113
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    • 2021
  • 본 논문은 MIL-STD-810 시험법 501(고온 시험법)과 시험법 502(저온 시험법)를 기반으로 XKT-1(수출형 KT-1) 항공기 고객의 운용 환경과 요구사항에 적합하도록 시험조건과 시험절차를 최적화하여 열 환경시험 프로파일을 제시하였다. 또한, 이렇게 최적화된 고온 및 저온시험 프로파일을 환경시험 종합평가 계획서에 반영하여 국방과학연구소의 기후환경 챔버에서 시험수행 하였다. 본 고온 및 저온 환경시험 프로파일로 XKT-1(수출형 KT-1) 항공기의 고온 및 저온 환경시험수행 결과, 고객 환경 요구사항을 만족하고 혹독한 열 환경에서 신뢰성 있음을 확인하였다. 특히 본 논문에서 제안된 고온 및 저온 환경시험절차와 프로파일은 더 혹독한 환경시험 조건의 수출형 항공기 환경시험에도 응용할 수 있다.

잔류농약 다성분 동시분석을 위한 기체 크로마토그래피 분석성능과 3종 분배용매에 의한 농약추출 (Gas Chromatographic Performances for Simultaneous Determination of Multi-pesticide Residues and Extraction of Pesticides with Three Partition Solvents)

  • 김찬섭;김진배;임건재;박현주;이영득
    • 농약과학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.133-147
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    • 2009
  • 토양 중 농약잔류량을 신속하고 저렴하게 분석할 수 있는 다성분 동시분석법을 개발하기 위하여 작물체 중 잔류농약분석법 및 개별성분 분석법을 조사하고 확인하여 기기분석 조건을 확립하였고 분배과정의 용매별 효율성을 조사한 결과는 다음과 같았다. 국내사용농약 중 GC로 분석 가능한 성분 180 성분에 대하여 검출기별 감응성 검토결과 ECD의 경우 84 성분 및 NPD의 경우 113 성분이 예상검출한계 $0.01\;mg\;kg^{-1}$ 이하이었으며 ECD와 NPD를 종합하면 148 성분이었다. 검출한계 $0.05\;mg\;kg^{-1}$ 이하인 농약성분은 ECD 137 성분 및 NPD 170 성분이었고, 두 검출기의 결과를 종합하면 179 성분이 예상 검출한계 $0.05\;mg\;kg^{-1}$ 이하이었다. 농약성분 peak의 분리도와 분석소요시간을 고려하여 선정한 기기분석 조건에서의 머무름 시간 분포를 살펴보면 대부분의 성분이 시료주입 후 10 분에서 40 분 사이에 검출되어 적절하게 분포되었으나, 20 분과 30 분사이의 머무름 시간대에는 90 여 성분이 분포하여 많은 성분이 충분히 분리가 되지 않을 것으로 판단되었다. 분배과정의 회수율은 dichlorornethane이 가장 우수하였으며, 그 다음은 ethyl acetate/hexane 혼합용매, ethyl acetate 순으로 각각 시험대상 성분의 90%, 85% 및 81%가 70-120% 범위의 회수율을 나타내었다. 따라서 dichlorornethane을 두 분배용매체계로 대체하는 것이 가능할 것으로 사료된다.

기술기반 중소건설업체 지원을 위한 건설기술가치 평가 연구 (An Analysis on Evaluation of Construction Technology Value for Supporting Mid-small Construction Enterprises Pursuing Technical Innovation)

  • 김명수
    • 한국건설관리학회논문집
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    • 제18권4호
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    • pp.27-35
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    • 2017
  • 본 연구에서는 수익접근법을 기본 모형으로 하여 건설부문의 특성을 반영한 건설부문 기술가치 평가를 시도하였다. 수익접근법은 향후 발생할 미래수익에 대한 현재가치 가운데 기술로 인한 부분만을 고려하여 기술가치를 산정한다. 무엇보다 건설기술은 표준화된 일반 제품에 비해 많은 변수가 존재하므로, 건설기술가치평가는 가치평가의 표준화된 산식은 물론 건설 기술전문가, 시장전문가 팀의 정성적 평가에 대한 의존도가 높을 수밖에 없다. 그리고 건설부문은 매출과 수익성 추정에 대한 불확실성이 타 산업 대비 높으므로, 할인율과 현금흐름 추정에 보수적인 입장을 취해야 한다. 실증분석을 위해 경제적 수명 및 현금흐름은 산업통상자원부의 실무가이드와 전문가들의 평가를 반영하여 산정되었고, 할인율 및 기술기여도는 건설업의 특성을 반영시켜 분석하였다. 먼저 보수적 평가에 따른 위험프리미엄의 증가로 할인율이 15%로 산정되었다. 그리고 기술의 우수성으로 개별 기술강도 비율이 72%로, 이에 따라 기술기여도는 46.7%로 추정되었다. 이 같은 할인율과 기술기여도의 변화를 종합하여 기술가치평가 금액은 318백만원으로 추정되었다. 본 연구가 시사하는 바는 다음과 같다. 먼저, 현재 종합 및 전문건설업 2부문으로 구분된 공종별 또는 업종별 구분을 다양화하고, 기본적 통계자료 확보 및 DB구축이 필요하다. 건설기술의 다양한 변동성으로 인해 평가에 참여하는 전문가들의 정성적 평가에서의 역할이 더욱 강조된다.

환경성 유해요인이 유전물질과 세포활성에 미치는 영향 III. 포유동물세포에서 돌연변이원에 의한 DNA 상해의 회복에 미치는 DNA 중합효소저해제의 영향 (Enviromental Toxic Agents on Genetic Material and Cellular Activity III. DNA Polymerase Inhibitors on Repair of Mutagen-Induced DNA Damage in Mammalian Cells)

  • 엄경일;선우양일;이천복;신은주
    • 한국환경성돌연변이발암원학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.1-12
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    • 1988
  • 본 연구는 Ethyl methanesulfonato(EMS) 혹은 Bleomycin(BLM)에 의해 유발된 DNA상해의 회복에 미치는 DNA 종합효소 $\alpha$ 저해제인 Aphidicolin(APC)과 DNA 종합효소 $\beta$의 저해제인 2`, 3`-dideoxythymididine 5`-triphosphate(ddTTP)의 영향을 조사하기 위하여 Chinese hamster ovary(CHO)-Kl 세포를 재료로 비주기성 DNA 합성법과 알칼리유출법 및 스칼리 자당구배침강법으로 수행하여 얻은 결과는 다음과 같다. APC와 ddTTP는 EMS에 의해 유발된 DNA 상해의 회복을 저해하여 APC 혹은 ddTTP를 처리하지 않고 배양한 실험군 보다 비주기성 DNA 합성율과 DNA 단사 절단율이 증가되었다. 한편 BLM에 의해 유발된 DNA 상해의 회복에서는 ddTTP를 처리했을 경우에만 저해되었다. 즉 BLM 처리 후 ddTTP를 후처리한 실험군의 비주기성 DNA 합성율과 DNA단사 절단율은 ddTTP를 처리하지 않은 군보다 증가되었고, BLM 처리 후 APC를 후처리할 경우에 비주기성 DNA 합성율과 DNA 단사 절단율은 APC를 처리하지 않은 군과 유사하였다. 이상의 결과들에서 EMS에 의해 유발된 DNA 상해의 회복에는 DNA 중합효소 $\alpha$, $\beta$양자가 관여하나 BLM에 의해 유발된 DNA 상해의 회복에는 중합효소 $\beta$가 관여하는 것으로 추측된다.

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긍정적 사고가 운동 수행 능력의 향상과 불안조절에 미치는 영향 (The Effect of Positive Feedback and Reinforcement on the Enhancement of Performance and the Regulation of Anxiety)

  • 한덕현;조규현;민경준;나철
    • 정신신체의학
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    • 제15권2호
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    • pp.107-112
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    • 2007
  • 서론 : 긍정적 사고는 수행능력에 많은 영향을 끼친다. 기질적 특성 중 위험 회피는 불안과 관련된 행동에 많은 영향을 끼친다. 여러 종목의 스포츠 중, 골프 선수는 다른 종목의 선수에 비해 높은 불안 수준과 낮은 위험회피기질을 보이고 있다. 따라서, 골프선수에서 긍정적 보상과 강화가 불안을 감소시키며 인간 행동 수행능력을 향상시키는 것을 알아보았다. 방법 : 15~19세의 51명의 골프 선수 중, 25명은 Zinsser의 긍정적 사고전환을 응용한 레슨과 Beswick가 제시한 긍정적 자기 말을 사용하였다(P-FB), 26명은 일반적 훈련 법을 따랐다. 위험회피(Harm avoidance), Spielberg's Trait and State Anxiety, 골프점수(드라이브 거리 및 OB 횟수, 아연 샷 횟수, 퍼팅 횟수) 등을 훈련법 전과 6개월 뒤에 조사하였다. 결과 : 훈련 법 전에 조사한 위험회피, 불안 수준, 그리고 골프점수에서는 두 그룹에서 차이가 없었다. 6개월 뒤, 양군 모두에서 전반적 골프점수는 향상을 보였다. 하지만 P-FB 군이 대조군에 비해 종합 점수와 퍼팅 횟수가 더욱 감소하였다. P-FB 군이 상태불안(State Anxiety)의 감소를 보인 반면 대조군에서는 상태불안의 변화가 없었다. P-FB 군에서 위험회피 점수는 상태불안과, 상태불안은 종합점수의 감소와 관련이 있었다. 결론 : 긍정적 보상과 강화는 행동 수행 능력과 상태불안을 향상시키며, 행동 수행 능력과 불안의 향상은 높은 위험 회피의 기질적 특성을 가지고 있는 골프선수에게 특히 도움이 되었다. 본 연구는 높은 위험회피를 가지고 있는 사람에서 긍정적 사고를 통한 불안의 조절이 수행능력의 향상에 직접적 도움이 됨을 알 수 있었다.

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개별요소법을 활용한 경사각에 따른 스크루 컨베이어 모델 성능 평가 (Evaluation of Screw Conveyor Model Performance depending on the Inclined Angle by Discrete Element Method)

  • 박병관;최순욱;이철호;강태호;장수호
    • 터널과지하공간
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    • 제29권6호
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    • pp.379-393
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    • 2019
  • 경제적인 TBM 시공을 위해서는 현장 조건에 맞는 최적의 TBM 선정과 함께, 선정된 TBM의 굴착 성능을 예측하는 것이 매우 중요하다. 본 연구에서는 개별요소법 (Discrete Element Method, DEM) 기법에 근거한 입자 역학 전용 해석 상용 소프트웨어를 사용하여 경사각에 따른 토압식 쉴드TBM의 버럭 배토 장비인 스크루 컨베이어의 각도에 따른 성능을 종합적으로 평가하였다. 굴착 토사를 모사하기 위해 점성 특성을 갖는 입자들을 사용하였으며, 스크루 컨베이어의 경사각에 따른 성능을 평가하기 위해 11가지 스크루 컨베이어 모델을 적용하였다. 해석에는 네 가지 스크루 컨베이어 회전 속도 조건이 적용되었으며 스크루 컨베이어의 성능을 평가하기 위한 지표로 토크, 소요 동력 이외에도 배토를 위해 추가로 소요되는 작업량 및 단위 시간당 배토량을 선정하였다. 마지막으로 평가된 네 가지 성능 지표를 종합하여 주어진 해석 조건에서의 최적의 스크루 컨베이어 경사각을 선정하였으며, 이는 실제 TBM 현장에서 많이 사용되는 스크루 컨베이어 경사인 20.0°~30.0° 범위와도 부합하는 것으로 파악되었다.

영재교사들이 지각하는 관찰-추천 영재판별 시스템의 방향, 중요도, 실행수준 분석: 개념도 연구법을 활용하여 (Exploring the Class Observation and Nomination System for the Identification of Gifted Students Using a Concept Mapping Approach)

  • 한기순;이정용
    • 영재교육연구
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    • 제21권1호
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    • pp.107-122
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    • 2011
  • 이 연구는 개념도 연구법이라는 새로운 연구방법을 소개하고 이를 활용하여 최근 이슈와 논란이 되고 있는 관찰-추천 영재 판별 시스템과 관련하여 현장에서 영재들을 지도하고 있는 영재담당교사들의 인식을 중심으로 관찰-추천 영재판별 시스템의 바람직한 방향 및 그 중요도 그리고 실행수준을 탐색해 보았다. 이를 위해 12명의 영재교사들이 영재판별에서 바람직한 관찰-추천 시스템의 방향에 대해 작성한 진술문을 산출, 종합, 분류하고 이를 기초로 다차원 척도와 위계적 군집분석을 실시하였다. 또한 여기서 산출된 바람직한 관찰-추천 시스템 관련 문항을 가지고 112명의 영재담당교사들을 대상으로 각 문항에 대한 중요도와 실행수준을 평가하였다. 이 연구의 주요 결과는 다음과 같다. 첫째, 영재판별에서 관찰-추천 시스템의 방향 탐색 인식에 대한 브레인스토밍 결과를 토대로 진술문을 종합한 결과 36개의 진술문이 도출 되었으며 이들 36개의 진술문에 대한 비유사성 평정 자료를 사용하여 다차원 척도분석을 실시한 결과 2차원 개념도 제작에 적합한 stress 값은 .249이었다. 개념도에 나타난 진술문의 좌표 값을 기초로 위계적 군집 분석을 실시한 결과, 영재판별에서 관찰-추천 시스템의 방향 탐색인식은 4개의 범주로 나타났다. 각 범주명은 '전문성 확보', '행정적 지원 확보', '공정성 확보', '관찰-추천제의 원칙'으로 명명되었다. 둘째, '전문성 확보'와 '공정성 확보' 범주가 상대적으로 더 중요하게 인식되고 있는 것으로 드러났으며, 모든 범주에서 관찰-추천 영재판별 시스템의 방향 탐색의 중요도와 실행수준의 점수간에 유의한 차이가 있음이 나타났다. 이 연구는 앞으로 본격화될 관찰-추천에 의한 영재 판별이 바람직한 방향으로 정착하기 위해 무엇이 필요하고 중요하며 현재는 어느 수준으로 이루어지고 있는가를 현장에서 실질적으로 영재교육을 담당하고 있는 영재교사들을 통해 알아보는데 그 의의를 찾을 수 있다.

중서의결합치료소아백혈병사로(中西醫結合治療小兒白血病思路) -중서의 결합으로 소아백혈병 치료에 대한 접근-

  • 석효평
    • 대한한방소아과학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.71-75
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    • 2001
  • 백혈병은 조혈계통의 악성 증식성 질환으로서 현재까지 주로 화학약물요법에 의존하고 있는 실정이다. 화학약물요법은 백혈병 세포를 소멸시킬 수 있지만 또한 인체에 여러 가지 독성 반응 및 부작용을 일으키기도 한다. 따라서 중서의결합으로 백혈병 치료에 접근하는 것은 중요한 의미를 갖는다. 중의학에서 소아 백혈병을 치료하는 경우 청열해독법(淸熱解毒法), 부정보허법(扶正補虛法), 활혈화어법(活血化瘀法)을 주로 사용한다. 청열해독법은 백혈병의 조기치료에 주로 활용되는데, 인체의 저항력을 증강시켜 화학약물요법을 실시하는 동안 흔히 나타날 수 있는 감염증상을 예방하는 효과를 얻을 수 있다. 부정보허법(扶正補虛法)은 주로 화학약물요법의 유도 완화기 및 치료효과의 유지를 위하여 활용되는데, 이는 인체의 면역력을 향상시켜 화학약물요법이 인체에 미치는 손상을 경감시킬 수 있다. 활혈화어법(活血化瘀法)은 미세순환을 개선시키는 작용을 하며 골수의 조혈기능을 촉진하고 면역기능을 조절하며 또한 일부 활혈화어제(活血化瘀劑)는 백혈병 세포에 직접적인 억제효과를 보인다. 소아백혈병에 대하여 화학약물요법을 진행하는 동안 중약을 같이 병행하는 경우 다음과 같은 과정으로 나누어 실시할 수 있다. 1. 유도완화치료(화학요법)단계: 이와 같은 치료과정은 대개 화학약물요법으로 인한 극심한 독성반응이나 주작용을 나타내게 되는데, 이 과정에서 중약치료를 병행하면 신속하게 증상을 개선시킬 수 있다. 만약 구토나 설사와 같은 소화계 부작용이 나타나면 화위강역법(和胃降逆法)을 활용하고, 감염 증상이 나타나면 부정(扶正)과 거사법(祛邪法)을 병행할 수 있다. 화학약물요법을 진행한 후 신체가 극도로 허약해지고 골수의 기능이 심하게 억제되는 경우는 주로 부정(扶正)시키는 중약을 사용하면서 익기양혈제(益氣養血劑)를 곁들이고 보조적으로 단삼(丹蔘), 당귀(當歸), 천궁(川芎), 계혈등(鷄血藤) 등과 같은 활혈화어제(活血化瘀劑)를 사용하여 골수의 조혈기능을 회복시킨다. 2. 치료효과의 유지단계: 본 과정에서는 중약치료에 있어서 부정(扶正)과 거사법(祛邪法)을 병행한다. 화학약물요법을 실시하는 동시에 거사제(祛邪劑)를 중용(重用)함으로써 화학약물요법의 효과를 강화시킨다. 화학약물요법이 끝난 뒤 부정(扶正)시키는 약물을 중용(重用)하여 인체의 면역기능을 증강시키고 백혈병세포를 억제시킨다. 3. 치료효과의 유지 및 강화단계: 치료효과의 유지단계에서는 변증논치(辨證論治)의 원칙에 입각하여 항암효과가 있는 중약을 활용할 수 있는데, 예를 들어 백화사설초(白花蛇舌草), 산자고(山慈?), 청대(靑黛), 용규(龍葵) 등을 사용할 수 있고, 육신환(六神丸)을 장기적으로 복용하여도 된다. 소아백혈병 치료에 있어서 중서의결합의 치료법을 활용하는 경우 다음과 같은 내용에 주안점을 둘 수 있다. 화학약물요법을 진행하는 과정에서 중약을 병행하여 투여하는 경우 사진합삼(四診合參)을 근간으로 종합적인 분석을 통하여 병인(病因)을 살피어 치료에 임하도록 한다. 약물의 선택과 처방의 구성은 반드시 변증논치(辨證論治)의 원칙하에 이루어져야 한다. 화학약물요법과 중약치료를 병행하는 과정에서 변증(辨證)과 변병(辨病)이 서로 결합되고 부정(扶正)과 거사법(祛邪法)을 병행하여 활용한다. 정체관(整體觀)에서 출발하여 환자를 관찰하는 동시에 특징적인 증후(證候)에 대한 변증논치(辨證論治)도 중요하며, 또한 백혈병 환자의 유형(類型)이나 임상 혈액검사 소견, 골수의 양상, 화학요법의 진행단계 및 환자의 연령과 체질 등을 충분히 가만하여 종합적인 분석을 토대로 치료법을 선택하여야 중약요법과 화학약물요법의 협동적인 효과를 증폭시키고 백혈병치료에 새로운 전기를 마련할 수 있을 것이다.

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유해화학물질 대응시스템 적용을 위한 제도 개선 연구 (A Study on Improvement of Legal System for Harmful Chemical Substance Response Management System)

  • 옥영석;이영섭
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권4호
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    • pp.216-223
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    • 2017
  • 화학물질은 전 세계적으로 1,500만 여종 이상 상업적으로 이용되고 있을 정도로 현대사회의 필수적인 요소이다. 그러나 이러한 화학물질 중에서 국민의 건강과 환경을 위협하는 위험성을 내포하고 있는 유해화학물질이 상당수 존재한다. 과거 사례를 통해 화학사고가 발생하면 인간의 생명에 얼마나 큰 위험성을 내포하고 있는지 알 수 있다. 화학물질사고의 특성상 짧은 시간에 큰 피해로 확산할 수 있으므로, 사전에 예방하고 사고발생 후에는 즉각적이고 신속한 대응이 매우 중요하다. 이에 국내의 화학물질에 대한 법제도가 2015년 기준으로 "유해화학물질관리법"에서 "화학물질의 등록 및 평가 등에 관한 법률"과 "화학물질관리법"의 체계로 이원화되었다. 그러나 현행법상 화학물질종합정보시스템과 화학물질정보처리시스템의 구축 및 운영을 하고 있지만, 여전히 화학사고는 지속적으로 발생하고 있다. 이러한 시스템은 화학물질사고 대응시스템이라기보다는 화학물질 정보에 그 목적을 둔 종합정보시스템이기에, 실질적인 사고대응에는 한계가 존재한다. 본 연구에서는 유해화학물질의 정보관리체계, 대응관리체계 및 화학물질 관리 지원 근거에 대해 분석하고, 이를 통한 현행 화학물질관리법 등의 개정방향과 지자체별 화학물질대응시스템을 개발 운영할 수 있도록 법제도 개선방안을 제안하고자 한다.