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정부 3.0에 대한 도서관 사서의 인식조사 연구 (A Study on Librarians' Perception about Government 3.0)

  • 노영희
    • 한국비블리아학회지
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    • 제27권2호
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    • pp.51-80
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    • 2016
  • 최근 정부 3.0 정책에 따라 공공데이터가 대량으로 공개되고 있고, 이를 활용한 제품을 개발하여 창업에 성공하거나 일상생활에 필요한 앱을 개발하고 국민의 편의성을 증가시키는 앱 등이 수없이 개발되어 활용되고 있는 실정이다. 도서관도 공공의 영역으로서 정부 3.0 정책에 따라 데이터를 개방하고 데이터를 활용한 다양한 응용이 나와야 할 시점이다. 이에 본 연구에서는 정부 3.0에 대한 도서관 사서의 인식을 조사하고자 하였다. 이를 위해 전문도서관, 대학도서관의 사서들을 대상으로 인식조사를 한 결과는 다음과 같다. 첫째, 사서들의 정부 3.0에 대한 인지도는 3.6 정도로 평균 이상이지만 추진과제에 대해서는 3.0 정도로 나타났다. 둘째, 정부 3.0 정책이 도서관에 미치는 영향에 대해서 영향을 미칠 것이라고 응답한 비율은 43.65%로 그렇지 않다는 7.14%보다 6배 정도 높게 나타났다. 셋째, 정부 3.0 정책에 의해 개방된 공공데이터를 도서관에서 효과적으로 활용할 수 있는 방법으로 공개된 공공데이터를 분야별로 정리하여 이용자에게 제공, 공개된 공공데이터를 테마별로 활용할 수 있도록 교육, 공공데이터 개방에 따른 개인정보보호관련 이용자 교육 순으로 나타났다. 넷째, 정부에 의해 공개된 공공데이터가 이용자와 도서관의 역할 변화 및 이미지 개선에 도움이 될 것이라는 것에 60% 정도가 동의했고, 오직 2.38%만이 그렇지 않을 것이라고 응답하였다.

환율전이와 시장의 반응: 미국 철강시장에서의 한국과 일본의 경쟁 (Exchange Rate Pass-Through and Market Response: Competition between Korea and Japan in the US Steel Market)

  • 차문중;김재훈
    • KDI Journal of Economic Policy
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    • 제26권2호
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    • pp.281-314
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    • 2004
  • 환율의 변화에 따른 개별 교역재 가격의 변화는 '환율전이효과(Exchange rate pass-through)'로 불리며, 국제경제학의 가장 중요한 연구분야 중의 하나로 인식되고 있다. 또한 환율변화 당사국의 교역재 가격변화에 따라 시장전체에서 일어나는 환율의 전이현상은, 수출시장과 특정수출국의 환율이 변화할 때 수출국의 가격책정전략과 시장전체의 반응에 대한 정보를 제공해줄 수 있다는 점에서 깊은 연구가 필요하다. 그러나 대부분의 연구는 환율변화에 따른 특정 국가의 수출재 가격변화만을 고려할 뿐, 경쟁국 재화가격의 변화나, 이에 따른 수출대상국의 재화시장이 전체적으로 받는 충격에 대한 연구는 거의 이루어지지 않고 있다. 본 논문은, 한국과 일본의 대미 달러 환율변화에 따른 철강재의 가격변화를 통해 시장의 반응을 분석한다. Bootstrap-after-bootstrap을 활용한 vector error correction 모형과 이에 따른 충격반응함수분석, 그리고 Phillips-Hansen의 추정방법(fully modified estimation)을 통한 분석은 몇 가지 중요한 시사점을 제공하는데, 그중 가장 중요한 두 가지를 요약하면 다음과 같다. 즉, (i) 한일 양국의 환율변화는 미국 철강시장에서의 양국 수출철강가격에 대해 서로 다른 개별적 전이효과를 야기하며, (ii) 여타 수출국의 반응도 한일 양국 중 어느 나라 제품의 가격이 변화하는가에 따라 달라진다는 것이다. 이에 따라 같은 비율의 환율변화에 대해서도 그 당사국에 따라 시장의 가격반응은 달라지게 됨을 알 수 있다.

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TEM 도파관을 이용한 전자파 장해 측정 연구 및 표준화 동향

  • 권종화
    • 한국전자파학회지:전자파기술
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    • 제13권1호
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    • pp.51-62
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    • 2002
  • EMI/EMS 측정을 위해서는 주변 전자파 잡음(background noise)이 낮은 야외시험장(Open Area Test Site)이 가장 바람직하나, 근래 전자(전기 기기 사용의 증가와 방송.무선통신 시스템의 다양화로 인한 인공잡음(artificial noise)의 증대로 조건에 부합된 부지 선정이 어렵고, 설치 비용이 매우 크며 날씨 변화에 따라 시험 계획이 변경 될 수도 있는 단점이 있다. 전자파 분-무반사실(Semi Anechoic Chamber)은 대부분의 환경 잡음을 감쇠시키므로 야외시험장처럼 장소의 구애를 받지 않아 도시나 혹은 제품 생산지 가까이에 설치 운용이 가능하다. 그러나 큰 설치 공간과 많은 시설 유지 비용을 필요로 하며, 저주파 대역에서는 반사에 의한 공진을 완전히 제거할 수 없어 성능이 떨어진다. 또한, 최근 컴퓨터 CPU의 동작주파수가 급속하게 높아지고 PCS, IMT-2000 등과 같은 이동전화의 사용주파수도 계속해서 높아짐에 다라 미연방통신위원회(Federal Communication Commission)에서는 5㎓까지의 복사 방출 시험을 요구하고 있다. IEC 61000-4-3 복사 내성 시험규격도 휴대폰 주파수인 2㎓까지 확장되었으며 IMT-2000, Bluetooth 등 새로운 이동통신서비스가 속속 개발됨에 따라 18㎓ 까지 시험 주파수가 확장되는 추세이다. 그러나, 현재 국내 각 연구실에서 보유하고 있는 야외시험장이나 전자파 반-무반사실의 경우 1㎓이상에서의 시험이 곤란하여 수 ㎓주파수대역에서 시험이 가능한 복사 및 내성시험 시설이 필요하게 되었다. 이러한 문제점들을 해결하기 위해 고안된 대용 측정 시설 중 대표적인 것이 TEM 셀이나 GTEM셀과 같은 TEM 도파관(waveguide) 형태의 장비들이다. 이들은 본래 EMS 측정을 위한 장비이지만 협소한 공간이나 외부와의 전자파 간섭의 우려가 없고, 설치가 비교적 자유로워 여러 연구기관에서 도파관 원리를 이용한 측정 방식을 연구(개발하여 범용적인 전자파 적합성 측정 장비로서 활용하고 있다. 야외시험장과 무반사실 등이 안테나에 의한 피시험기기 주변 공간에서의 1점 측정으로 인해 시험 시간이 많아 소요되는 공통적인 단점이 있는 반면, TEM 도파관에 의한 측정은 일단 피시험기기의 모델링 정보만 얻어지면 계산에 의해 EMI 측정을 바로 할 수 있다. <표 1>에서 현재 상용화되어 사용되고 있는 TEM/GTEM 셀, 야외 시험장 및 전자파 무반사실에 대해 EMI 측정과 관련된 몇 가지 사안에 대해 비교하였다. 본 문서에서는 야외시험장이나 전자파 반-무반사실 등과 같은 기존 EMI/EMS 측정 시설의 단점을 보완하고, 광대역 특성을 갖는 대용 측정 시설로서의 TEM 도파관에 대해 소개하고 야외시험장 결과와의 상관관계 알고리즘 및 표준화 동향에 대해 기술하였다. 2절에서는 대표적인 TEM 도파관 구조의 측정 시설인 TEM 셀과 GTEM 셀의 전기적.구조적 특징에 대해 간단히 기술하고, 3절에서는 TEM 셀과 GTEM 셀에서이 측정결과를 이용하여 야외 시험장 결과를 얻어내는 상관관계 알고리즘에 대해 기술하였다. 4절에서는 IEC/CISPR와 TC77에서의 표준화 활동을 중심으로 현재 진행중인 TEM 도파관 관련 표준화 동향과 내용에 대해 기술하고자 한다.

하이테크산업에서 선두이점의 원천에 관한 연구: 지식경영역량의 매개효과를 중심으로 (Sources of Pioneering Advantage in High-tech Industries: The Mediating Role of Knowledge Management Competence)

  • 조연진;박경도
    • 벤처창업연구
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    • 제10권4호
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    • pp.113-131
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    • 2015
  • 본 연구는 지식경영역량의 신제품 개발 과정에서의 역할을 설명하고, 지식습득역량에서 지식적용역량으로 연결되는 과정을 통해 선두이점과 신제품품질의 우월성, 그리고 신제품 성과 간에 관계를 규명하기 위한 연구이다. 지금까지 지식기반 연구는 지식의 정의, 지식의 유형 구분, 지식과 정보 간의 차이 등에 대한 연구로 국한되어왔다. 본 연구는 기업의 신제품 지식경영활동 중 발생하는 지식습득과 지식적용역량을 전략적 변수로서 간주하여, 지식경영역량의 선행변수와 결과변수를 조사하였다. 지식기반이론과 source-position-performance(SPP)구조를 바탕으로, 가치창출에 원천으로서 지식의 유형은 지식경영역량의 개발에 중요한 역할을 하며, 이러한 지식경영역량은 포지션상의 우위를 가져와 신제품 성과에 영향을 미칠 수 있음을 제시하였다. 이를 검증하기 위해 국내 하이테크 산업에 속하는 기업들 중 신제품 프로젝트에 참여한 제품 개발팀의 과장급 이상 종사원을 대상으로 설문조사를 실시하였다. 구조방정식모형을 사용하여 가설을 검증한 결과 7개의 가설 중 신제품 지식의 복잡성과 지식적용역량의 관계(H1b)를 제외한 모든 가설이 통계적으로 유의한 결과를 보였다. 본 연구의 공헌은 SPP 구조를 기반으로 하여 지식의 유형과 포지션상 우위를 연결하는 매개변수로서 지식경영역량을 소개하였고, 실증 분석을 통해 신제품 혁신 이론에 지식경영역량이 중요한 역할을 한다는 것을 보였다는 것이다. 또한 신제품 개발 성과를 향상하기 위해서는 신제품 개발 팀장들의 역할 즉, 팀 구성원들의 개별 지식 접근능력을 기르고, 그것을 적용하기 위한 능력을 개발하는 것이 중요하다는 것을 제시하였다는 점은 실무적으로 의의가 있다.

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지식서비스 기업과 고객간의 상호작용성 및 지식유형이 기업의 서비스 혁신에 미치는 영향에 대한 연구 (The Effect of the Interactivity and Knowledge Type Between KIBS Firms and Customers on Innovation in KIBS Firms)

  • 김용진;남기찬;송재기;이남희;임명성
    • 경영정보학연구
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    • 제12권2호
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    • pp.145-166
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    • 2010
  • 글로벌 경제전반에 서비스가 미치는 영향이 증가하면서, 서비스를 통해 가치를 창출하는 혁신에 대한 새로운 관점이 요구되고 있다. 최근 서비스 혁신은 서비스와 관련된 모든 창조적인 활동으로 이해되고 있으며, 기업이 아닌 고객주도하에서 서비스의 품질을 향상시키는데 중점을 두고 있다. 이는 고객의 역할이 서비스 거래만을 주도하는 수동적인 행위자에서 서비스 관련 활동에 적극적으로 참여하는 능동적인 행위자로 변화함에 따라, 지식서비스 기업이 고객과 긴밀한 관계를 가질 수 있는 다양한 상호작용 활동을 수행할 때 혁신을 이끌 수 있음을 의미한다. 이를 토대로 본 연구에서는 서비스 혁신에 관한 단순한 개념적 수준의 연구에서 벗어나, 서비스 혁신에 영향을 미치는 서비스 기업과 고객기업 간의 상호작용성과 이들 간에 공유되는 지식유형에 대해 알아보고자 하였다. 서비스 기업과 고객기업이 이루는 협업 활동을 의미하는 상호작용성은 세 가지 활동, 지식서비스 표준화, 양방향 학습 그리고 혁신 참여로, 서비스 혁신은 세 가지 서비스 제품 혁신, 프로세스 혁신, 그리고 조직혁신으로 구분하였다. 그 결과, 다양한 상호작용 활동들이 모두 세 가지 유형의 서비스 혁신에 유의한 영향을 미치는 것을 알 수 있었으며, 더 나아가 서비스 기업과 고객이 암묵지 형태의 지식을 공유할 때, 혁신을 더 높일 수 있는 것으로 나타났다. 이러한 연구결과는 기존과 다른 관점에서 서비스 혁신을 이해하는데 도움을 주고, 지식서비스 기업이 혁신을 이루기 위한 실질적인 방안을 제시하였다는 점에서 의의가 있다.

약용버섯의 계통분류 및 국내유통 Inonotus속내 종간 구별을 위한 신속동정법 개발 (Phylogenetic analysis of the medicinal mushroom and taxonomical positions of their commercial products)

  • 김성윤;정민정;김기영;박재민;김문옥;문동오;이태호;이재동
    • 한국버섯학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.52-59
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    • 2005
  • 국내유통약용버섯의 분류체계를 확립하고 이들 속 및 종간의 유연관계확립을 위하여 계통학적 정보를 지니고 있는 ITS부위의 염기서열을 밝히고 ITS1과 ITS2부위의 다양한 염기서열을 이용하여 분류학적 위치를 확립하였고, 시판 I. obliquus 종의 진위여부와 계통분류학적인 유연관계 확립 및 종 특이적인 유전자 탐침을 개발하였다. 본 연구의 조사결과에 의하면, 약용버섯으로 주로 시판되고 있는 국내유통균주는 총 6개의 속(Phellinus, Inonotus, Sparassis, Fomes, Ganoderma, Hericium)으로 나누어짐을 알 수 있었고 그 중에서 기존에 잘 알려진 상황버섯과 최근 들어 수입양이 급증하고 있는 차가버섯이 대부분을 차지하고 있는 것으로 확인되었다. 본 연구에 사용되어진 일명 차가버섯으로 유통 중인 15개 제품 중 중국에서 수입되어진 59번 균주가 P. pini로 확인되었으며 일본에서 수입되어진 51, 52번 균주가 P. baumii와 P. linteus와 유사종 혹은 동일종으로 확인되었다. 한편 I. rheades(AY237731)와 I. radiatus(AY354217) 및 F. fomentarius(AY354213)는 NCBI 등록 시 문제점이 있는 것으로 사료되며 본 실험에서 조사되어진 30번 균주 F. fomentarius가 정확한 말굽버섯인 것으로 사료된다.

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선호도 높은 이미지의 최적 파라미터 범위 연구: 다이내믹 레인지, 컬러, 콘트라스트를 중심으로 (Optimum Parameter Ranges on Highly Preferred Images: Focus on Dynamic Range, Color, and Contrast)

  • 박형주;하동환
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제13권1호
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    • pp.9-18
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    • 2013
  • 본 연구는 감상자가 선호하는 화질의 파라미터를 정량화하기 위하여 선행 연구를 기반으로 한 물리적인 화질 평가 항목과 인지적 특성을 반영한 화질 평가 항목을 다이내믹 레인지, 컬러, 콘트라스트로 설정하였다. 그리고 이미지 감상자가 선호하는 콘텐츠별 화질의 재현 성능 범위를 구체화하였다. 그 결과 다이내믹 레인지를 의미하는 디지털 존시스템은 인물사진, 야경사진, 풍경사진이 6~10 stop의 범위를 나타냈다. 전체 RGB 평균은 인물사진(67.2~215.2), 야경사진(46~142), 풍경사진(52~185)으로 인물사진이 RGB 컬러 범위가 가장 넓게 나타났으며, 다음으로 풍경사진, 야경사진의 순서대로 나타났다. 전체 콘트라스트의 범위는 인물사진(196~589), 야경사진(131~575), 풍경사진(104~767)으로 나타났다. 특히 인물사진의 경우, 노출의 기준이 되는 피부톤이 ZONE V로 나타났지만 실제로 감상자들이 선호하는 피부톤의 밝기는 ZONE IV에 해당하였다. 또한 인물사진 전체 장면과 메인 피사체의 콘트라스트 비율이 1:1.2를 나타내어 감상자가 아웃포커스 효과를 선호한다고 판단할 수 있었다. 이와 같은 결과를 통하여 일반 감상자들이 선호하는 디지털 이미지의 화질 재현 성능 범위를 수치화시킬 수 있었다. 또한 디지털 카메라의 개발자에게 감상자가 선호하는 실제 다이내믹 레인지, 컬러, 콘트라스트의 구체적인 정보 범위를 제공하여 제품 개발에 반영될 수 있기를 기대한다.

국제기준 및 산업환경 변화에 대응한 의료기기 제조기업 품질경영 평가모델 개발 (Development of the Model for Evaluation of Medical device manufacturer's Quality Management System against international standards and industry environment's change)

  • 윤도식
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제19권6호
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    • pp.382-390
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    • 2018
  • 본 연구에서는 국제기준 및 산업환경 변화에 따른 의료기기 품질경영 평가모델, 즉 의료기기 제조기업의 품질경영시스템의 인허가와 상시점검에 필요한 평가기준의 구성요소를 도출하고, 이를 평가도구로 의료기기 제조기업에 적용하여 실행수준의 평가 및 경영성과에 미치는 영향을 검증하였다. 본 연구에서는 선행연구 검토, 전문가 면담조사에 따라 예비항목을 마련하고, 기획, 실시, 점검, 조치 등 4개 영역의 요인으로 대분류 항목을 정의한 후, 각각의 평가계층과 평가항목을 구성하였으며, AHP에 의한 가중치와 중요도를 산출하였다. 그 결과, 기획 요인에서는 책임의 명확화와 품질관리 목표설정의 항목, 실시 요인에서는 개별제품을 중심으로 한 요구사항의 관리 및 설계 개발 프로세스의 관리에 관한 평가항목, 점검 요인에서는 정보의 측정 분석에 대한 관리항목, 조치 요인에서는 인증기준 및 법규, 규제에 대한 검토항목이 상대적으로 중요하게 나타났다. 이에 도출된 평가모델을 평가도구로 삼아 의료기기 제조기업에 적용함으로써, 품질경영 실행수준의 평가와 경영성과에 미치는 영향을 조사 분석하였다. 연구대상 의료기기 제조기업들은 비교적 양호한 수준의 품질경영 실행수준을 보이고 있고, 이를 통해 일정수준의 경영성과를 얻고 있는 것으로 나타났다. 또한, 각 요인과 평가계층들이 대부분 경영성과에 유의한 영향을 미치는 것으로 분석되었다. 특히 의료기기 품질경영시스템은 인허가 취득이 주목적이지만, 인허가와 직접적인 관련이 없는 경영환경적 요소들이 중요하며, 기업 내 외부에서 이러한 요소들이 연계성을 갖고 통합적으로 운영되는 것이 효과적이라는 점을 알 수 있었다.

국내산업 특수분류방법을 고려한 보안산업 분류방향 연구 (A Study on the Method of Security Industrial Classification through the Review of Industrial Special Classification)

  • 신은희;장항배
    • 한국전자거래학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.175-191
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    • 2017
  • 보안산업의 성장 및 산업간 영향 등을 평가하기 위한 경제적 통계 작성의 기본은 보안산업 범위의 설정과 함께 표준화된 산업분류를 작성하는 것으로 시작된다. 산업분류는 국제 및 국내의 표준화된 표준산업분류기준을 준수하고 이와 연계되도록 작성되어야 한다. 현재 보안과 관련된 제품과 서비스 분류, 기술 분류는 물론 정보보안, 물리보안, 융합보안의 대표적 분류들은, 산출물을 위한 생산 활동의 특성을 기본으로 하는 산업분류의 기준과 부합하지 않고, 다수의 융합보안 산업분류 연구 결과 역시 수요자 중심의 분류로 현재 국가에서 통계, 법, 정책 집행 등에서 공식적으로 사용하는 공급자 중심 분류와는 차이가 있다. 본 연구에서는 이를 위해 우리나라 및 국제적인 산업분류의 기준을 정리한 후 현재 보안에 대한 분류들이 이러한 기준에 부합한지를 우선 살펴보았다. 다음으로 보안산업과 같이 새롭게 형성되는 산업들의 분류 방향을 보기 위해 일부 국내 산업 특수분류 사례들과 유형을 검토한 후 이를 토대로 보안산업의 산업분류 기준 및 작성 방향에 대해 제안하였다.

하이브리드 SEM 시스템

  • 김용주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.109-110
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    • 2014
  • 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.

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