• Title/Summary/Keyword: 정밀 계측

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Error Correction Technique for Industrial Distance measurement (산업용 거리 계측기를 위한 오차 보정 기법)

  • Kim, Eun-Ju;Bae, Young-Chul
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.1412-1413
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    • 2008
  • 본 연구에서는 산업용 거리 계측기에서 정밀한 측정에 요구되는 오차 보정 기법을 제시하였다. 제시한 기법은 본 연구에서는 산업용 거리 계측기에서 보다 정밀한 측정을 위한 방법으로 측정하고자 하는 기법을 전원회로에서의 잡음, 공급 전원의 잡음, 공통모드에서의 잡음, 중간주파수에 섞여 있는 잡음 및 비교기에서의 오차 저감 기법을 제시하고자 한다.

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The development of Industrial Laser ranger Finder (산업용 레이저 거리 계측기 개발)

  • Bae, Young-Chul
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.07a
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    • pp.266-267
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    • 2007
  • 본 논문에서는 빛의 세기에 크게 영향을 받지 않고 정밀한 거리 계측과 측정 속도를 대폭 개선할 수 있는 산업용 레이저 거리 계측기를 개발하였다. 이를 위해 5m 단위의 거리 계측에는 비행 펄스 시간 방법을 사용하고, 1mm 단위의 계측에는 헤테로다인 방법을 적용하여, 장거리 계측이 가능하게 함과 동시에 측정 오차 1mm 이내, 측정 거리 1km 이내의 고정밀 거리 계측기를 제안하였다.

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Measurement of Thin Film Thickness of Patterned Samples Using Spectral Imaging Ellipsometry (분광결상 타원계측법을 이용한 패턴이 형성된 나노박막의 두께측정)

  • 제갈원;조용재;조현모;김현종;이윤우;김수현
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.21 no.6
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    • pp.15-21
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    • 2004
  • 반도체 제조산업과 나노, 바이오 산업의 비약적 발전에 따라 게이트 산화막(gate oxide)과 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 유전체 박막(dielectric film)의 두께는 수 $\mu\textrm{m}$에서 수 nm 에 이르기까지 다양할 뿐 아니라 얇아지고 있으며, 또한 이러한 박막들이 다층으로 복잡하게 적층된 다층 박막의 응용이 높아지는 추세이다. 따라서, 반도체 및 광통신 소자, 발광소자, 바이오 칩 어레이 등과 같은 나노박막을 이용하는 산업에서는 박막의 두께 측정을 더욱 정확하고, 보다 빠르며 효율적으로 측정할 수 있는 박막 두께 측정용 계측기가 요구된다.(중략)

Transformation of Measured Blasting Vibration Data to Vibration Level by Digital Filter (디지털 필터를 이용한 진동의 변환 연구)

  • Kim, Yong-Kuk;Kim, Sik;Lee, Sang-Eun;Yang, Hyung-Sik
    • Tunnel and Underground Space
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    • v.10 no.3
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    • pp.486-491
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    • 2000
  • Blasting vibrations velocity had been used to design blasting pattern and predict damage-possibility of structures. As vibration levels are currently required to estimate the damage concerning human-body and livestock, so measured vibration velocities must be transformed into vibration levels. In this study, the digital filter program was developed to transform measured data into vibration levels. Simple harmonic vibrations and measured data obtain by Blastmate series (Instantel Inc.) were applied to the digital filter program. As a result, simple harmonic vibrations and measured data were successfully transformed into vibration levels using the developed program. Measured data from any instrument with ASCII output-function will similarly be transformed into level units.

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Transformation of Measured Blasting Vibration Data to Vibration Level by Digital Filter (디지털 필터를 이용한 진동의 변환 연구)

  • Kim, Yong-Kuk;Kim, Sik;Lee, Sang-Eun;Yang, Hyung-Sik
    • Proceedings of the Korean Society for Rock Mechanics Conference
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    • 2000.09a
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    • pp.241-246
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    • 2000
  • Blasting vibrations velocity had been used to design blasting pattern and predict damage-possibility of structures. As vibration levels are currently required to estimate the damage concerning human-body and livestock, so measured vibration velocities must be transformed into vibration levels. In this study, the digital filter program was developed to transform measured data into vibration levels. Simple harmonic vibrations and measured data obtained by Blastmate series (Instantel Inc.) were applied to the digital filter program. As a result, simple harmonic vibrations and measured data were successfully transformed into vibration levels using the developed program. Measured data from any instrument with ASCII output-function will similarly be transformed into level units.

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A New Profilometry System for Precision Measurement of 3D Shape Using the Directional Magnification Control of a Laser Light Stripe (선모양을 한 레이저빔의 방향성 배율 확대를 이용한 정밀 형상측정 시스템)

  • Park, Seung-Kyu;Baik, Sung-Hoon;KIM, Cheol-Jung
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.14 no.5
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    • pp.60-65
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    • 1997
  • This paper proposes a profilometry system for precise surface contouring of 3D objects using a direc- tionally magnified image of a laser light stripe. The resolution of this system can be improved several times comparad with that of conventional systems without loss of spatial resolution and depth of measurement. A pair of cylindrical lens(a convex lens and a concave lens) are used for a directionally magnified image of a laser light stripe maintaining the same focal plane. Also, image processing procedures for image reconstruc- tions are described.

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