• 제목/요약/키워드: 정밀 계측

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산업용 거리 계측기를 위한 오차 보정 기법 (Error Correction Technique for Industrial Distance measurement)

  • 김은주;배영철
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
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    • pp.1412-1413
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    • 2008
  • 본 연구에서는 산업용 거리 계측기에서 정밀한 측정에 요구되는 오차 보정 기법을 제시하였다. 제시한 기법은 본 연구에서는 산업용 거리 계측기에서 보다 정밀한 측정을 위한 방법으로 측정하고자 하는 기법을 전원회로에서의 잡음, 공급 전원의 잡음, 공통모드에서의 잡음, 중간주파수에 섞여 있는 잡음 및 비교기에서의 오차 저감 기법을 제시하고자 한다.

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산업용 레이저 거리 계측기 개발 (The development of Industrial Laser ranger Finder)

  • 배영철
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.266-267
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    • 2007
  • 본 논문에서는 빛의 세기에 크게 영향을 받지 않고 정밀한 거리 계측과 측정 속도를 대폭 개선할 수 있는 산업용 레이저 거리 계측기를 개발하였다. 이를 위해 5m 단위의 거리 계측에는 비행 펄스 시간 방법을 사용하고, 1mm 단위의 계측에는 헤테로다인 방법을 적용하여, 장거리 계측이 가능하게 함과 동시에 측정 오차 1mm 이내, 측정 거리 1km 이내의 고정밀 거리 계측기를 제안하였다.

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분광결상 타원계측법을 이용한 패턴이 형성된 나노박막의 두께측정 (Measurement of Thin Film Thickness of Patterned Samples Using Spectral Imaging Ellipsometry)

  • 제갈원;조용재;조현모;김현종;이윤우;김수현
    • 한국정밀공학회지
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    • 제21권6호
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    • pp.15-21
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    • 2004
  • 반도체 제조산업과 나노, 바이오 산업의 비약적 발전에 따라 게이트 산화막(gate oxide)과 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 유전체 박막(dielectric film)의 두께는 수 $\mu\textrm{m}$에서 수 nm 에 이르기까지 다양할 뿐 아니라 얇아지고 있으며, 또한 이러한 박막들이 다층으로 복잡하게 적층된 다층 박막의 응용이 높아지는 추세이다. 따라서, 반도체 및 광통신 소자, 발광소자, 바이오 칩 어레이 등과 같은 나노박막을 이용하는 산업에서는 박막의 두께 측정을 더욱 정확하고, 보다 빠르며 효율적으로 측정할 수 있는 박막 두께 측정용 계측기가 요구된다.(중략)

디지털 필터를 이용한 진동의 변환 연구 (Transformation of Measured Blasting Vibration Data to Vibration Level by Digital Filter)

  • 김용국;김식;이상은;양형식
    • 터널과지하공간
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    • 제10권3호
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    • pp.486-491
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    • 2000
  • 발파 진동은 보통 지반진동속도로 계측되며, 발파설계나 구조물의 피해 산정에 적절하게 사용된다. 그러나 발파 진동에 의한 인체의 반응이나 가축의 피해 산정 등의 문제에서는 현행 소음진동규제법에서 명시하는 바, 인체의 감각적 감응척도에 충실한 진동레벨을 주로 사용하므로 변환문제가 발생한다. 본 연구에서는 발파 진동 계측기기로 계측한 데이터를 디지털 필터로 처리하여, 진동레벨로 변환하는 프로그램을 개발하고, 이를 단순조화진동과 실제 발파계측결과에 적용하였다. 그 결과, 단순조화진동은 물론이고 국내에서 널리 사용되고 있는 Instantel Inc.의 Blastmate series에서 계측된 진동데이터도 정밀도 높은 진동레벨로 변환이 가능하였다. 비슷한 정밀도로 계측결과를 ASCII file로 송출할 수 있는 기종에서 계측된 자료도 같은 정도로 처리할 수 있을 것으로 판정되었다.

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디지털 필터를 이용한 진동의 변환 연구 (Transformation of Measured Blasting Vibration Data to Vibration Level by Digital Filter)

  • 김용국;김식;이상은;양형식
    • 한국암반공학회:학술대회논문집
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    • 한국암반공학회 2000년도 암반공학문제의 수치해석(Numerical Analysis in Rock Engineering Problems)
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    • pp.241-246
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    • 2000
  • 발파 진동은 보통 지반진동속도로 계측되며, 발파설계나 구조물의 피해 산정에 적절하게 사용된다. 그러나 발파 진동에 의한 인체의 반응이나 가축의 피해 산정 등의 문제에서는 현행 소음진동규제법에서 명시하는 바, 인체의 감각적 감응척도에 충실한 진동레벨을 주로 사용하므로 변환문제가 발생한다. 본 연구에서는 발파 진동 계측기기로 계측한 데이터를 디지털 필터로 처리하여, 진동레벨로 변환하는 프로그램을 개발하고, 이를 단순조화진동과 실제 발파계측결과에 적용하였다. 그 결과, 단순조화진동은 물론이고 국내에서 널리 사용되고 있는 Instantel Inc.의 Blastmate series에서 계측된 진동데이터도 정밀도 높은 진동레벨로 변환이 가능하였다. 비슷한 정밀도로 계측결과를 ASCII file로 송출할 수 있는 기종에서 계측된 자료도 같은 정도로 처리할 수 있을 것으로 판정되었다

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선모양을 한 레이저빔의 방향성 배율 확대를 이용한 정밀 형상측정 시스템 (A New Profilometry System for Precision Measurement of 3D Shape Using the Directional Magnification Control of a Laser Light Stripe)

  • 박승규;백성훈;김철중
    • 한국정밀공학회지
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    • 제14권5호
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    • pp.60-65
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    • 1997
  • This paper proposes a profilometry system for precise surface contouring of 3D objects using a direc- tionally magnified image of a laser light stripe. The resolution of this system can be improved several times comparad with that of conventional systems without loss of spatial resolution and depth of measurement. A pair of cylindrical lens(a convex lens and a concave lens) are used for a directionally magnified image of a laser light stripe maintaining the same focal plane. Also, image processing procedures for image reconstruc- tions are described.

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