• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
• /
• 2009.06a
• /
• pp.29-29
• /
• 2009

현재 고집적 비휘발성 메모리 소자로는 MRAM (Magnetic Random Access Memory)과 PRAM (Phase Magnetic Random Access Memory)이 활발하게 미국과 일본, 한국 등에서 다양한 연구가 진행되어 오고 있다. 이 중에서 MRAM은 DRAM과 비슷한 10 ns의 빠른 읽기/쓰기 속도와 비휘발성 특성을 가지고 있으며, 전하를 저장할 커패시터가 필요 없고, 두 개의 자성충에 약 10 mA 정도의 전류를 가하면 그때 발생하는 약 10 Oe의 자장을 개개의 비트를 write하고, read 시에는 각 비트의 자기저항을 측정함으로써 데이터를 저장하고 읽을 있으므로, 고집적화가 가능성하다 [1]. 현재 우수한 박막 재료가 개발 되었으나, 고집적 MRAM 소자의 양산에는 해결 하여야 하는 문제점이 있다. 특히 다층 박막으로 구성되어 있으므로 식각 공정의 개발이 필수적이다. 지금까지 MRAM 재료의 식각은 주로 Ion milling, ICP, ECR등의 플라즈마 장치를 되었고, 식각 가스로는 할로겐 기체와 금속카보닐 형성을 위한 Co/$NH_3$와 $Ch_3OH$ 기체가 이용되고 있다. 그러나 할로겐 계열의 기체를 사용할 경우, 식각 부산물들의 높은 끓는점 때문에 식각 부산물이 박막의 표면에서 열적 탈착에 의하여 제거되지 않기 때문에 높은 에너지를 가지는 이온의 도움에 의한 식각이 필요하다. 또한 Cl 계열의 기체를 사용할 경우, 식각 공정 후, 시료가 대기에 노출되면 대기 중의 수분과 식각 부산물이 결합하여 부식 현상이 발생하게 된다. 그러므로 이를 방지하기 위한 추가 공정이 요구된다. 최근에는 부식 현상이 없고, MTJ 상부에 사용되는 Ta 또는 Ti Hard mask와의 높은 선택비를 가지는 $CH_3OH$ 또는 CO/$NH_3$가 사용되고 있다. 하부 박막에 따른 식각 특성에 연구와 다층의 박막의 식각 공정에 발생에 관한 발표는 거의 없다. MRAM을 양산에 적용하기 위하여서는 Main etch 공정에서 빠른 식각 공정이 필요하고, Over etch 공정에서 하부박막에 대한 높은 선택비가 요구된다. 그러므로 본 논문에서는 식각 변수에 따른 플라즈마 측정과 표면 반응을 비교하여 각 공정의 식각 메커니즘을 규명하고, Main Etch 공정에서는 $Cl_2$/Ar 또는 $BCl_3$/Ar 가스를 이용하여 식각 실험을 수행하고, Over etch 공정에는 낮은 Ta 박막 식각 속도를 가지는 $Ch_4/O_2$/Ar 또는 $Ch_3OH$/Ar 가스를 이용하고자 한다. 플라즈마 내의 식각종과 Ta 박막과의 반응을 XPS와 AES를 이용하여 분석하고, 식각 공정 변수에 따른 식각 속도, 식각 선택비와 식각 프로파일 변화를 SEM을 이용하여 관찰한다.

• Magazine of the Korea Concrete Institute
• /
• v.10 no.6
• /
• pp.281-289
• /
• 1998

This study has been performed to test the flowability and filling ability of high flowing concrete as well as distribution of aggregate and pore of core specimen, heat of hydration, compressive strength and core strength of concrete. In addition, the resistance to chloride ion penetration and chemical solutionof concrete was tested in order to evaluate the resistance to sea water of concrete and its application of high flowing concrete using blended low heat cement in the field of Seohae Grand Bridge. The properties of high flowing concrete with blended low heat cement were compared with ordinary 25-240-15 concrete using Type V cement. As the results of this study, the flowability and filling ability of high flowing concrete with blended low heat cement is satisfied without vibration. Though the cement content of high flowing concrete with blended low heat cement was 400kg/m$^2$, the rising temperature of it was relatively lower than that of the ordinary 25-240-15 concrete with Type V cement. Also, the compressive of high flowing concrete with blended low heat cement is similar to that of the ordinary 25-240-15 concrete with Type V cement.

• Korean Journal of Weed Science
• /
• v.14 no.4
• /
• pp.298-313
• /
• 1994

Residue of herbicide napropamide [N,N-dimethyl-2-(1-napthoxy)-propionamide] and change of micro-organism were investigated in upland soil under different environmental conditions. Half-lives of degradation were 28.3 days in the sterile soil and 14.6 days in the nonsterile soil, respectively. These results suggest that microorganism remarkably affected the decomposition of napropamide. Napropamide was rapidly degraded in order of 60% > 80% ${\geq}$ 40% soil moisture content of field water-holding capacity. Numbers of bacteria and total microbes in 60% moisture content was more than those in 40% moisture content. The more the napropamide degradation was rapid in lower soil pH. The total number of microorganism increased by lapse of time after treatment of napropamide at pH 5.5. The decomposition rate of napropamide was rapid in the order of $27^{\circ}C$ > $37^{\circ}C$ > $17^{\circ}C$. At $17^{\circ}C$ of soil temperature actinomycetes in napropamide treatment plot was more than these in nontreatment plot and also at $27^{\circ}C$ and $37^{\circ}C$ bacteria in napropamide treatment plot was more than those in nontreatment plot. Napropamide degradation was more rapid and number of microorganism was more abundant at the concentration of 10ppm than at that of 20ppm. The half-life of napropamide was longer in the clay loam soil than in the silty loam soil. The half times in laboratory test than in upland field. Numbers of microbes in the experiment under all the test environmental condition was not significantly different between treatment and nontreatment of napropamide.

• Journal of the Korean Chemical Society
• /
• v.46 no.4
• /
• pp.353-363
• /
• 2002

In this study, characteristics of the problem solving process of the balancing redox equations was ana-lyzed by mental capacity and problem solving methods, and the pertinent teaching and learning guidance for oxidation-reduction unit was suggested. Participants were 79 senior high school students and 57 science high school students. Tests were conducted to measure the mental capacity, the understanding of the oxidation-reduction concepts and the com-pletion of the balancing redox equations. The framework was made to find the patterns of failure and success. As the analysis of the influence on the performance of mental capacity,understanding of the oxidation-reduction concepts, and problem solving methods, students who had lower understanding of oxidation-reduction concepts selected the trial and error method, and their performance were influenced by mental capacity. The students that had higher understanding of the oxidation-reduction concepts had good performance by using oxidation number method regardless of their mental capacity. As the results of analysis for the patterns, the success patterns of solving the problems, those of mostly the sci-ence high school students, were the cases of using oxidation number method well and lessening problem solving steps. The patterns of failure in solving problems by using trial and error method showed that students had mistakes in cal-culating, errors in making unknown equations, no consideration for all variables, or stopped solving the complicated problems. The patterns of failure in solving problems by using oxidation number method showed that many students had wrong oxidation number or no consideration for mass and charge balance.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2013.02a
• /
• pp.210-210
• /
• 2013

그래핀은 뛰어난 기계적, 화학적, 광학적, 전기적 특성을 가지고 있는 2차원 물질로, 대면적 합성법과 전사 공정을 통해 다양한 기판에서의 사용이 가능해지면서 차세대 전자 소자로 활용하기위한 활발한 연구가 이루어지고 있다. 디스플레이, 태양전지의 전극과 전계 효과 트랜지스터의 채널로 적용한 연구에서 우수한 결과들을 보이고 있다. 특히, 금속/금속 산화물 전극은 염료 감응형 태양전지와 유기 발광 다이오드 구조에서 화학적으로 불안정할 뿐 아니라 일함수가 고정되어 쇼트키 접촉이 형성되면 저항을 낮추기 어렵지만, 그래핀은 금속/금속 산화물 전극보다 화학적으로 안정하고 일함수의 조절이 가능해 옴 접촉 형성에 용이하다. 그래핀의 일함수를 조절하는 연구는 크게 공유결합과 비공유 결합을 이용한 방법이 시도된다. 공유 결합을 이용한 방법은 합성과정에서 그래핀의 구조에 내재된 결함 혹은 새로운 결함을 형성하여 다른 원소를 첨가하는 방법이다. 이러한 방법은 그래핀의 결함 영역에서 작용하기 때문에 그래핀 전자 구조의 높은 수준 조절을 위해선 그래핀 구조의 파괴가 동반된다. 반면, 비공유 결합을 이용한 방법은 전하 이동 도핑 효과를 이용해 그래핀의 전자 구조를 제어하는 방법으로, 금속/금속산화물/기능기와 그래핀의 적층으로 복합 구조를 형성하는 방법이다. 금속/금속 산화물과의 복합구조는 안정적인 p-형 도핑이 보고되었지만, n-형 도핑은 대기중의 수분, 산소 그리고 기판과의 상호작용에 의해 대기중에서 불안정해 추가적인 피막공정이 요구된다. 기능기를 이용한 적층 구조는 그래핀과 기판사이의 상호작용 혹은 그래핀 전자 구조를 다양한 기능기를 이용해 제어하는 것으로, 이극성을 가진 자기정렬 단일층(self-assembled monolayers)이 대표적인 방법이다. 공간기(spacer)의 길이나 말단기(end group)의 종류로 p-형과 n-형의 도핑 수준을 제어할 수 있지만, 흡착기(chemisorbing groups)의 반응성이 기판의 화학적, 물리적 표면상태에 의존하기때문에 기판 선택이 제약되며 전처리 공정이 요구될 수 있는 한계가 있다. 본 연구에서는 다양한 기판에 적용가능한 용액 공정을 이용해 그래핀과 고분자를 적층하였고, 안정적이고 효과적으로 일함수를 낮추는 구조를 확인하였다.

• Journal of the Korean Chemical Society
• /
• v.37 no.1
• /
• pp.22-35
• /
• 1993

The transport phenomena of the free amino acids through poly(hydroxyethyl methacrylate)[P(HEMA)] have been investigated with and without various kinds of surfactants solution and in the mixed surfactants solution. Glutamine has the highest diffusivity among 4 amino acids at 1CMC of cetyldimethylethylammonium bromide(CTABr) surfactant. Glutamic acid is not affected by the concentration of CTABr. Methionine and Lysine shows slight decreased diffusivity at 0.5 CMC, but increase its diffusivity at 1CMC and 2CMC due to the structure change of membrane and the viscosity change of surfactant solution. Glutamic acid has the highest diffusivity among four amino acids at sodium dodecyl sulfate(SDS) and Triton X-100 surfactant. In mixed surfactant solution, each amino acids shows high diffusivity through 45% water content membrane at the 0.5 mole fraction of SDS in the SDS/TX-100 surfactant mixtures. It has been found that not only the property of membrane but also the effects of solute-solvent interactions and solvent effect are very important as the permeation of amino acids occurs through P(HEMA) membrane. The diffusivities of free amino acids through membrane depend upon their molecular shape, size and charge.

• The Korean Journal of Pesticide Science
• /
• v.11 no.3
• /
• pp.131-137
• /
• 2007

CoMFA and CoMSIA model were derived and reviewed on the insecticidal activities of N-substituents (X) on the imidazol ring in imidacloprid analogues at the different alignment condition. Regarding the predictability ($q^2$ or $r_{cv.}^2$) and fitness ($r_{ncv.}^2$) of the two optimized models, the atom based fit (A) alignments were better than that of the field fit (F) alignment and, on the other hand, CoMSIA (A10) model was better than CoMFA (A5) model. Also, from the most optimized CoMSIA (A10) model, the insecticidal activity by N-substituents (X) was dependence on the electrostatic field and H-bond acceptor field. It is predicted that, from the contour maps with optimized CoMSIA (A10) model, H-bond acceptors at ortho- and meta- position will contribute for improving of insecticidal activities and, as the functional groups of carbonyl oxygen atom are charged negatively and positively charged at the ortho- position of benzyl group, insecticidal activities will also be improved.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2013.08a
• /
• pp.151-151
• /
• 2013

무기물 기반, Si-based 태양전지에 비해 가볍고 저렴하다는 관점에서 유기태양전지에 대한 연구가 진행되고 있다. 유기태양전지는 Si-based 태양전지에 비해 그 효율이 낮다는 점이 문제로 제기되어 왔지만, 억셉터와 도너의 nanocomposite 구조인 bulk-heterojunction (BHJ) 구조가 개발이 되면서 유기물의 짧은 엑시톤(exciton) 거리를 극복할 수 있게 되어 그 효율이 비약적으로 증가되는 결과를 낳았다. 또한 넓은 범위의 파장을 흡수 할 수 있는 작은 band-gap을 갖는 물질이 개발됨으로써 유기 태양전지의 효율은 점차 증가하고 있다. 최근에는 독일 회사인 Heliatek에서 12%가 넘는 유기태양전지를 발표함으로써 유기태양전지가 Si-based 태양전지를 대체할 수 있는 차세대 에너지 공급원으로의 가능성을 충분히 보였다. 이런 유기 태양전지는 하부 투명전극인 인듐주석산화물(ITO)/정공이동층(PEDOT:PSS)/광흡수층/전자이동층(LiF)/낮은 일함수를 갖는 상부전극인 Al 구조의 일반적인 구조; ITO/전자이동층/광흡수층/정공이동층/높은 일함수를 갖는 상부전극(Ag), 전하의 이동방향이 반대인 역구조 태양전지, 두 가지로 분류할 수 있다. 하지만 소자 안정성의 관점에서 일반적인 구조의 태양전지는 ITO/PEDOT:PSS 계면에서의 화학적 불안정성과, 낮을 일함수를 갖는 상부전극이 쉽게 산화되는 등의 문제가 있어 상부전극으로 높은 일함수를 갖는 전극을 사용하는 역구조 태양전지가 더 유리하다. 이러한 역구조 태양전지에서 효율을 높일 수 있는 요인 중 하나는 전자이동층에 있다. 광흡수층에서 형성되어 분리된 전자가 전극으로 이동하기위해서는 전자이동층을 거쳐야 한다. 하지만 이 전자이동층 내에서의 전자 이동속도가 느리다면, 즉 저항이 크다면 광흡수증과의 계면에서 Back electron trasnfer현상으로 재결합이 일어나게 되어 전극으로 도달하는 전자의 양이 줄어들게 되고, 이는 유기태양전지 효율을 낮추는 요인이 된다. 전자이동층 자체의 저항뿐만 아니라, 전자이동층의 표면 거칠기(morphology) 또한 유기 태양전지의 효율을 좌우하는 요인 중 하나이다. 광흡수층과 전자이동층의 계면에서 전자의 이동이 일어나는데, 전자이동층의 표면 거칠기가 크게되면 그 위에 박막으로 형성되는 광흡수층과의 계면저항이 증가하게 되고, 이는 광흡수층에서 전자이동층으로의 원활한 전자이동을 저해함으로써 소자 효율의 감소를 일으키게 된다. 따라서 우리는 전자이동층인 ZnO 박막의 스퍼터링 조건을 변화시킴으로써 ZnO 층의 두께에 따른 광투과도, 전기전도성 변화 및 유기태양전지의 효율변화와, 표면 거칠기에 따른 광변환 효율 변화를 관찰하고자 한다.

• Sijohaknonchong
• /
• v.43
• /
• pp.5-39
• /
• 2015

Shijo (Korean poetic form) is a representative literature genre of a short poem among the literary works of Korea in the late Chosen Dynasty. The format of Sijo is Normal-Shijo in the form of 3 verses, 6 sections and 12 sound, and the lyrics of one Normal-Shijo has within or without 45 words. But Saseol-sijo, a type of Sijo, there is a work that has more than 100 letters due to the number of lyrics were a lot increased. Among those Saseol-sijo there is a work with 'solemn and elegant feeling' borrowing some verses even from Chinese poem, using a lot of Chinese vocabulary, but there are a lot of works with 'salacious and explicit contents'. Literary work, Shijo, is used for lyrics of vocal music as Gagok (a genre of Korean vocal music for mixed female and male voices) and Sijochang, however, there are many cases that the same Sijo poem is used as lyrics of Gagok and Shijo. But those music that use Saseol-sijo as lyrics among Gagok, the vocal music, are mainly songs with 'solemn feeling' rather than 'salacious work'. This study looked into the reason why the Saseol-sijo with 'salacious and explicit contents' are hard to be used as lyrics in Gagok, confirming the fact that most music singing Saseol-sijo among Gagok that are being handed down till now use lyrics with 'solemn and elegant feeling'. The most important thing among those reasons seems to be irregularly increasing lyrics, and in accordance with accompaniment. Gagok accompanys a number of instruments the fixed melody recorded and delivered in score. So it's almost impossible to play unless it depends on the steadily made song melody and accompaniment melody according to the chosen lyrics in advanced. Also, appreciation of literary works is usually made privately through a private reading activity, but Gagok is conducted through public performance in an open space for many people. Especially, it would have been hard to sing a salacious and explicit song gathered together with men and women of different social status in social system and custom of the late of Chosen Dynasty. This study confirmed the fact that folksy and popular character that was praised for literary characteristic of Saseol-sijo can't be easily found from Saseol-sijo that was called Gagok.

• Radiation Oncology Journal
• /
• v.21 no.3
• /
• pp.183-191
• /
• 2003

Purpose: To suggest the optimal radiation fields after a surgical resection based on a nationwide survey on the principles of radiotherapy for rectal cancer in the Korean Patterns on Care Study. Materials and method: A consensus committee, composed of radiation oncologists from 18 hospitals in Seoul Metropolitan area, developed a survey format to analyze radiation oncologist's treatment principles for rectal cancer after a surgical resection. The survey format included 19 questions on the principles of defining field margins, and was sent to the radiation oncologists in charge of gastrointestinal malignancies in all korean hospitals (48 hospitals). Thirty three ($69\%$) oncologists replied. On the basis of the replies and literature review, the committee developed guidelines for the optimal radiation fields nor rectal cancer Results: The following guidelines were developed: superior border between the lower tip on the L5 vertebral body and upper sacroiliac joint; inferior border $2\~3$ cm distal to the anastomosis in patient whose sphincter was saved, and $2\~3$ cm distal to the perineal scar In patients whose anal sphincter was sacrificed; anterior margin at the posterior lip of the symphysis pubis or $2\~3$ cm anterior to the vertebral body, to include the internal iliac lymph node and posterior margin $1.5\~2$ cm posterior to the anterior surface of the surface, to include the presacral space with enough margin. Comparison with the guidelines, the replies on the superior margin coincided in 23 cases ($70\%$), the inferior margin after sphincter saving surgery in 13 ($39\%$), the inferior margin after adbominoperineal resection in 32 ($97\%$), the lateral margin in 32 ($97\%$), the posterior margins in 32 ($97\%$) and the anterior margin in 16 ($45\%$). Conclusion: These recommendations should be tailored to each patient according to the clinical characteristics such as tumor location, pathological and operative findings, for the optimal treatment. The adequacy of these guidelines should be proved be following the Korean Patterns of Care Study.