• Title/Summary/Keyword: 전자빔 공정

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Hydrophilic Modification of Porous Polyvinylidene Fluoride Membrane by Pre-irradiating Electron Beam (전자빔 전조사를 이용한 Polyvinylidene Fluoride 다공막의 친수화 개질)

  • Choi, Yong-Jin;Lee, Sung-Won;Seo, Bong-Kuk;Kim, Min
    • Membrane Journal
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    • v.21 no.2
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    • pp.118-126
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    • 2011
  • A method of light pre-irradiation, one of methods modifying hydrophobic surface to hydrophilic surface in a membrane, was proposed to overcome the drawback of previous methods such as blending, chemical treatment and post-irradiation, Process of membrane preparation in the study was comprised of 4 parts as follows: firstly process of precursor preparation to introduce hydrophilic nature under atmosphere and aqueous vapor by irradiating electron beam (EB), secondly process of dope solution preparation to cast on non-woven fabrics, thirdly process of casting to prepare membrane and finally process of coagulation in non-solvent to form porous structure. The merit of this method might show simple process as well as homogenous modification compared to previous methods. To carry it out, precursor was prepared by irradiating EB to powder PVDF at 75~125 K Gray dose. Precursor prepared was analyzed by FTIR, EDS and DSC to confirm the introduction of hydrophilic function and its mechanism. From their results, it was inferred I conformed that hydrophilic function was hydroxy1 and it was introduced by dehydrozenation. Hydrophilicity of membranes prepared was evaluated by contact angle (pristine PVDF : $62^{\circ}$, 125 K Gray-PVDF$13^{\circ}$). Porosity was evaluated by mercury intrusion method, simultaneously morpholoy and surface pore size were observed by SEM phothographs. The result showed the trend that more dose of EB led to smaller pore size and to lower porosity (pristine PVDF : 82%, 125 K Gray-PVDF : 63%). Trend of water permeability was similar to result above (pristine PVDF : 892 LMH, 125 K Gray-PVDF : 355 LMH).

Preliminary Study on Pre-Heating Process of Stellite21 Powder Using Electron Beam (전자빔을 이용한 Stellite21 분말 예열공정에 관한 기초 연구)

  • Lee, Ho-Jin;Song, Jae-Guk;Kim, Jin-Suk;Ahn, Dong-Gyu
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.33 no.5
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    • pp.419-425
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    • 2016
  • A powder spreading phenomenon is one of disadvantageous characteristics of the powder bed fusion process using electron beams. The powder spreading phenomenon can be controlled using a pre-heating process of metallic powders. The aim of this paper was to investigate the preheating process of Stellite21 powder using electron beams. Powder spreading experiments were performed to examine the influence of process parameters on the spreading behaviors of Stellite21 powder. Powder heating experiments were carried to investigate the effects of the focusing current of the electron beam on the quality of the heated region. Using the results of the powder spreading and heating experiments, an appropriate combination of process parameters was obtained. The pre-heating experiment of Stellite21 was performed using the estimated combination of process parameters. The results of preheating experiments showed that the preheated Stelllite21 layer with desired characteristics can be created when the estimated combination of process parameters is applied.

고분자 소재의 표면보호를 위한 DLC 코팅 기술

  • Yang, Ji-Hun;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.265-265
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    • 2010
  • 고분자 소재(polycarbonate; PC)의 표면을 보호하고 광학적 특성을 유지하기 위해 산화물 다층 박막과 비정질 탄소 박막(diamond-like carbon; DLC)을 전자빔 증착(e-beam evaporation)과 이온빔 증착(ion-beam deposition)을 이용하여 고분자 소재에 코팅하였다. 전자빔 증착으로 코팅된 실리콘과 티타늄 산화물 다층 박막은 소재 표면에서 가시광선의 반사율을 낮추는 효과를 가지고 있어 다양한 광학 코팅분야에서 이용되고 있다. 비정질 탄소 박막은 경도가 높고 마찰계수가 낮기 때문에 기계부품의 수명향상을 향상하기 위해 주로 사용되며, 본 연구에서는 고분자 소재의 최상층에 코팅하여 보호막으로 이용하였다. 고분자 윈도우에 산화물 다층 박막을 코팅하면 코팅되지 않은 기판과 비교하여 투과율이 향상되었으며 보호막으로 코팅된 비정질 탄소 박막에 의해서 일어나는 투과율 저하를 부분적으로 상쇄하는 효과를 보였다. 산화물 다층 박막의 수는 광학 분야에서는 주로 5-7층을 이용하지만 고분자 소재는 코팅 공정이 길어지면 열 변형이 일어날 수 있기 때문에 산화막의 층수를 낮추는데 초점이 맞춰졌다. 5층과 3층으로 코팅된 산화물 박막 모두 투과율이 향상되었으며 3층에 비해서 5층의 투과율 향상효과가 큰 것으로 나타났다. 고분자 소재의 투과율은 평균 약 90%이었으며 산화물 다층 박막과 비정질 탄소 박막을 코팅한 후 투과율이 약 81%로 측정되었다. 비정질 탄소 박막과 산화물 다층 박막을 적절하게 설계하고 코팅한다면 고분자 소재의 보호막으로 이용될 수 있을 것으로 판단된다.

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A Study on the Thermal Shock Resistance of Sintered Zirconia for Electron Beam Deposition (전자빔 증착을 위한 소결체 지르코니아의 열충격 저항성 연구)

  • Oh, Yoonsuk;Han, Yoonsoo;Chae, Jungmin;Kim, Seongwon;Lee, Sungmin;Kim, Hyungtae;Ahn, Jongkee;Kim, Taehyung;Kim, Donghoon
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • v.19 no.3
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    • pp.83-88
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    • 2015
  • Coating materials used in the electron beam (EB) deposition method, which is being studied as one of the fabrication methods of thermal barrier coating, are exposed to high power electron beam at focused area during the EB deposition. Therefore the coating source for EB process is needed to form as ingot with appropriate density and microstructure to sustain their shape and stable melts status during EB deposition. In this study, we tried to find the optimum powder condition for fabrication of ingot of 8 wt% yttria stabilized zirconia which can be used for EB irradiation. It seems that the ingot, which is fabricated through bi-modal type initial powder mixture which consists of tens of micro and nano size particles, was shown better performance than the ingot which is fabricated using monolithic nanoscale powder when exposed to high power EB.

Development of a Monte Carlo Simulator for Electron Beam Lithography in Multi-Layer Resists and Multi-Layer Substrates (다층 리지스트 다층 기판 구조에서의 전자빔 리소그래피 공정을 위한 몬테카를로 시뮬레이터의 개발)

  • 손명식;이진구;황호정
    • Proceedings of the IEEK Conference
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    • 2002.06b
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    • pp.53-56
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    • 2002
  • We have developed a Monte Carlo (MC) simulator for electron beam lithography in multi-layer resists and multi-layer substrates in order to fabricate and develop high-speed PHEMT devices for millimeter- wave applications. For the deposited energy calculation to multi-layer resists by electron beam in MC simulation, we modeled newly for multi-layer resists and heterogeneous multi-layer substrates. Using this model, we simulated T-gate or r-gate fabrication process in PHEMT device and showed our results with SEM observations.

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수십 MeV 양성자빔을 이용한 금속나노입자 제조 기술 및 장치

  • Kim, Gye-Ryeong;Jeong, Myeong-Hwan;Na, Se-Jin
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.493-494
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    • 2011
  • 수 MeV~수십 MeV 양성자빔을 이용해 백금, 은 등의 나노입자 제조실험을 수행하였다. 나노 입자는 의료분야와 산업 분야에서 그 응용성이 다양해 여러 지 방법을 이용한 제조기술이 개발되고 있다. 전자빔, 감마선, 양성자빔 등의 방사선을 이용한 나노입자 제조방법은 가장 널리 이용되고 있는 화학적 제조방법에 비해 비교적 공정이 단순하다는 장점을 가지고 있지만 공정 변수의 제어방법이 확립되어 있지 않아 이에 대한 연구가 필요한 실정이다. 특히, 양성자빔의 경우 에너지에 따른 투과깊이의 조절과 플럭스나 총 선량, LET (Linear Energy Transfer) 등의 변수와 제조된 나노입자의 상관관계 등에 대한 연구가 선행되어야 한다. 본 논문에서는 백금산 용액을 이용한 나노입자 제조 결과와 대면적 양성자빔을 이용하기 위한 초음파 이용 나노입자제조장치의 제작 및 실험결과에 대해 논하고 향후 건설될 100MeV 선형 양성자가속장치의 나노입자 제조실험에의 응용을 위한 이용시설을 소개하고자 한다. 나노입자 제조실험은 한국원자력의학원의 MC-50 싸이클로트론을 이용하여 수행하였으며, 가속기로부터 인출되는 에너지는 35, 45MeV, 빔전류는 수십 nA~수${\mu}A$의 범위 내에서 조절하였다. 제조된 나노입자는 TEM을 이용하여 그 크기와 분포를 관찰하였다. 대면적의 양성자빔을 이용하는 경우, 수mm의 두께와 수십 cm의 직경을 가지는 원반 모양의 시료용기를 사용하여 양성자빔의 에너지와 선량을 정확히 조절할 수 있게 되는데 이 때 용기 내 시료와 양성자빔간의 균일한 반응을 위해 용액을 적절하게 섞어 주어야만 한다. 이러한 목적으로 초음파를 이용하여 나노입자 제조장치를 제작하여 실험을 수행하였다. 나노입자 제조는 현재 교과부의 지원으로 경주 건천지역에 건설되고 있는 100MeV 선형양성자가속기의 주요 이용 분야 중의 하나로 20MeV 빔라인 중 한 개의 빔라인과 표적실을 나노입자 제조 등의 실험을 위한 시설로 구축 중이다. 최대 평균전류 1.6mA 까지 가능하고 펄스폭은 0.05~1.33 msec까지 조절가능하도록 개발되고 있다.

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An ASIC implementation of a Dual Channel Acoustic Beamforming for MEMS microphone in 0.18㎛ CMOS technology (0.18㎛ CMOS 공정을 이용한 MEMS 마이크로폰용 이중 채널 음성 빔포밍 ASIC 설계)

  • Jang, Young-Jong;Lee, Jea-Hack;Kim, Dong-Sun;Hwang, Tae-ho
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.13 no.5
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    • pp.949-958
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    • 2018
  • A voice recognition control system is a system for controlling a peripheral device by recognizing a voice. Recently, a voice recognition control system have been applied not only to smart devices but also to various environments ranging from IoT(: Internet of Things), robots, and vehicles. In such a voice recognition control system, the recognition rate is lowered due to the ambient noise in addition to the voice of the user. In this paper, we propose a dual channel acoustic beamforming hardware architecture for MEMS(: Microelectromechanical Systems) microphones to eliminate ambient noise in addition to user's voice. And the proposed hardware architecture is designed as ASIC(: Application-Specific Integrated Circuit) using TowerJazz $0.18{\mu}m$ CMOS(: Complementary Metal-Oxide Semiconductor) technology. The designed dual channel acoustic beamforming ASIC has a die size of $48mm^2$, and the directivity index of the user's voice were measured to be 4.233㏈.

The Effects of Hydroxyl Radical Generation by Means of the Addition of $H_2O_2$ and $Fe^{3+}-EDTA$ in the Electron-beam Process (전자빔 공정에서 $H_2O_2$$Fe^{3+}-EDTA$의 첨가가 수산화라디칼 생성에 미치는 영향)

  • Kwon, Bumgun;Kwon, Joongkuen;Kim, Jongoh
    • Journal of the Korean GEO-environmental Society
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    • v.13 no.10
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    • pp.69-76
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    • 2012
  • This study focuses both on the quantitative measurement of hydroxyl radicals formed by an electron beam (E-beam) process and on the decomposition of pentachlorophenol(PCP) in the presence of $H_2O_2$ and $Fe^{3+}-EDTA$ as additives. To attain this objective, the quantitative measurement of hydroxyl radical was performed with the hydroylation of benzoic acid (BA), producing hydroxybenzoic acid (OHBA). As a result, the concentrations of hydroxyl radical measured were lower than those of hydroxyl radical predicted. Probably, it indicates that the reactive species generated during E-beam irradiation are able to scavenge the hydroxyl radicals. In particular, the degradation of PCP was promoted by the addition of $H_2O_2$ (< 1mM). On the other hand, its degradation as well as the generation of chloride ions as a by-product was inhibited by the addition of $H_2O_2$ (> 1mM), and thus carbon yield(%) of oxalic acid as a by-product was increased. During E-beam irradiation the addition of $Fe^{3+}-EDTA$ effectively decomposed the PCP, thus increasing the G-values. Considering the formation of OHBA and the decomposition of PCP, these results suggest that the addition of $Fe^{3+}-EDTA$ in the E-beam process can produce the further hydroxyl radicals and enhance the efficiency of PCP decomposition at low dose.

Removal Characteristics of BTEX Using Electron Beam (전자빔을 이용한 BTEX의 제거특성)

  • 김조천;이승기;조성용;소철호;이강웅;김기준
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2000.11a
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    • pp.253-254
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    • 2000
  • 휘발성 유기화합물(Volatile Organic Compounds; VOCs)은 용제를 사용하는 도장공정, 석유화학공정 등 각종 산업공정과 자동차로부터 배출되어 대기중에 광화학 산화물 형성에 관여하거나 그 자체로 발암성을 나타내는 물질로 인간 건강에 악영향을 미치며, 또한 온실가스의 역할을 하는 것으로 알려졌다. 특히 BTEX는 산업공정에서 많이 사용되는 물질로서 반드시 처리되어야 할 규제대상물질이다. 이러한 VOCs를 처리하는 기존의 방법들로는 열적산화, 촉매산화, 활성탄 흡착법, 흡수법 등 여러 방법들이 있으나, 이러한 처리방법들은 가열이 필요하거나 흡착제 재생의 필요 같은 문제점들이 있고 또한 VOCs가 대용량으로 배출될 경우 많은 어려움이 있다. (중략)

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