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Thermal Chemical Vapor Deposition법으로 성장된 MoS2 박막의 물리적 특성 분석

  • 추동일;이동욱;김은규
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.376.1-376.1
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    • 2014
  • 그래핀은 차세대 2차원 물질로서 지금까지 활발히 연구되어 왔으나 밴드갭이 없기 때문에 전자소자로서의 응용이 매우 제한적이다. 최근에 그래핀을 대체할 수 있는 물질로서 Transition Metal Dichalcogenides (TMDs)가 주목을 받고 있다. 특히, TMDs 중에서 $MoS_2$는 bulk일 때 indirect한 1.2 eV인 밴드 갭을 갖고 있으나, layer가 줄어들면서 direct한 1.8 eV인 밴드갭을 가진다. 국내외 여러 연구 그룹에서 $MoS_2$를 이용하여 제작한 Field Effect Transistor (FET)는 high-$\small{K}$ gate가 산입되지 않은 경우에 on-off ratio와 mobility가 각각 $10^6$와 약 $3cm^2/Vs$로 나타나고 있다. 이와 같이 아주 우수한 전기적, 광학적 특성을 갖는 소자 응용성을 가지고 있다. 최근까지의 연구결과들은 대부분 mechanical exfoliation method (MEM) 로 제작된 $MoS_2$ monolayer를 이용하였으나, 이 방법은 large scale 및 layer controllable에는 적합하지 않다. 본 연구에서는 대면적의 집적회로 응용에 적합한 chemical vapor deposition법을 이용하여 $MoS_2$를 성장하였다. 높은 결정성을 위해 sulphur (powder purity 99.99%)와 molybdenum trioxide(powder purity 99.9%)를 이용하고, Ar 가스 분위기에서 sulphur powder 및 molybdenum trioxide powder를 각각 $130^{\circ}C$$1000^{\circ}C$로 유지하며 $MoS_2$ 박막을 성장하였다. 성장된 $MoS_2$ 박막은 Atomic force Microscopy (AFM)을 통해 박막의 단차와 roughness을 확인하였다. 또한, X-ray Diffraction (XRD) pattern 분석으로 박막의 결정성을 확인하였으며, Raman Spectroscopy, X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS), Photoluminescence (PL) 측정으로 광학적 특성을 분석하였다.

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Improvement of Device Characteristic on Solution-Processed Al-Zn-Sn-O Junctionless Thin-Film-Transistor Using Microwave Annealing

  • 문성완;임철민;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.347.2-347.2
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    • 2014
  • 최근, 비정질 산화물 반도체 thin film transistor (TFT)는 수소화된 비정질 실리콘 TFT와 비교하여 높은 이동도와 큰 on/off 전류비, 낮은 구동 전압을 가짐으로써 빠른 속도가 요구되는 차세대 투명 디스플레이의 TFT로 많은 연구가 진행되고 있다. 한편, 기존의 Thin-Film-Transistor 제작 시 우수한 박막을 얻기 위해서는 $500^{\circ}C$ 이상의 높은 열처리 온도가 필수적이며 이는 유리 기판과 플라스틱 기판에 적용하는 것이 적합하지 않고 높은 온도에서 수 시간 동안 열처리를 수행해야 하므로 공정 시간 및 비용이 증가하게 된다는 단점이 있다. 이러한 점을 극복하기 위해 본 연구에서는 간단하고, 낮은 제조비용과 대면적의 박막 증착이 가능한 용액공정을 통하여 박막 트랜지스터를 제작하였으며 thermal 열처리와 microwave 열처리 방식에 따른 전기적 특성을 비교 및 분석하고 각 열처리 방식의 열처리 온도 및 조건을 최적화하였다. P-type bulk silicon 위에 산화막이 100 nm 형성된 기판에 spin coater을 이용하여 Al-Zn-Sn-O 박막을 형성하였다. 그리고, baking 과정으로 $180^{\circ}C$의 온도에서 10분 동안의 열처리를 실시하였다. 연속해서 Photolithography 공정과 BOE (30:1) 습식 식각 과정을 이용해 활성화 영역을 형성하여 소자를 제작하였다. 제작 된 소자는 Junctionless TFT 구조이며, 프로브 탐침을 증착 된 채널층 표면에 직접 접촉시켜 소스와 드레인 역할을 대체하여 동작시킬 수 있어 전기적 특성을 간단하고 간략화 된 공정과정으로 분석할 수 있는 장점이 있다. 열처리 조건으로는 thermal 열처리의 경우, furnace를 이용하여 $500^{\circ}C$에서 30분 동안 N2 가스 분위기에서 열처리를 실시하였고, microwave 열처리는 microwave 장비를 이용하여 각각 400 W, 600 W, 800 W, 1000 W로 15분 동안 실시하였다. 그 결과, furnace를 이용하여 열처리한 소자와 비교하여 microwave를 통해 열처리한 소자에서 subthreshold swing (SS), threshold voltage (Vth), mobility 등이 비슷한 특성을 내는 것을 확인하였다. 따라서, microwave 열처리 공정은 향후 저온 공정을 요구하는 MOSFET 제작 시의 훌륭한 대안으로 사용 될 것으로 기대된다.

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수환경 녹농균의 세포막 지방산 유사도 분석에 의한 Subgrouping과 활용 (Subgrouping of Pseudomonas aeruginosa Isolates by Resemblance Coefficiency of the Cellular Fatty Acid Analysis)

  • 정현미;김동빈
    • 미생물학회지
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    • 제38권4호
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    • pp.276-280
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    • 2002
  • 본 연구는 수환경이나 먹는샘물 생산 공장 등에서 녹농균이 검출되었을 경우 오염원추적의 1차 조사수단으로 세포막 지방산의 유사도 분석 활용 가능성을 평가함을 목적으로 하였다. 이를 위하여 54개 수환경 분리 균주, 3개 표준 균주, 토양과 분변 분리 균주 4종 등 총 61 개 녹농균의 세포 지방산을 분석하였고, 유사도를 산정하여 가계도식 도표(dendrogram)로 나타내었다. 그 결과 61개 균주 모두가 ED (Euclidian Distance) 8.4에서 단일한 cluster로 grouping되었고 ED 6.9에서 4개의 subgroups들로 분류되었다. 그 subgroups들은 현장 분리, 외국의 표준 균주 등 기원에 따라 각각의 subgroup으로 분류되어 미생물 동정에 사용되는 세포 지방산 분석의 유사도 산출이 먹는샘물 공장 등 수환경에서 경제적이고 간단한 오염원 조사의 1차 수단으로서 활용 될 가능성을 보여주었다.

해상작전 지원을 위한 HF 무전기 기반 개선된 데이터 통신 프로토콜 (An Enhanced Data Communication Protocol based on HF Radios for supporting Naval Operations)

  • 이승구;강승남;이순복;소을덕;임재성
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제21권10호
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    • pp.1990-1998
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    • 2017
  • 해상작전 수행의 성패는 서로간의 신속하고 정확한 의사전달과 원활한 통신망 구축이 우선되어야 한다. 군의 주통신망인 위성은 적의 전파교란 및 고정 안테나의 취약점으로 예비 통신망 구축이 반드시 필요하다. 따라서 군은 작전 통신망을 음성위주에서 문자 기반의 무선 통신망으로 전환하여 왔다. 본 논문에서는 현재 해군에서 운용중인 전술데이터링크(Link-11)의 주 통신방식인 Roll Call을 기본으로 하여 개선된 통신방식을 제안하였다. 시뮬레이션을 통해 기존 방식과 성능을 비교한 결과 제안된 통신방식(Selective Broadcasting)은 단위 프레임별 전송 소요시간이 Roll Call 대비 4.3배, Round Robin & Broadcasting 대비 6.3배 단축됨을 확인하였으며, 직접적인 수신율이 높을수록 소요시간은 최대 1.6배 단축됨을 입증하였다.

MIMO-OFDM 시스템을 위한 효율적인 파이프라인 FFT 프로세서의 설계 (Efficient pipelined FFT processor for the MIMO-OFDM systems)

  • 이상민;정윤호;김재석
    • 한국통신학회논문지
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    • 제32권10C호
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    • pp.1025-1031
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    • 2007
  • 본 논문에서는 송수신 안테나가 각각 4개인 MIMO-OFDM 시스템을 위한 효율적인 FFT 프로세서 구조를 제안한다. MIMO-OFDM 시스템의 기본은 다중 데이터 패스의 전송이므로 기존의 SISO-OFDM 시스템의 FFT 프로세서를 MIMO-OFDM 시스템에 그대로 적용하면 하드웨어 복잡도가 데이터 패스의 수에 선형적으로 증가하게 된다. 따라서 MIMO-OFDM 시스템에 맞도록 저면적의 다채널 FFT 프로세서가 요구된다. 제안된 FFT 프로세서는 다채널 MDC구조를 갖기 때문에 MIMO-OFDM 시스템의 다중 데이터 패스를 효과적으로 처리할 수 있으며, mixed radix 기법을 통한 효율적인 radix 분해를 이용하여 비단순 승산의 수를 감소시켰다. 제안된 구조를 갖는 FFT 프로세서는 HDL을 사용하여 설계된 후 0.18um CMOS 셀 라이브러리를 이용하여 설계되었다. 논리합성 결과, 4채널 radix-4 Multipath Delay Commutator (R4MDC) FFT 프로세서와 비교시 약 25%의 하드웨어가 감소함을 확인하였다. FFT 프로세서는 전체 MIMO-OFDM 시스템에서 약 30% 정도를 차지하는 커다란 블록이기 때문에, 제안된 FFT프로세서는 MIMO-OFDM 시스템의 하드웨어 복잡도를 감소시키는데 큰 공헌을 할 수 있다.

$TiO_2$ 나노튜브의 형성에 영향을 미치는 인자 (Parameter Influence on Formation of Anodic $TiO_2$ Nanotubes)

  • 이병관;정용수;오한준;지충수
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.237-238
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    • 2009
  • 1999년 Zwilling 등은 타이타늄과 타이타늄 합금위에 불산을 포함하는 산성 전해질에서 양극산화 방법에 의해 $TiO_2$ 나노튜브를 형성시켰다. 그러나 HF의 강한 용해성으로 인해 튜브의 길이를 500 nm이상 성장 시킬 수 없다는 문제점을 가지고 있었고 그 후에 HF대신에 전해질에 $NH_{4}F$를 혼합하여 pH를 조절하는 방법으로 $TiO_2$가 용해되는 속도를 감소시켜 약 $2{\sim}4$배 더 크게 성장 시킬 수 있다고 보고한 바 있지만 수 ${\mu}m$ 이상의 길이로는 성장 시킬 수 없다는 한계를 가지고 있었다. 최근에는 불소이온을 포함하는 점액질의 유기전해질에서 높은 종횡비, 40-60 nm의 작은 기공직경과 매끄러운 튜브벽을 가지는 수 um이상의 나노튜브를 성장 시키는 보고가 있으나 $TiO_2$ 나노튜브의 제조에 영향을 미치는 파라메타에 대한 연구가 아직 많지 않은 실정이다. 따라서 본 연구에서는 전해질의 구성, 전압, 양극산화 시 교반의 영향에 대해 조사하였다. 불산과 에틸렌글리콜 전해질에서 형성된 $TiO_2$ 나노튜브의 비 표면적의 차이를 조사했고 튜브의 길이와 기공크기도 양극산화 시 인가전압과 전해질 구성에 따라 다른 것을 확인할 수 있었다. 이는 포어 바닥에서 국부적인 산성화를 유발하는 타이타늄의 가수분해와 $TiO_2$의 용해는 산화피막층의 용해작용을 증가시키는 수소이온의 농도를 증가시고 그에 따라 인가접압이 증가함에 따라 전해질 내의 이온수송을 활발하게 하기 위한 구동력이 증가해 전류밀도가 높아지는 것으로 확인되었단. 또한 양극산화 동안 전해질을 교반 한 경우 그런지 않은 경우에 비해 전해질 내의 유속(mass flow)를 증가시켜 더 긴 나노튜브를 얻을 수 있었다.

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한국형 그랜트 지원방식 도입에 따른 선정평가 효율화를 위한 정량적 가이드라인 수립에 관한 연구 (Establishing the Supplementary Quantitative Guidelines for Successful Establishment of NRF Grant Funding Mechanism on Basic Research)

  • 서옥이;박귀순;신숙경;이성종;이원근;이윤희
    • 기술혁신학회지
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    • 제16권2호
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    • pp.424-443
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    • 2013
  • 교육과학기술부와 한국연구재단은 창의적 도전적 연구를 적극 장려하고자 2012년 기초연구사업 중점 추진방향으로 '한국형 그랜트' 지원 방식을 도입하였으며, 이에 따라 연구자가 추후 과제 신청시 기존 연구수행 성과를 집중적으로 평가 받게 되었다. 이에, 선정평가에서 과제관리 및 종료평가에 이르는 전주기적 성과관리 시스템의 필요성이 크게 대두되었다. 본 연구에서는 전주기적 성과관리 시스템의 첫 단계로 분야별 연구실적의 정량적 가이드라인를 제시하여 연구역량평가의 보조적 수단으로 사용할 방안을 도출하고자 하였다. 그 결과, 상위그룹 간 비교 시에는 순위보정영향력지수(Ranked Normalized Impact Factor, rnIF), 하위그룹 간 비교 시에는 영향력지수(Impact Factor, IF) 또는 rnIF를 정량가이드라인으로 제안하였다. SCI급 논문 수는 동일 분류 내 위상비교 또는 동일 위상내 분류별 비교 등에 사용할 것을 제안하였다.

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수십 MeV 양성자빔을 이용한 금속나노입자 제조 기술 및 장치

  • 김계령;정명환;나세진
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.493-494
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    • 2011
  • 수 MeV~수십 MeV 양성자빔을 이용해 백금, 은 등의 나노입자 제조실험을 수행하였다. 나노 입자는 의료분야와 산업 분야에서 그 응용성이 다양해 여러 지 방법을 이용한 제조기술이 개발되고 있다. 전자빔, 감마선, 양성자빔 등의 방사선을 이용한 나노입자 제조방법은 가장 널리 이용되고 있는 화학적 제조방법에 비해 비교적 공정이 단순하다는 장점을 가지고 있지만 공정 변수의 제어방법이 확립되어 있지 않아 이에 대한 연구가 필요한 실정이다. 특히, 양성자빔의 경우 에너지에 따른 투과깊이의 조절과 플럭스나 총 선량, LET (Linear Energy Transfer) 등의 변수와 제조된 나노입자의 상관관계 등에 대한 연구가 선행되어야 한다. 본 논문에서는 백금산 용액을 이용한 나노입자 제조 결과와 대면적 양성자빔을 이용하기 위한 초음파 이용 나노입자제조장치의 제작 및 실험결과에 대해 논하고 향후 건설될 100MeV 선형 양성자가속장치의 나노입자 제조실험에의 응용을 위한 이용시설을 소개하고자 한다. 나노입자 제조실험은 한국원자력의학원의 MC-50 싸이클로트론을 이용하여 수행하였으며, 가속기로부터 인출되는 에너지는 35, 45MeV, 빔전류는 수십 nA~수${\mu}A$의 범위 내에서 조절하였다. 제조된 나노입자는 TEM을 이용하여 그 크기와 분포를 관찰하였다. 대면적의 양성자빔을 이용하는 경우, 수mm의 두께와 수십 cm의 직경을 가지는 원반 모양의 시료용기를 사용하여 양성자빔의 에너지와 선량을 정확히 조절할 수 있게 되는데 이 때 용기 내 시료와 양성자빔간의 균일한 반응을 위해 용액을 적절하게 섞어 주어야만 한다. 이러한 목적으로 초음파를 이용하여 나노입자 제조장치를 제작하여 실험을 수행하였다. 나노입자 제조는 현재 교과부의 지원으로 경주 건천지역에 건설되고 있는 100MeV 선형양성자가속기의 주요 이용 분야 중의 하나로 20MeV 빔라인 중 한 개의 빔라인과 표적실을 나노입자 제조 등의 실험을 위한 시설로 구축 중이다. 최대 평균전류 1.6mA 까지 가능하고 펄스폭은 0.05~1.33 msec까지 조절가능하도록 개발되고 있다.

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열 질식에 의한 덕티드 로켓 가스 발생기의 연소 압력 상승 (A Sudden Increase in Combustion Pressure of Gas Generator of Ducted Rocket by Thermal Choking)

  • 김도영;신경훈;이창진
    • 한국항공우주학회지
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    • 제43권8호
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    • pp.684-691
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    • 2015
  • 덕티드 로켓 가스발생기용 추진제 성능을 검증하기 위한 실험에서 직경이 10mm인 파이프와 최소 직경이 8.7mm인 수축 노즐을 배출 튜브로 사용하였을 때 급격한 압력 증가가 관찰되었다. 급격한 연소 압력 증가는 배출 튜브를 통과하는 유동의 열 질식(thermal choking) 때문인 것으로 판단하였다. 본 연구에서는 원형 파이프를 사용하는 경우, 배출 튜브 유동의 열 질식을 고려하여 가스발생기 연소 압력 변화를 예측하였다. 그 결과, 배출가스의 비-평형 화학반응으로 인한 배출 튜브 유동의 열 질식 발생이 급격한 연소 압력 증가의 원인임을 확인하였다. 특히 덕티드 로켓의 높은 압력 지수는 배출 튜브 내에서 발생하는 열에 매우 민감하게 반응하여 배출 튜브 내의 열 질식 가능성을 높이는 것으로 분석되었다. 또한 배출 튜브로 단면적의 변화가 있는 발산형 파이프를 사용하면 가스발생기의 급격한 연소 압력 증가를 예방할 수 있을 것으로 판단하였다.

장방형 과채류 자동 랩핑기 개발 (Development of an Automatic Wrapping System for Long Type Fruit-Vegetable)

  • 성시흥;이대원
    • 생물환경조절학회지
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    • 제8권4호
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    • pp.250-256
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    • 1999
  • 본 연구는 랩을 이용하여 장방형 과채류의 자동포장기를 개발하기 위하여 수행되였다. 과채류의 포장은 과채류의 수분유출을 방지하고, 공기공급을 가능하게 하여 과채류의 신선도를 유지 할 수 있을 뿐만 아니라, 과채류를 직접 포장함으로써 운반도중 조기 부패하거나, 표피의 손상을 억제할 수 있다. 또한 포장에 의한 농촌의 일손 부족문제를 해결하고 소포장 단위의 신선한 과채류를 원하는 소비자의 구매욕구를 충족시킬 수 있도록 있는 자동포장기를 개발하였다. 랩을 이용한 장방형과 채류를 1개 이상 자동으로 포장할 수 있는 시스템을 개발하였다. 가지의 포장율은 상품, 중품 모두 포장율이 100%로 매우 우수하게 나타났는데, 이는 포장을 위한 회전단면적이 비교적 균일하고 또한 가지 표면의 물리적 특성 때문으로 판단된다. 오이의 포장율은 매우 우수하였으나, 중품은 상품에 비하여 떨어지는 것으로 조사되었는데, 이는 굽은 정도가 포장율에 영향을 미치기 때문으로 생각된다. 애호박의 포장율은 개수가 증가할수록 떨어지는 것으로 나타났는데, 이는 단면적이 컸기 때문으로 판단된다. 장방형 과채류의 포장개수별 포장효율은 회전단면적의 차이에 따라 효율이 변하는 것을 알 수 있었다.

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