• Title/Summary/Keyword: 저항변화형

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Convergence Study on Fabrication and Plasma Module Process Technology of ReRAM Device for Neuromorphic Based (뉴로모픽 기반의 저항 변화 메모리 소자 제작 및 플라즈마 모듈 적용 공정기술에 관한 융합 연구)

  • Kim, Geunho;Shin, Dongkyun;Lee, Dong-Ju;Kim, Eundo
    • Journal of the Korea Convergence Society
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    • v.11 no.10
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    • pp.1-7
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    • 2020
  • The manufacturing process of the resistive variable memory device, which is the based of neuromorphic device, maintained the continuity of vacuum process and applied plasma module suitable for the production of the ReRAM(resistive random access memory) and process technology for the neuromorphic computing, which ensures high integrated and high reliability. The ReRAM device of the oxide thin-film applied to the plasma module was fabricated, and research to improve the properties of the device was conducted through various experiments through changes in materials and process methods. ReRAM device based on TiO2/TiOx of oxide thin-film using plasma module was completed. Crystallinity measured by XRD rutile, HRS:LRS current value is 2.99 × 103 ratio or higher, driving voltage was measured using a semiconductor parameter, and it was confirmed that it can be driven at low voltage of 0.3 V or less. It was possible to fabricate a neuromorphic ReRAM device using oxygen gas in a previously developed plasma module, and TiOx thin-films were deposited to confirm performance.

Characteristics of Thin Film Electric Resistance Probe Prepared at Various Sputtering Condition (박막형 전기저항식 부식속도 측정 센서의 금속층 증착조건에 따른 전기화학적 특성 변화)

  • 방일환;원덕수;송홍석;장상엽;이성민;고영태;김지영
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 1998.05a
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    • pp.95-95
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    • 1998
  • 현장에서 부식속도를 측정하는 방법의 하나인 전기저항 프로브(Electric Resistance Probe, ER probe)는 시편이 부식되는 양에 비례하여 저항이 증가하는 원리를 이용한 것으로 부식기구에 무관하게 직접적인 부식속도의 측정이 가능하다. 그러나, 와이어나 판형으로 기계 가공된 프로브로 제작되어 미량의 부식에는 저항변화폭이 작아 긴 측 정시간이 필요하고, 특히 국부 부식의 경우 부식이 상당히 진행되더라도 전체 저항변 화가 크지 않은 문제점이 있다. 박막형 전기저항프로브는 미량의 부식에서도 저항변화폭이 크게 나타나도록하기 위 하여 금속 박막을 스퍼터링으로 증착하여 동일 부식량에서 저항 변화율을 크게 향상 시킨 프로브이다. 이 프로브는 좁은 선폭(O.25-1mm)의 세선을 복수개 포함한 형상으로 프로브를 설계하여 핏팅이 발생하면 하나의 세선이 끊어지도록 하여 국부적인 부식이 일어날 경우에도 저항변화가 크게 나타나도록 고안되었다. 탄소강의 경우 일반적인 환경에서는 부식속도가 결정립의 크기, 가공경화의 정도등 에 민감하게 변화되지 않는 것으로 알려져 있으나, 박막으로 증착되었을 경우에는 별 크재료와는 전혀 다른 미세구조를 가지므로 벌크의 부식거동과는 다른 거동을 보일 수 있다. 이 연구에서는 증착조건을 달리하여 증착된 철 박막의 결정성, 비저항, 표면 상태, 조성등을 4 point 프로브, SEM, Auger spectroscopy등을 이용하여 조사하고 각각의 전위, 부식속도등과의 상관관계를 조사하였다. 증착된 박막의 비저항은 증착중 혼입된 산소의 양에 따라 매우 민감하게 변화하였다. 산소가 l0at%이상 함유된 철은 강의 알려진 비저항보다 수십배 높은 비저항을 보이며, 부식전위가 높아지고 실제 부식속도 또한 매우 낮게 나타났다. 박막의 부식거동은 미량 불순물에 의해서도 크게 변화하였는데 동일한 수준의 비저 항을 갖는 철 박막에서도 99.9% 순도의 철을 타켓으로 하여 증착된 막은 일반 저탄소 강을 타켓으로 하여 증착된 막보다 훨씬 낮은 부식속도를 보였다.

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Drag Characteristics According to Ground Rope and Seabeds in the Bottom Trawl (저층트롤의 발줄 및 저질의 종류에 따른 저항특성)

  • 신정욱;이주희;권병국
    • Journal of the Korean Society of Fisheries and Ocean Technology
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    • v.38 no.1
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    • pp.58-68
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    • 2002
  • The model experiments for the Eastern sea bottom trawl were conducted for the 3 types of ground ropes and 2 types of seabeds to examine drag characteristics according to towing speed. The model net was based on the net of trawler with 750ps and made by 1/78 of a full scale net. This experiments focused on the drags for 3 types of ground rope, the serving wire, the original and the chain types and 2 types of seabeds, mud and sand of bottom. The results obtained are summarized as follows 1. In the case of the sand bottom, the drags by 3 types of ground rope were orderly increased in turn of the chain, the serving wire and the original type. But, in the case of the mud bottom, the drag of the original type is higher than that of the serving wire type and less than the chain type. 2. In the case of the serving wire type of ground rope, the drags by the diameters of ground rope, ø 1.3, ø 1.9, ø 2.6 and ø 3.25 were increased respectively by 23g, 25g, 32g and 42g at the towing speed of 0.4m/s. 3. The drags of ground ropes were increased exponentially in proportion to the towing speed, in the same way in all of three types of ground rope. 4. The ratios of drag of ground rope against that of the trawl net by the type of ground rope at the towing speed of 0.4m/s on the mud bottom were 0.69 in the chain type, 0.64 in the serving wire type and 0.67 in the original type respectively. 5. The Coefficient of drag($C_d$) by type of ground rope according to the towing speed were 10.0~56.7, 3.0~l6.0 and 1.5~8.5 respectively in turn of the chain type, the serving wire type and the original type on the mud bottom, and that on the sand bottom were 10.0~60.0, 3.0~14.0 and 1.2~6.0 respectively In turn of the chain type, the serving wire type and the original type.

An Experimental Study on the Effect of Sensor Line Number on the Reactivity Characteristic of Corrosion Sensor Reactive with Chloride Ion to Immigrate into Concrete (콘크리트내로 침투하는 염소이온 반응형 부식센서의 응답특성에 미치는 센서 세선 수의 영향에 관한 실험적 연구)

  • Lee, Hyun-Seok;Lee, Han-Seung
    • Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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    • v.18 no.3
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    • pp.143-152
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    • 2014
  • In this study, the sensor response and sensitivity is experimented and analyzed quantitatively by the line numbers of chlorine ion reaction type corrosion sensor that is developed. The sensor response of the developed corrosion sensor is verified with properties of chlorine ion. The multilineal sensor is shown a large resistance change more than the single line sensor by damage of the sensor. And, the resistance change of sensor is as large as high concentration of NaCl aqueous solution, the sensitivity of multilineal sensor is higher than single line sensor's, and the depth of sensor's location is as large as the increasing of resistance change time (cycle). These results suggest that, the developed corrosion sensor could sense corrosion reaction, sensor sensitivity and change of resistance for chloride ion. Especially, It was judged that 7 line sensor was the most superior for monitoring chloride ion immigration into concrete.

The analysis of Current limiting Characteristics of Magnetic Shielding Type Fault Current Limiter (차폐 유도형 전류 제한기의 전류제한 해석 연구)

  • Lee, Jae;Lim, Sung-Hun;Ko, Seok-Cheol;Du, Ho-Ik;Han, Byoung-Sung
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2001.10a
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    • pp.94-96
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    • 2001
  • 본 논문은 차폐유도형 고온초전도 한류기의 전류제한 특성을 연구하였다. 회로해석은 유한 차분법(FDM)을 사용하였으며 회로 설계의 변수 값에 따라서 전류제한 방식은 저항형과 유도형으로 전류 제한이 이루어짐을 알 수 있었다. 사고 발생 시 나타나는 고온초전도 한류기의 임피던스는 사고 전류를 제한하는 주요한 요소로써 다양한 파라미터 값의 변화를 통하여 고온 초전도한류기의 임피던스 변화와 특성을 관찰하였고, 본 논문에서 설계한 형태의 임피던스 변화에 따른 전류 제한 효과를 저항형 과 유도형 방식으로 제어 가능함을 확인할 수 있었다.

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Effect of resistivity on characteristics of solar cell in passivated N-type crystalline silicon substrate (패시베이션 처리된 n-형 결정질 실리콘 기판의 비저항에 따른 태양전지 특성 변화)

  • Won, Chi-Hyun;Yi, Jun-Sin
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.11a
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    • pp.65.1-65.1
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    • 2011
  • 결정질 실리콘 웨이퍼의 전면 재결합 속도, 비저항은 태양전지 특성에 영향을 끼치는 중요한 요소이다. 태양전지의 최종목표인 효율에 미치는 영향을 알아보기 위해 패시베이션 처리된 n-형 웨이퍼를 사용한 태양전지에서 웨이퍼의 비저항과 전면 재결합 속도를 조절하였고 그에 따른 변환 효율과 기본 파라미터 값의 변화를 확인하였다. PC1D를 사용하여 시뮬레이션을 수행하였으며 이론적으로 비저항 = $0.06557{\Omega}{\cdot}cm$, 전면 재결합 속도 = 100cm/s에서 18.46%의 효율을 얻을 수 있었다.

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A Study on the cell characteristics for upsizing Dye-sensitized Solar Cell (염료감응형 태양전지의 대면적화에 따른 셀 특성 연구)

  • Choi Jinyoung;Lee Imgeun;Jeong Jongjin;Park Sungjune;Lee Dongyoon;Kim Heeje
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2005.06a
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    • pp.189-191
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    • 2005
  • 태양전지 분야에서 최근 크게 주목받고 있는 염료감응형 태양전지(DSC)의 효율 및 대면적화에 대한 연구는 지속적으로 이루어지고 있다. 그러나 염료감응형 태양전지의 대면적화로 인한 셀 내부의 전자 흐름에 관한 셀 특성의 고찰은 이루어지고 있지 않다. 따라서 본 연구에서는 염료감응형 태양전지의 대면적화에 앞서 염료감응형 태양전지의 대면적화에 따른 셀 특성을 알아보았다. 본 실험에서는 대면적화의 하나의 변수로서 셀의 가로 폭을 선택하였고, 가로 폭의 변화에 따른 각 샘플 셀의 전기특성을 확인하였다. 그 결과 셀의 폭이 증가할수록 표면저항이 커져 염료에서 발생된 광전자가 표면저항으로 인해 포집이 잘 이루어지지 않게 되어 전자의 흐름이 원활하지 않게 됨을 알 수 있었다. 궁극적으로 셀의 대면적화는 표면저항의 증가로 이어져 셀 특성에 나쁜 영향을 미치게 됨을 확인 할 수 있었다.

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AlN 박막을 이용한 투명 저항 변화 메모리 연구

  • Kim, Hui-Dong;An, Ho-Myeong;Seo, Yu-Jeong;Lee, Dong-Myeong;Kim, Tae-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.56-56
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    • 2011
  • 투명 메모리 소자는 향후 투명 디스플레이 등 투명 전자기기와 집적화해 통합형 투명 전자시스템을 구현을 위해 지속적으로 연구가 진행 되고 있으며, 산학계에서는 다양한 메모리 소자중 큰 밴드-갭(>3 eV) 특성을 가지는 저항 변화 메모리(Resistive Random Access Memory, ReRAM)를 이용한 투명 메모리 구현 가능성을 지속적으로 보고하고 있다. 현재까지의 저항 변화 메모리 연구는 물질 최적화를 위해 다양한 금속-산화물계(Metal-Oxide) 저항 변화 물질에 대한 연구가 활발하게 진행 되고 있지만, 금속-산화물계 물질의 경우 근본 적으로 그 제조 공정상 산소에 의한 다수의 산소 디펙트 형성과 제작 시 쉽게 발생할 수 있는 표면 오염의 문제점을 안고 있으며, 또한 Endurance 및 Retention 등의 신뢰성에 문제를 보이고 있다. 따라서, 이러한 문제점을 근본 적으로 해결하기 위해 새로운 저항 변화 물질에 관한 물질 최적화 연구가 요구 되며, 본 연구진은 다양한 금속-질화물계(Metal-Nitride) 물질을 저항변화 물질로 제안해 연구를 진행 하고 있다. 이전 연구에서, 물질 고유의 우수한 열전도(285 W/($m{\cdot}K$)) 및 절연 특성, 큰 밴드-갭(6.2 eV), 높은 유전율(9)을 가지고 있는 금속-질화물계 박막인 AlN를 저항변화 물질로 이용하여 저항변화 메모리 소자 연구를 진행하였으며, 저전압 고속 동작 특성을 보이는 신뢰성 있는 저항 변화 메모리를 구현하였다. 본 연구에서는 AlN의 큰 밴드-갭 특성을 이용하여 투명 메모리 소자를 구현하기 위한 연구를 진행 하였다. 투과도 실험 결과, 가시광 영역 (380-700 nm)에서 80% 이상의 투과도를 보였으며, 이는 투명 메모리 소자로써의 충분한 가능성을 보여 준다. 또한, I-V 실험에서 전형적인 bipolar 스위칭 특성을 보이며, 스위칭 전압 및 속도는 VSET=3 V/Time=10 ns, VRESET=-2 V/Time=10ns에서 가능하였다. 신뢰성 실험에서, 108번의 endurance 특성 및 105 초의 retention 특성을 보였다.

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Thickness Dependence of Low-Field Tunnel-Type Magnetoresistance in$La_{2/3}Sr_{1/3}MnO_3SiO_2/Si(100)$ Thin Films ($La_{2/3}Sr_{1/3}MnO_3SiO_2/Si(100)$ 박막의 저-자장 터널형 자기저항변화의 두께 의존성)

  • 심인보;안성용;김철성
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.11 no.3
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    • pp.97-103
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    • 2001
  • Polycrystalline thin films of La$_{2}$3/Sr$_{1}$3/MnO$_3$(LSMO) were prepared by water-based sol-gel processing on thermally oxidized Si(100) substrate. The thickness dependence of the low-field tunnel-type magnetoresistance properties at room temperature was studied. Tunnel-type magnetoresistance at low-field is found to be strongly dependent on film thickness. Maximum value of tunnel-type magnetoresistance of LSMO thin films was appeared at the film thickness of ~1500 $\AA$. This behavior can be explained in terms of dead layer between LSMO thin film and Si(100) substrate and thermal lattice strain effect in the LSMO thin films.

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Characteristics analysis and Fabrication of Integrated Piezoresistive Temperature & Humidity Sensors (압저항형 온·습도 복합 센서 제작 및 특성 분석)

  • Ryu, Jeong-Tak
    • Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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    • v.19 no.2
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    • pp.31-36
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    • 2014
  • In this paper, we developed an intergrated piezoresistive temperature and humidity sensor using nano-technology, and evaluated the properties. In the measuring range from $20^{\circ}C$ to $80^{\circ}C$, output sensitivity of temperature was about 0.75mV/$1^{\circ}C$. Output sensitivity of humidity was about 1.35mV/10%(RH). Therefore, developed sensor suggests that it is possible applicable to the general residential environment.