• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.10a
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• pp.86-89
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• 2006

본 연구에서는 웨이브릿 기법을 응용한 플라즈마 장비를 감시하는 기법을 보고한다. 소자제조업체에서 가동중인 플라즈마 증착장비에서 센서정보를 수집하였으며, 이를 이산치 웨이브릿을 이용하여 변환 시킨 후, 민감도 측정을 위해 고안된 메트릭 (Metric)을 적용하였다. 총 18개의 센서정보에 대하여 민감도를 계산하였으며, 민감도는 $21{\sim}300%$ 범위에서 증진하였다. 특이 센서패턴을 제외하고는 Raw 데이터에 비해 75% 이상의 민감도를 향상시켰으며, 이는 본 기법이 플라즈마 센서정보의 고장에 대한 민감도를 증진하는데 효과적임을 보여 준다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.10a
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• pp.158-165
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• 2006

Lithography 장비의 국내 기술개발 수준은 선진사에 비해 많이 뒤져있다고 볼 수 있다. 최근 디스플레이 산업의 폭발적인 성장과 더불어 보다 확실하고 안정적인 생산을 위해서는 Lithography 장비의 국산화 기술개발이 시급한 상황이다. 현재 시중에 나와 있는 제품의 경우 Mask holder part의 과도한 중량으로 인해 교체의 어려움이 있고 그로 인해 장비의 자동화에 걸림돌이 되고 있는 상황이다. 이에 따라 Mask holder part의 교체를 양호하게 하기 위해 질량을 줄이고 처짐이 적게 발생할 수 있도록 형상을 최적화 시키는 것에 목적을 두고 실험계획법 중의 하나인 Taguchi method를 활용하여 Mask holder part의 형상을 최적화하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.11c
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• pp.50-52
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• 2001

반도체 장비간 통신의 표준인 SECS(SEMI Equipment Communication Standard)는 반도체 제조 업체에서 많이 사용되고 있다. SECS-I의 단점을 보완하기 위해 제안된 HSMS (High-speed SECS Message Services)는, TCP/IP를 지원하고 SECS-I에 비해 통신 속도가 높다. 사용자는 HSMS를 이용하여 LAN을 통한 장비 제어 및 모니터링이 가능하게 되었다. 그러나, 네트워크의 확장에 대한 관심 고조로 기존의 제한된 영역의 네트워크 구성에 대한 변화가 필요하게 되었다. 또한 사용자가 항상 LAN의 범위 내에서 장비 모니터링 및 제어하기에는 위치적 제약이 많다. 그렇지만 HSMS는 Web을 통한 데이터 전송 요구를 수용하지 못하고 있다. 따라서 SECS-II message가 Web을 통해 전송될 수 있는 새로운 포맷이 필요하다. 본 논문에서는, 구조화된 데이터를 정의하기 유리한 마크업 언어인 XML을 이용하여, SECS-II message를 Web으로 전송할 수 있는 포맷을 정의하고 이를 구현한다.

• Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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• 2012.05a
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• pp.55-56
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• 2012

과학기술이 발전함에 따라 신무기들의 기술 집약도가 발전하여 개체 하나하나의 단가와 가치가 상승하고 있다. 이렇게 개발된 무기를 사용하기 앞서 수락시험을 위해 점검장비를 사용하고 있다. 이러한 점검장비는 신무기의 성능 및 기능의 검증을 위해 데이터의 수집 및 처리를 하기 위한 실시간성을 필요로 한다. 그러나 점검장비에서 많이 사용되고 있는 범용 운영체제인 윈도우의 경우 실시간성을 지원하지 못하는 문제점을 가지고 있다. 따라서 윈도우에 실시간성을 제공하기 위한 상용솔루션인 RTX 및 INtime을 사용하여 실시간성을 제공해야 한다. 하지만 RTX와 INtime은 고가의 구입비 및 경상 사용료로 인해 개발 비용을 증가시키는 문제점을 가지고 있다. 이를 해결하기 위해 멀티코어 기반 윈도우 환경의 점검장비에 실시간성을 지원하기 위한 실시간 이식 커널(RTiK-MP)을 개발하였다. 본 논문에서는 개발된 RTiK-MP를 다양한 분야에 적용시키고, 개발자에게 보다 나은 편의성을 제공하기 위해 Export Driver를 통한 RTiK-MP 접근 방안에 대한 연구를 하였다.

• KIPE Magazine
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• v.27 no.3
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• pp.38-48
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• 2022

국내 통신 시장은 4G LTE 통신 상용화 이후 2019년 세계 최초로 5G 통신 상용화를 시작하여 각각의 통신사가 앞다투어 설비 투자를 진행하고 있다. 많은 투자가 진행됨에도 불구하고 통신망의 범위, 낙후 지역에 대한 비활성화로 인하여 소비자의 욕구를 충족시키지 못하고 있는 실정이다. 이러한 소비자의 불만족을 해소시키고자 정부의 투자 독려로 인해 2022-2024년까지 지속적으로 5G 장비 투자가 진행될 예정이다. 5G 통신 장비에는 시스템 장비에 전원을 공급해주는 전원 장치가 필요하다. 최근 통신용 전원 장치는 시스템 용량이 증가함에 따라 고전력 장비가 요구되고 있으며, 추가적으로 탄소 배출과 관련하여 에너지 문제가 대두됨에 따라 소형화 및 고효율의 통신용 전원 장치 개발이 주를 이루고 있다. 이를 위해 WBG(Wide Band-Gap) 소자 및 토폴로지 변경, 열적 최적화 등 다양한 방법을 통해 고밀도, 고효율을 달성하고 있다. 본고는 WBG 소자 중 GaN(Gallium Nitride) 전력 반도체를 이용하여 제작한 전원 장치의 설계에 내한 내용을 소개한다.

• Journal of Korean Society of Steel Construction
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• v.21 no.4
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• pp.351-360
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• 2009

This study is a series of experimental investigations of the buckling strengths of eccentrically compressed, cold-formed, stainless-steel, circular, hollow-section beam columns. The principal parameters that were used in this study were the slenderness ratios (Lk/r = 30, 50, 70) and the magnitude of eccentricity e(one way: 0, 25, 50, 75, and 100mm: the other way: 0, 12.5, 25, 37.5, and 50mm) on the asymmetrical end-moment of a double curvature. The objectives of the study were to obtain the maximum loads through an experiment and to compare the experimental behaviors with the analysis results. The ultimate buckling strength of the square section members were evaluated using a numerical method, in accordance with the bending moment-axial force(M-P) interaction curves. The behavior of each specimen was displayed in the form of the strength-displacement and moment-angle(M-$\theta$) relationship.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.20 no.5
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• pp.322-333
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• 2019

The purpose of the current study was to investigate the level of market size and market share of domestic research equipments for analyzing the difference of the number and amount of construction by the manufacturing countries in the basic and analytical science fields based on the information of the research equipment invested by the Korean government for the past 14 years. As of January 1 2019, from 2005 to 2018, 20,687 research facilities & equipments (main equipment with a construction cost of 30 million won or more) built in the basic and analytical science fields were selected for this study and their components, standard classification, number of construction, and amount of construction by country of manufacture were analyzed. Differences of the number and amount of construction among manufacturing countries were tested using a single sample chi-square test and one-way analysis of variance, followed by Bonferroni's post-hoc test. As a result of this study, the number of construction (p<.001) and construction amount (p<.05) were statistically different for each manufacturing country. The level of market size and market share was significantly different according to the equipment standard classification (p<.05). Therefore, differentiated strategies of the government and policy research projects will be required for each type of equipment and amount in order to support the policy for the localization of research equipment.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.30 no.2C
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• pp.85-93
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• 2010

The shear stiffness has become an important design parameter to understand the soil behavior. In particular, the elastic moduli and void ratio has been considered as important parameters for the design of the geotechnical structures. The objective of this paper is the development of the penetration type Field Velocity and Resistivity Probe (FVRP) which is able to assess the elastic moduli and void ratio based on the elastic wave velocities and electrical resistivity. The elastic waves including the compressional and shear wave are measured by piezo disk elements and bender elements. And the electrical resistivity is measured by the resistivity probe, which is manufactured and installed at the tip of the FVRP. The penetration tests are carried out in calibration chamber and field. In the laboratory calibration chamber test, after the sand-clay slurry mixtures are prepared and consolidated. The FVRP is progressively penetrated and the data are measured at each 1 cm. The field experiment is also carried out in the southern part of Korea Peninsular. Data gathering is performed in the depth of 6~20 m at each 10 cm. The elastic moduli and void ratio are estimated based on the analytical and empirical solutions by using the elastic wave velocities and electrical resistivity measured in the chamber and field. The void ratios based on the elastic wave velocities and the electrical resistivity are similar to the volume based void ratio. This study suggests that the FVRP, which evaluates the elastic wave velocities and the electrical resistivity, may be a useful instrument for assessing the elastic moduli and void ratio in soft soils.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.07a
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• pp.976-977
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• 2008

클린룸에서 자동 물류 반송장비가 선형모터와 비접촉 전원장치를 이용하여 직선구간으로 설치되어 적용하는 경우는 있지만, 곡선구간을 갖는 경우에 적용하기 위한 연구는 희박하다. 이에 저자들은 초기 90도의 곡선구간으로 개루프 구간을 갖는 연구를 진행하였다. 따라서 본 논문은 더욱 향상된 180도 곡선구간과 직선구간으로 이루어진 폐루프 구간을 구성(현장과 유사하게 구성)하여 자동 물류 반송장비인 OHS 시스템의 선형모터의 구동 전원으로 적용하기 위한 비접촉 전원장치의 출력특성에 대한 연구를 진행하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.101-107
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• 2004

각종 전자기기의 소형화, 고성능화 요구에 따라 회로 또는 기판의 고집적화에 따른 대안으로 도입된 COF(Chip On Film)공정에서 PI(polyimide)/buffer layer/Cu의 접착력 개선을 목적으로 본 연구가 진행 되었다. 그리고 buffer layer로써 Cr을 증착 할 때 부착력의 개선을 목적으로 개질처리를 할 때는 RF plasma장비를 사용하였다. 실험 변수로는 peel strength에 대한 buffer layer의 종류와 증착시간, 표면 개질처리시 $O_2$/Ar비이다. Buffer layer의 종류에 따른 접착력은 Cr보다 Ni이 우수하였고 peel strength와 Cu THK는 같은 buffer layer의 증착 structure에서 비례 관계를 나타냈으며, Cr의 증착 시간과 Cu의 증착 시간을 변수로 peel strength test한 값은 Cr증착시간이 30초, Cu증착시간이 20분일때 40g/mm로 최적의 접착력이 나타났다. 증착전 PI의 개질 처리시 $O_2$/Ar 유량비에 따른 peel strength값은 $O_2$/Ar유량비가 증가 할수록 향상되었으며, 2/5에서 최고값인 58g/mm가 나타났다. 그 이상에서는 오히려 감소하였다.