RTP(Rapid Thermal Processing)은 IC제조 공정과 관련된 열처리 과정에 사용되는 단일 웨이퍼프로세스 기술이다. 반도체 웨이퍼를 고속 열처리할 때 웨이퍼별로 작은 반응실에서 가열, 가공, 냉각된다. 현재 사용되는 반도체 열처리장비는 고온로(furnace)에의해 대부분 이루어지지만, 시간이 많이 걸려서 주문형반도체 생산과 같은 다양한 종류의 웨이퍼를 소량 생산하는데는 부적절하다. 이에 매우 적은 시간이 소요되는 RTP장비가 많이 연구되고 있다. 그러나 RTP는 예기치 못한 몇 가지의 문제점을 일으킨다. 그중 하나는 웨이퍼 표면에 분포된 온도의 불 균일성이다. 이러한 불 균일성은 웨이퍼의 표면에 심각한 왜곡(distortion)을 일으켜 좋지 못한 결과를 가져오게 한다. 이번 논문의 목적은 RTP시스템을 수학적으로 모델링하고, 이를 이용하여 멀티 램프 시스템의 입력값을 조절하여 이미 배치된 램프에 대한 최적의 온도 균일도에 알맞은 각 램프입력을 구하여 램프 입력 프로파일을 만들고 또한 이를 이용하여 외란에 대한 PID 제어기 설계를 목표로 한다.
Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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2001.04a
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pp.253-255
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2001
본 논문은 SNMP 에이전트이 동적인 확장을 위하여 Java를 사용하는 AgentX의 설계와 프로토타입의 구현에 대해 설명한다. AgentX는 SNMP 에이전트이 구조를 마스터 에이전트와 서브 에이전트로 분리하여 SNMP 에이전트를 동적으로 확장할 수 있는 구조를 갖는다. 기존의 SNMP 환경에서는 새로운 관리 기능의 추가가 어려웠다. 이미 배치된 장비 내의 SNMP 에이전트를 확장하기 위해서는 기존은 SNMP 에이전트를 새로운 SNMP 에이전트로 대체시키는 방법을 사용하였다. 그러나 이런 방법은 수행 중인 장비를 셧 다운 시키지 않는 상태에서 동적으로 새로운 관리 기능을 추가할 수 있도록 하기 위한 자바 기반 AgentX를 설계하고 프로토타입을 구현하였다.
Proceedings of the Korea Committee for Ocean Resources and Engineering Conference
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2002.05a
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pp.225-230
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2002
현재 미 해군에서 개발 중인 DD21은, 미 해군의 해상 전투력 구조의 핵심인 이지스급 함정을 제외한 DD-963급 구축함과 FFG-7급 프리깃 함의 교체함으로서, 연안전에 대한 새로운 특수 임무에 적응할 수 있게 많은 학자들에 의해 연구되고 있는 차세대 구축함이다. 즉, DD21은 기존 이지스 함정에 부가하여 대지전(Land Attack)과 대기뢰전을 포함한 다목적의 기능을 발휘하면서 전투원의 스마트(Smart), 배치와 장비와 기구의 자동화와 기계화를 통한 함정과 함체의 스텔스(Stealth)화로 유지비와 초기 투자비를 최소화시킨 함정이다.
Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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2016.05a
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pp.327-328
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2016
전력 증폭기 모듈 패키지 산업은 전방산업의 경기에 매우 큰 영향을 받고 종속성이 높은 산업이므로 수요처인 중계기, 기지국, 무선네트워크 구축 장비 업체의 수급 동향, 기술변화, 경영환경변화, 판매실적 등에 민감하게 반응하는 수요구조로 되어 있다. SWOT 분석결과 전력 증폭기 모듈설계 노하우와 하이브리드 전력 증폭기를 개발할 수 있는 강점과 군수용으로 응용 분야 확대 및 5G 상용화의 기회를 활용하여 사업 기회를 선점하는 사업전략 수립이 필요하다. 산업구조 분석결과 구매자의 교섭력이 높으므로 전방산업에 배치된 수요기업과의 전략적이고 긴밀한 협력관계를 유지하기 위한 전략을 추진해야 한다.
이상적인 GIS 예방진단 장비라 한다면 최소의 비용과 규모로 설치되어 결함은 빠짐없이 수 있어야 하며, 검출된 신호가 결함신호인지 잡음인지를 명확히 식별하여 필요한 정보만을 운전자에게 전달하여야 한다. 즉, 검출된 신호가 결함에 의한 것이라면 결함의 종류와 결함의 상세위치, 위험한 정도, 후속 필요조치 등에 대한 정보를 운전자에게 제공할 수 있어야 한다. 그동안 국내에서는 이상적인 기술목표를 향하여 꾸준히 연구해 왔으며 이제는 센서기술이나 센서 배치, 신호해석기술, 시스템 설계 제작기술, 시스템 운영 등에서 세계적 수준에 도달했다고 볼 수 있으나 외국에서도 마찬가지이기는 하지만 위험도 평가분야는 아직은 미흡한 상태이다. 현재 산업계와 학계, 연구계에서 연구개발을 활발히 하고 있으므로 수년 내에 만족할 수준까지 도달할 수 있을 것으로 전망된다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.163.2-163.2
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2013
플라즈마 시뮬레이션을 이용하여 디스플레이 공정용 안테나 유도 결합 플라즈마 시스템에서의 플라즈마 변수들에 대한 공간분포를 살펴 보았다. 디스플레이 공정용 챔버 규격은 8세대, 안테나의 turn수는 4turn을 기본으로 하여 안테나 코일의 분할을 각각 4개 분할, 9개 분할로 구분하여 시뮬레이션을 진행한 결과 안테나 배치의 차이에 의한 플라즈마 밀도, 온도, 전위차의 공간분포의 균일도의 차이를 확인 할 수 있었다.
Song Yong-Seok;Park Jeong-Jae;Nam Ki-Chan;Kwak Kyu-Seok;An Ki-Myung
Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
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2004.11a
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pp.303-307
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2004
The scale of ship's cargo transport is getting larger, more economics of scale are gained the speed is higher and the size of quay fundling equipment in container terminal is larger. The productivity cf the quay qffects occupation for limited scale of yard. This paper aims to calculate the yard occupation by handling systems, such as OHBC, RMGC, RTTC, etc, and lay-out.
This paper proposes a user interface for enhancing immersiveness and usability by combining hologram and haptic device with common Leap Motion. While Leap Motion delivers physical motion of user hand to control virtual environment, it is limited to handle virtual hands on screen and interact with virtual environment in one way. In our system, hologram is coupled with Leap Motion to improve user immersiveness by arranging real and virtual hands in the same place. Moreover, we provide a interaction prototype of sense by designing a haptic device to convey touch sense in virtual environment to user's hand.
Internet Service Subscribers Network has a new role of providing the various multimedia services to the home. However, there exist several types of distributed subscribers network using Asymmetric Digital Subscriber Line (ADSL), Very high-bit rate Digital Subscriber Line (VDSL), and Data Over Cable Service Interface Specifications (DOCSIS). The efficient and concentrated network management of those several distributed subscribers networks with resources require the general information model of network, which has abstract and conceptional managed objects independent of type of network and its equipment to manage the integrated subscriber network. This paper presents the general Internet subscribers network model of the managed object to manage that network in the form of integrated hierarchy This paper adopts the object-oriented development methodology with UML and designs and implements the integrated subscribers NMS of cable data network and VDSL network as examples of the subscriber networks.
Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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2008.06a
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pp.257-262
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2008
컴퓨팅 기술의 발전에 따라 선박의 안전항해를 지원하기 위해 Radar, GPS 등 다양한 장비들이 계량, 개발되고 있으며 그들은 선박 항해에 필요한 많은 정보를 제공하고 있다. 하지만 여전히 선박 충돌사고는 끊이지 않고 있으며, 선박 대형화에 힘입어 그 피해도 커지고 있는 실정이다. 이러한 선박 충돌사고는 앞에서 언급한 선박 항해 안전 장비의 성능제약을 받는 야간이나, 해상 환경 악화 시 두드러지게 발생하고 있으며, 특히 제한적인 상황에서 인간의 눈에만 의지해서 항해를 하고 있기 때문이기도 하다. 그래서 이러한 상황에서 Vision기술을 사용하여 카메라를 활용 상대선박을 자동으로 식별하는 시스템을 제안하고자 한다. 이는 선박들이 법적으로 야간이나 각종 장비들이 제한을 받는 상황에서 근처의 다른 선박에게 상황을 전달하기 위해서 등화(불빛)와 형상물을 사용해야한다는 점에서 착안하였다. 제안 시스템을 실제 해상 환경에서 실험하기에 제한점이 많아 프로토타입을 구현하여 실험실 환경에서 실험하고 사용자 평가를 실시하였다. 즉, LED를 가상 등화로 하여 선박에 설치된 것과 동일한 색상과 동일한 위치에 배치하고 이를 카메라를 활용하여 인식 실험을 하였으며 약 90%의 인식률을 보였다. 그리고 이러한 실험화면을 활용하여 항해업무 종사자 15명을 대상으로 사용자 평가를 실시하였으며 대부분의 사람들이 제안된 체계가 해상에서 유용하다고 답변하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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