• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제9권3호
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• pp.37-41
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• 2002

본 연구에서는 자기 공명 특성을 이용한 박막 센서의 멤브레인 및 박막 센서의 특성을 알아보았다. 멤브레인으로 유망한 물질로 $Si_xN_y$과 SiC가 있으며, 최적의 멤브레인 형성 조건을 알고자 박막의 잔류 응력 및 물성을 비교 분석하였다. 그 중에서 박막 센서에 적용 가능한 멤브레인으로 SiC보다 적절한 인장응력과 낮은 열팽창 계수를 가지는 $Si_xN_y$이 센서의 구조층으로 우수하였으며, $Si_xN_y$위에 박막 센서 물질을 증착 및 패턴닝(patterning)을 함으로써 센서의 자기 이력 곡선 및 자기 공진 주파수를 분석하였다. 센서에 인가되는 외부 자기장을 제거하면 자장에 의해 형성된 자화(magnetization)가 탄성 모드로 바뀌면서 에너지 방출에 의해 센서에서 전압이 발생하는데 이때 전압 발생 구간이 길어지면 기계적 진동이 야기되어 신호가 발생한다. 그리고 센서의 길이 및 폭이 증가할수록 자기공명 주파수가 감소하는 것을 볼 수 있다.

• 진공이야기
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• 제5권1호
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• pp.4-8
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• 2018

Many devices based on magnetism such as power generators and motors are frequently used in real life. Magnetic materials at nano-scale can be utilized as storage devices such as magnetic tapes and hard disk drives as well as spintronics. In addition to spintronics, magnetic biosensors are another interesting application of magnetic devices at nano-scale. Here, we briefly review magnetic nano-biosensors including Hall-effect sensors, giant magnetoresistive sensors, and tunnel magnetoresistive sensors for many biomedical applications.

• 한국자기학회지
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• 제1권2호
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• pp.85-88
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• 1991

압전 토오크 센서를 사용하는 고감도 자력계를 제작하였다. 미소진폭의 진동자기장을 자화된 시료에 인가할 때 생기는 토오크를 압전소자로 측정하였다. 그 토오크는 시료의 자화에 비례한다. 포화자 화의 측정오차는 기존치에 대하여 5% 이내였다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제5권1호
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• pp.83-90
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• 1998

LPCVD를 이용하여 증착한 SiN과 ECR plasma CVD를 이용하여 증착한 SiC의 물 성과 적용가능성을 시험하였다. LPCVD로 증착된 SiN은 열처리 없이 저 응력의 박막형성이 가능했으며 가시광투과도 표면 평활도 역시 우수하였다. 탄성계수 값이 크지 않아 자성센서 의 지지구조로 사용할 경우 자기공명에 의한 진동을 크게 구속하지 않아 유리할것으로 기대 된다. 반면 ECR plasma CVD로 증착된 SiC는 SiN보다는 못하지만 다른 방법에 의해 증착 된 SiC에 비해서는 가시광 투과도 및 표면 평활도가 후수하므로 X-선 조사에 대한 안정성 과 더불어 X-선 마스크용 membrane으로서 사용이 적절할 것으로생각된다.

• 한국초전도저온공학회:학술대회논문집
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• 한국초전도저온공학회 2003년도 학술대회 논문집
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• pp.137-139
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• 2003

The relationship between magnetic properties of BiPbSrCaCuO superconductor and externally applied magnetic field was studied to develop a magnetic field polarity sensor. The behavior was related to the magnetic flux trapped in the superconductor, which penetrates through the material by the external magnetic field. Some portion of the superconductor was changed to a normal state by the trapped magnetic flux. Electrical characteristics of the superconductor with trapped magnetic flux were extremely sensitive to the external magnetic field and showed different responses depending on the direction of the magnetic field.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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• pp.78-81
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• 2004

A technical performance of the coating depends greatly on the thickness of painting film or coating film. Therefore the confirmed report of the technique to measure accurately is essential to the coating film thickness for the assessment about a coating quality performance. In this paper, two gap sensors - eddy current gap sensor and capacitance gap sensor - which has a different operating principle were used to measure the thickness of a nonmagnetic substance coating film such as paint, enamel or ceramic that was coated on the metallic material. A capacitance gap sensor was used to measure the distance between the sensor head and a coating film and an eddy current gap sensor to measure the distance between the sensor head and a base metal. Then the thickness of a coating film was obtained by the difference of two measurement value. At this result, the suggested dual sensor can measure an arbitrary film thickness to be coated on a base metal as the measurement value of coating thickness exists accurately within the 2％ error.

• 한국자기학회지
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• 제8권2호
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• pp.74-78
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• 1998

LPE법으로 양질의 단결정 Bi, Gd:YIG 막을 GCMZGG 기판상에 성장시켜 자기, 광자기 및 센서특성을 조사했다. 제조한 막은 히스테리시스가 거의 없는 직선성이 양호한 연자성 특성을 나타냈고, 상온에서의 포화 Faraday 회전각은 45$^{\circ}$, 포화자장은 약 1.1kOe, 베르데 상수는 5.6$^{\circ}$/(cm,Oe0이었으며, 베르데상수의 온도의존성은 $0^{\circ}C$-10$0^{\circ}C$에서 약0.0056$^{\circ}$/(Oe, cm, $^{\circ}C$)로 우수한 특성을 나타냈다. 또한, 제조한 막을 사용하여 센서특성을 특정한 결과 전류의 세기가 3A-300A에서 양호한 적선성이 얻었졌다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제6권1호
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• pp.81-89
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• 1999

Micromachining을 이용하여 기존의 전자 물품 감시에 사용되는 자기공명센서의 소형화 공정을 연구하였다. 설계 한 구조는 Free Standing Membrane형 과 Diving Board형의 두 가지이며 각자에 대해 적합한 공정 조건을 수립하고 실제로 그 구조를 형성해 보았다. 멤브레인형의 경우는 센서 모양을 여러 가지 형태로 쉽게 바꿀 수 있는 반면에 그 크기가 실리콘 기판의 두께에 의존하여 소형화하는데 한계가 있었으며 다이빙 보드형의 경우 소형화에도 유리하고 센서의 자기변형이 보다 자유로운 구조였다. 실리콘 질화막은 일반 반도체 공정에서의 조건보다 Si의 함량을 크게 하여 열처리 없이도 저응력의 박막형성이 가능하였으며 탄성계수 값이 크지 않아 센서 부분의 자기변형을 크게 구속하지 않아 센서물질의 지지층으로 유리한 물질이었다. 또한 스퍼터링으로 증착된 텅스텐은 자성 센서 물질로 연구되고 있는 Fe-B-Si물질에 대한 식각 선택도가 높아 구조 형성 공정 중 보호 층으로 사용된 후 제거될 수 있음을 알 수 있었다. 따라서 지지층으로 실리콘 질화막을 사용하고 보호층으로 텅스텐 박막을 사용한 다이빙 보드형 구조가 전자 물품 감시(EAS)용 센서의 소형화에 유리 할 것으로 생각된다.

• 센서학회지
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• 제14권1호
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• pp.16-21
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• 2005

This paper presents the development of the optical switch using magnetic behavior of magnetic fluids, which is expected to be used broadly in high-speed information communication. The magnetic fluids for switching an incident light, have the magnetic characteristics of magnetic materials and fluidity of liquids, simultaneously. The relations are derived between the intensity of magnetic field and the angle of optical fiber which is bent by a behavior of magnetic fluid when the magnetic field is applied. When optical switch is implemented by the movement of liquid using magnetic fluid, the existing problem of durability for optical switch will be improved. Thus, this study shows the feasibility of the application for the optical switches using magnetic fluids.

• 센서학회지
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• 제15권3호
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• pp.158-163
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• 2006

This paper reports a novel immunoassay method using superparamagnetic nanoparticles and an enhanced magnetic field gradient for the detection of protein in a microfluidic device. We use superparamagnetic nanoparticles as a label and fluorescent polystyrene beads as a solid support. Based on this platform, magnetic force-based microfluidic immunoassay is successfully applied to analyze the concentration of IgG as model analytes. In addition, we present ferromagnetic microstructure connected with a permanent magnet to increase magnetic flux density gradient (dB/dx, ${\sim}10^{4}$ T/m), which makes limit of detection reduced. The detection limit is reduced to about 1 pg/mL.