완전비접촉부상, 비접촉구동을 실현하는 크린룸용 자기부상반송시스템을 소개하였다. 이 시스템은 스테이션과 각 프로세스장치 사이의 loading/unloading에는 인간이 개입하지만, 스테이션과 각 프로세스장치를 직접 접속하고 loading/unloading도 자도화하면 무인의 완전 무진자동반송시스템을 실현할 수 있을 것이다. (이와같은 문제점을 개선시킨 시스템을 Sumitomo가 개발하여 발효하였고 이에 대해서는 참고문헌를 참고하기를 바란다).
본 논문은 Overhead Hoist Transport(OHT)를 운반 장비로 사용하는 반도체 생산 라인 자동물류시스템에서의 차량배차문제를 다룬다. 고려하는 반도체 라인은 18 개의 bay 와 6 개의 stoker 로 구성되며 160 대 이상의 OHT를 가진다. 자동물류시스템은 최소한의 OHT 대수로 하루 100,000 건의 웨이퍼를 이동시켜야 하며 반송시간과 편차를 최소화하여야 한다. 전통적인 차량배차규칙에서는 차량이 어떤 작업에 할당되면 그 관계가 변하지 않는 반면, 본 연구에서는 시스템 상황의 변화에 따라 차량을 작업에 재할당하는 방법을 제안한다. 시뮬레이션을 통해 제안된 방법을 shortest travel distance first 규칙과 비교한 결과, 필요한 OHT 대수, 반송시간과 반송시간의 편차 측면에서 획기적인 효용성 향상을 보였다.
자동반송 장비의 주행축에 적용되는 횡자속 선형전동기는 위치제어를 목적으로 한다. 위치제어는 자동 반송 장비가 최소구동시간에 최대의 생산을 할 수 있도록 성능이 우수한 구동프로파일을 사용하게 되는데, 어떤 종류의 구동 프로파일을 적용하느냐에 따라 시스템 전체의 응답 속도는 물론이고 진동과 소음을 최소화하여 전체 시스템의 성능을 좌우하게 된다. 일반적으로 사용되는 사다리꼴 속도 프로파일은 변화가 일정한 가감속 전류를 필요로 하고, 전체 구동시간이 짧아 간단한 시스템에 널리 사용되고 있지만, 가속의 끝점과 감속 구간의 시작점에서 급격한 속도 변화에 따른 져크(Jerk)가 발생하여 기구부에 충격이 가해지며, 이로 인한 진동과 소음을 유발해 순간적으로 큰 동적 에러를 발생시킨다. 따라서, 본 연구에서는 부드러운 속도 프로파일을 가지며 운동의 시작점과 끝점에서 '0'의 가속과 져크를 가지는 고차원의 구동 프로파일을 제시하고 횡자속 선형전동기에 적용하여 소음 특성을 분석하였다.
본 논문은 존 조정하에서의 자동반송차량 네트워크에서 발생하는 고착을 해결하기 위한 두 가지 효과적인 알고리듬을 소개한다. 이 알고리듬들은 특별히 양방향 네트워크에 알맞도록 고안되었다. 사이클 제거 알고리듬은 고착을 예방하기 위한 차량의 안전한 라우트를 결정하나, 그래프 축소 알고리듬은 고착을 회피하기 위하여 미래 잠재적인 고착 발생 조건을 결정한다. 시뮬레이션을 통하여 알고리듬들의 성능을 비교 분석한 결과 작업물의 이동 횟수와 알고리듬의 시간 복잡성 측면에서 그래프 축소 알고리듬이 사이클 제거 알고리듬 보다 우수함을 나타내었다.
클린룸에서 자동 물류 반송장비가 선형모터와 비접촉 전원장치를 이용하여 직선구간으로 설치되어 적용하는 경우는 있지만, 곡선구간을 갖는 경우에 적용하기 위한 연구는 희박하다. 이에 저자들은 초기 90도의 곡선구간으로 개루프 구간을 갖는 연구를 진행하였다. 따라서 본 논문은 더욱 향상된 180도 곡선구간과 직선구간으로 이루어진 폐루프 구간을 구성(현장과 유사하게 구성)하여 자동 물류 반송장비인 OHS 시스템의 선형모터의 구동 전원으로 적용하기 위한 비접촉 전원장치의 출력특성에 대한 연구를 진행하였다.
자동반송 시스템인 천장용 호이스트 이송장치는 천장을 반송공간으로 반도체 웨이퍼를 운반하는 장치이며, 분진이나 소음 및 진동에 대단히 민감하다. 구동부와 레일의 접촉에 의해서 발생되는 마찰, 분진 소음 등의 문제를 최소화시키고 구동부와 이재부의 자중에 따른 구조물 자체의 안정성 검토를 수행하기 위해서 레일의 구조해석 및 최적설계가 필요하다. 본 연구에서는 구동부의 자중에 의한 레일의 기울기를 관심영역으로 설정하고, 변위 및 기울기를 최소화시키기 위해서 위상최적화, 근사 최적화 기법을 도입하여 최적화를 수행하였다. 구조해석은 ANSYS를 이용하였고, 3D 모델링은 Pro/Engineer를 이용하였다. 최적화 알고리즘은 수렴성이 높은 순차 이차 계획법인 PLBA(Pshenichny-Lim-Belegundu-Arora) 알고리즘을 사용하였다.
AGV is very proper equipment for Port Automation. AGV must have Obstacle Detection System(ODS) for port automation. Obstacle Detection System must have some functions. It must be able to classify some specified object from background data. And it must be able to track classified objects. Finally, ODS must determine its next action for safe cruise whether it must do emergency stop or it must speed down or it must change it track. For these functions, ODS can have many different structure. In this paper, we will propose one structure among some possible own which is under construction.
본 논문에서는 전력증폭기 선형화를 위한 Cartesian feedback 방식의 궤환 경로에서 발생하는 DC offset과 이득 및 위상 불일치를 자동적으로 보상하는 개선된 방식을 제안한다. Cartesian feedback에 의한 비선형 전력증폭기 왜곡성분의 감쇠 정도는 시스템 루프의 이득, 대역폭, 시간지연에 의해 결정된다고 알려져 있다. 그러나 궤환 경로 각 소자에서 발생하는 DC offset과 이득 및 위상의 불일치로 인하여 송신기의 출력신호에 원하지 않는 반송파 성분과 이미지 신호가 발생하여 궤환보상의 효과가 반감되는 결과를 초래한다. 본 논문에서는 디지털 신호처리 시스템 구조에서 이진 검색 (binary search) 알고리즘을 이용하여 궤환 경로에서 발생하는 DC offset과 이득 및 위상 불일치를 자동적으로 보상하는 방식을 제안하고 컴퓨터 모의실험을 통하여 제안된 방식의 성능을 분석한다. 모의실험에서 고려된 방식에 비하여 동일한 정도의 DC offset과 이득 및 위상 불일치의 보상에 걸리는 시간을 평균적으로 40% 단축할 수 있었다.
This paper introduces a clean mobile robot fur 4th generation LCD cassette, which is guided by optical sensor and position compensation using vision module. The mobile robot for LCD cassette transfer might be controlled by AGV controller which has powerful algorithms. It offers optimum routes to the destination of clean mobile robot by using dynamic dispatch algorithm and MAP data. This clean mobile robot is equipped with 4 axes fork type manipulator providing repeatability accuracy of $\pm$ 0.05mm.
NOAA 위성에서 보내오는 고해상도(HRPT) 전좌신호를 추적하고 수신하는 수신장치의 개발을 소개하였으며, 또한 저해상도(ART) 수신 장치 및 수신된 화상을 얻는 방법을 소개하였다. HRPT는 직경 3m의 안테나로 1500km의 거리에 있는 NOAA 위성으로 부터 받는 반송파대 잡음비는 15dB 측정되어 2000km 이내의 위성 신호 수신이 가능함을 보였다. 위성추적은 산출된 위성궤도를 따라 자동적으로 위성을 추적하는 program추적으로 할 수 있으며, 전파신호의 도래 방향으로 안테나를 자동 이동시키는 monopulse 추적이 성공적으로 동작됨을 확인하였다. 전 시스템 중 포물면 안테나와 치치 그리고 철탑을 국내 업체에 주문 제작 하였으며 복조기를 제외하고 각종 프로그램을 포함한 전 시스템이 실험실에서 설계, 제작, 시험되었다. HRPT수신시스템은 과학기술처 특정연구와 체신부 전파연구소 연구사업으로 4개년에 걸쳐 수행되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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