• 제목/요약/키워드: 입사에너지

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고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 공정 개발

  • 김도근;이승훈;김종국
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.508-508
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    • 2011
  • 스퍼터링을 이용한 박막 증착기술은 다양한 분야에 걸쳐 적용되어 왔으며, 스퍼터링 타겟 사용효율을 향상시키기 위해 마그네트론 구조 최적화 및 이온 소스 적용 스퍼터링 등의 기술이 연구되어 왔다. 또한 인듐과 같은 희토류 금속의 가격이 최근 상승함에 따라 고효율 스퍼터링기술의 필요성은 더욱 증대되었다. 본 연구에서는 고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 공정을 개발하였다. 동공 음극방전에서 생성된 고밀도 플라즈마는 전자석 코일을 통해 형성된 자기장을 따라 스퍼터링 타겟 표면까지 수송되며, 음전위로 대전된 스퍼터링 타겟 표면에서는 가속되어 입사하는 이온에 의한 스퍼터링이 발생한다. 본 스퍼터링 공정 기술의 경우, 기존 마그네트론 스퍼터링 소스에서 나타나는 약 30%의 타겟 사용 효율을 뛰어넘는 약 80% 이상의 타겟 사용률을 보였다. 또한 고밀도 플라즈마 소스에서 공급되는 이온에 의한 스퍼터링 공정을 개발 함에 따라 스퍼터링 방전전압의 독립적 조절이 가능하다. 이에 따라 200 V 이하의 저전압 스퍼터링 공정을 통해 유연성 폴리머 기판 및 유기소자 상 저에너지 이온 증착이 가능하며, 1 kV 이상의 고전압 스퍼터링을 통해 추가적인 기판 전압 인가 없이 박막 치밀화 구현이 가능하다.

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Cellulose Nitrate 고체비적검출기(固體飛跡檢出器)의 부식조건(腐蝕條件) (On the Etching Condition of Cellulose Nitrate Solid State Nuclear Track Detector (SSNTD))

  • 명동범;전재식
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제12권1호
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    • pp.26-33
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    • 1987
  • 알파입자 검출을 위한 고체 비적 검출기인 CA 8-15와 LR 115-1은 그 부식조건이 검출기 제조 회사에서 이미 주어지고는 있으나 이들 검출기에 대한 최적부식에 관한 실험적 검토를 다시 행하였는바 최적부식시간에 현저한 차이가 있음을 발견하였다. 검출기의 방사선 조사는 이미 설정된 기하학적 배치조건하에서 $0.1{\mu}Ci$수준의 $^{241}Am$ 알파선원으로 수행하였다. 부식시간과 용액 농도의 함수로서의 비적크기에 대한 분석과 검출기에 검출된 단위면적당 비적의 이론적 기대치에 대한 비교 조사를 행하였으며, 입사 알파입자의 유효 에너지에 대한 검출효율의 변화에 대해서도 연구하였다.

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이중 주파수 전원의 용량성 결합 플라즈마 식각장비에서 전극하전에 의한 입사이온 에너지분포 변화연구 (Electrode Charging Effect on Ion Energy Distribution of Dual-Frequency Driven Capacitively Coupled Plasma Etcher)

  • 최명선;장윤창;이석환;김곤호
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.39-43
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    • 2014
  • The effect of electrode charging on the ion energy distribution (IED) was investigated in the dual-frequency capacitively coupled plasma source which was powered of 100 MHz RF at the top electrode and 400 kHz bias on the bottom electrode. The charging property was analyzed with the distortion of the measured current and voltage waveforms. The capacitance and the resistance of electrode sheath can change the property of ion and electron charging on the electrode so it is sensitive to the plasma density which is controlled by the main power. The ion energy distribution was estimated by equivalent circuit model, being compared with the measured distribution obtained from the ion energy analyzer. Results show that the low frequency bias power changes effectively the low energy population of ion in the energy distribution.

웨이브릿 영역에서 기하학적 특징과 PCA/LDA를 사용한 얼굴 인식 방법 (Face Recognition Method using Geometric Feature and PCA/LDA in Wavelet Domain)

  • 송영준;김영길
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제4권3호
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    • pp.107-113
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    • 2004
  • 본 논문은 얼굴의 기하학적인 특징과 웨이브릿 변환을 사용한 PCA/LDA 복합 방법을 제안하여 얼굴 인식 시스템의 성능을 향상시켰다. 기존의 PCA/LDA 방법은 형태적인 분산의 정도에 따라 유사도를 측정하였기 때문에 얼굴 윤곽선을 정확하게 반영하지 못하였다. 이 단점을 극복하기 위하여 본 논문에서는 눈과 입사이의 거리를 측정하여 질의영상과 훈련영상에서 큰 차이가 있을 경우에는 얼굴내의 눈, 코, 턱 각각의 영역에 대한 에너지를 특징 벡터로 사용하여 기즌의 PCA/LDA로 계산한 유사도를 재산정하였다. 본 논문에서 제안한 방법을 이용해서 ORL 데이터베이스의 400개 얼굴 영상에 대해 모의 실험한 결과 기존의 PCA/LDA 방법보다 약 4%의 인식률 향상이 있음을 보였다

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자체회절 진동에 의한 포토폴리머 홀로그램의 격자 위상측정 (Grating phase measurement of photopolymer hologram by self-diffraction oscillations)

  • 경천수;성기영;곽종훈;최옥식;이윤우;이인원;서호형;이일항
    • 한국광학회지
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    • 제10권4호
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    • pp.328-334
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    • 1999
  • Acrylamide를 홑몸체로 하는 포토폴리머에서 두광파혼합(two-wave energy coupling)실험을 하였다. 외부의 전기장이나 비선형 매질의 이동, 또는 두 입사파 중 광파의 위상이동 없이 자체회절 진동(self-diffraction oscillations)로 측정되었다. 이러한 현상을 설명하기 위하여 위상격자와 흡수격자가 혼합된 격자(mixed grating)와 두 광파의 에너지 결합동안에 형성되는 강도 간섭무늬에 대해 공간 위상 이동(nonlocal response)이 있는 경우를 가정하여, 수정된 Kogelnik의 결합파동 방정식을 유도하였다. 측정된 자체회절 진동을 통하여 포토폴리머의 위상격자(phase grating)는 강도격자(intensity grating)에 대해$\pm$50。의 위상 이동이 있음을 알았다.

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다목적 실용위성 3호 RFC 시험 결과의 이론적 검증

  • 장경덕;김태윤;장재웅;문귀원
    • 천문학회보
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    • 제37권2호
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    • pp.196.1-196.1
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    • 2012
  • 인공위성은 지상에서부터 발사 및 궤도 운용까지 다양한 전자파 환경에 노출되며 이러한 환경에서의 위성 운용을 검증하기 위하여, 다양한 전자파 환경을 모사하는 전자파 환경시험을 수행하게 된다. 특히, 궤도내에서 위성의 운용시 지상국과의 교신을 위하여 X 밴드 안테나와 S 밴드 안테나에서 지상국으로 강한 전자기파를 방사하게 되는데, 이 방사에너지가 위성에 영향을 주는지 검증하는 시험을 지상에서 수행한다. 이런 시험을 RFC (RF Auto-Compatibility) 시험이라고 부른다. RFC 시험은 위성으로부터 방사되는 전자기파가 외부에 새어나가지 않도록 전자파 챔버내에서 시험하며, 강한 전자기파를 흡수할 수 있는 고전력 전파 흡수체가 설치된 전자파 챔버가 필요하다. RFC 시험시 X 밴드 안테나와 S 밴드 안테나를 최대 전력으로 방사시키고, 이때 위성 주변에 전자파 센서를 부착하여 전계강도를 측정함으로써 위성으로 입사되는 전자기파의 세기가 적정 레벨 이하인지를 검증하고, 동시에 위성의 운용상태를 확인하여 위성에 영향이 없음을 검증한다. 본 논문에서는 다목적 실용위성 3호의 RFC 시험시 측정된 전계강도를 이론적으로 검증하고, RS 시험시 인가하는 레벨과의 상관관계를 설명한다. RS 시험 레벨의 선정은 위성 안테나의 방사레벨과 관련이 있으며 RFC 시험결과를 검토함으로써 RFC 시험 결과의 유효성과 RF 레벨 요구사항의 적절성을 검증한다.

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저궤도 관측용 다중 카메라 성능 및 활용 분석

  • 신상윤;용상순
    • 천문학회보
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    • 제37권2호
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    • pp.225.2-225.2
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    • 2012
  • 저궤도 관측용 다중 카메라를 통해 고해상도 위성을 제공할 수 있으며, 지도 제작이나 환경, 농업, 해양 지역 모니터링 등의 목적으로 사용될 수 있다. 특히 항공촬영 및 지구 관측을 통해 수치표고모델(DEM) 추출을 함으로써 촬영지역의 고도정보를 포함하는 입체영상을 얻는데 유용하다. 또한, 달 관측을 위한 관측위성에 장착할 경우 달 표면의 지형을 정밀하게 얻어내어 달표면 고도 지형 지도제작 및 향후 달 탐사선을 통한 달 탐사 시 탐사지역 선정에 필요한 정보를 제공할 수 있다. 다중 카메라를 포함한 탑재체 시스템은 크게 광학부와 카메라 전자부로 구성된다. 광학부에서는 입체촬영 및 줌인이 가능한 광학계를 제공하며, 카메라 전자부에서는 광학계를 통해 검출기로 입사되는 빛에너지를 전자신호로 변환하고, 이를 카메라 전자부 영상출력 형식으로 변환하게 된다. 특히, 다중카메라를 각각 제어하기 위한 정밀제어로직, 다양한 촬영 지원 모드, 다중카메라 영상자료 및 영상처리를 위한 추가적인 영상정보를 제공한다. 본 논문에서는 저궤도 관측용 다중 카메라를 이용한 다양한 활용에 따른 각 모드별 성능분석방법을 제안한다. 이를 위해 각 촬영조건에 따라 필요한 파라미터를 분석하고 실제 활용시 예상되는 성능을 분석해 본다. 또한 다중카메라를 통해 얻어진 영상을 처리하는데 필요한 처리 과정 및 처리된 영상을 활용하는 방법을 제시한다. 특히 다중 카메라 촬영을 통해 얻어진 영상데이터의 특성을 알아보고, 이를 보정 및 처리하기 위해 필요한 추가 적인 정보, 영상파라미터, 처리 단계 및 최종결과물을 검증하는 방법을 제시한다.

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복층유리 격자루버시스템의 주광특성에 관한 시뮬레이션 평가 (Evaluation on the Characteristics of Daylight Distributions of Grating Louver System in a Pair Glass by Computer Simulation)

  • 박병철;최안섭
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제23권12호
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    • pp.1-9
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    • 2009
  • 최근 실내에 유입된 주광을 활용하여 인공조명의 에너지를 절감하는 광센서 조광제어시스템에 관한 연구는 유용한 주광의 유입을 위한 자동 차양장치와의 통합을 중심으로 이루어지고 있다. 기존의 연구는 자동 롤러쉐이딩시스템과 베니션블라이드에 관한 연구로, 이 두 시스템은 주광의 입사를 수직적으로 계산한 일영각을 기준으로 차양장치의 높이 및 각도를 계산하여 제어하고 있다. 본 연구는 광센서 조광제어시스템과 연동을 위한 새로운 차양장치로 주광의 유입을 수직 수평으로 제어하는 복층유리 격자루버시스템을 제안하고, 창면의 위치에 따른 루버의 간격을 산출하였으며, 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 격자루버시스템의 주광유입특성을 분석하고 평가하였다.

파력 발전기에 미치는 유체력의 제어에 관한 연구 (A Study on the Control of Hydrodynamic forces for Wave Energy Conversion Device Operating in Constantly Varying Ocean Conditions)

  • 김성근;박명규
    • 한국항해학회지
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    • 제14권4호
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    • pp.41-52
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    • 1990
  • 부유식 진동수주형 파력발전기는 불규칙한 해상 상태에서의 작동으로 인하여 흡수효율의 저하를 필수적으로 수반한다. 본 논문에서는 입사파의 에너지를 적절히 흡수할 수 있는 파력발전기를 초기설계하여 모델로 이용하였으며, 이 모델의 유체력추정에는 3차원 특이점 분포법을 사용하였다. 그리고, 가변구조 시스템으로 알려진 슬라이딩 모드기법을 이용하여 파의 상태 변화에 따른 파력발전기의 자세와 위치를 제어함으로써 흡수파력의 효율을 중대시킬 수 있는 시스템을 제안하고 있다.

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섬광에 의하여 사람 눈에 입사되는 광 에너지 (Irradiant Energy into an Eye from a Flash Light)

  • 박승만;한승오
    • 전기학회논문지
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    • 제65권7호
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    • pp.1225-1230
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    • 2016
  • Since a flash light produces enormous amount of photon energy in short time, not only electro-optic and infrared(EO/IR) systems utilized for Intelligence Surveillance Target Acquisition and reconnaissance(ISTAR) activities but also the people of a combat field can be severely influenced by a high flash light bursting in front of them. The people who bumped into a flash could not escape such enormous amount of photon energy, resulting in being blind temporarily or even permanently. In order to investigate the effect of a high flash source on a human eye, it is essential to know how much photon energy be incident into an eye from the flash source. In this paper, the model of irradiated photon energy to individuals from some flashes is proposed. The proposed irradiated photon energy per unit area of retina is based on taking the situation to be modeled as a simple EO system in front of a flash light. The validity of proposed model was proved by the application of the model to human on the surface of the earth with the well known light source, the Sun. The model of this study can be utilized to simulate the retinal intensity and energy of a flash for various conditions such as the illumination levels, the distance from a flash busting site, luminous intensity and time of a flash.