본 논문에서는 $0.5\mum$의 최소선폭을 가지는 초고집적 소자제조에 필요한 레지스트 재료의 특성 및 레지스트 공정을 살펴보았다. 일반적인 레지스트 특성변수들 중에서 소자의 고집적화에 따라 중요한 미세형상 정의 및 건식식각에 의한 패턴전사에 관련된 변수들을 깊이 살펴보았다. 미세형상 정의에 필요한 레지스트 특성의 한계는 회절에 의한 분해능 한계 이론을 적용하였고, 패턴전사에 필요한 한계는 반응성 이온식각 과정을 고려하여 유추하였다. 마지막으로 굴곡이 있는 기판 상에서의 초미세 형상 정의를 위한 여러가지 레지스트 공정을 간단하게 비교 검토하였다.
이 글에서는 활주형선의 단면형상 및 장-폭비와 저항특성과의 관계를 실험적으로 살펴보았다. 본 연구는 5단계로 구성된 연구 계획중 졔 1단계 연구로써 수행되었으며 본 연구를 통하여 단면형상 및 장-폭비의 변화에 따른 저항특성, 종방향 경상(trim), 그리고 침하량(sinkage)의 변화에 대한 초기 결론을 내릴 수 있다. 이러한 초기 결과를 가지고 활주형선의 일반적인 특성에 대한 어떤 분명한 결론을 내리기에는 부족하다고 하겠으나 앞으로 남은 연구를 효율적, 성공적으로 이끌어 가기 위한 초석이 된다고 할 수 있겠다.
Lee, J. H.;Jun, K-I;Shin, Kyung-Ho;Park, S. Y.;K. Rhie;Lee, B. C.
한국자기학회:학술대회 개요집
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한국자기학회 2002년도 동계연구발표회 논문개요집
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pp.156-157
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2002
자성체, 반도체의 계면을 조절하여 스핀 산란을 없애는 방법으로 A12O3를 이용하여, 스핀의 정보를 잃지 않고 반도체에 주입할 수 있는 방법을 연구하였다. 반도체에 월형 편광된 laser를 조사하여 내부에서 여기한 전자 spin이 자성체 내부로 흘러가면서 일어나는 현상을 관측한 것이다[1], [2]. 일반적인 반도체와 금속간의 접합을 구성한 schottky-barrier 특성이 아닌 접합 사이에 인위적으로 barrier를 형성하여 그 특성을 관측하였다. n-type 과 p-type의 시료를 제작하여 I-V 특성을 온도에 따라 I-V 특성 측정하였다. (중략)
일반적인 인쇄회로형 안테나는 사용가능 주파수 대역폭이 협소하여 여러 가지 복잡한 과정을 거쳐 대역폭 확장을 위한 대책을 강구하고 있으나, 기존의 실린더형 폴디드 다이폴 안테나의 특성이 단일 다이폴 보다 우수함을 이용하여 이를 인쇄회로형 폴디드 안테나로 개량함으로서 기존의 일반적인 인쇄회로형 보다 넓은 대역폭을 간단한 구조에서 실현할 수 있었다. 급전선로로서는 최근 관심의 대상이 되고 있는 코플레나 도파관(CPW)의 장점을 활용하기 위하여 CPW 선로를 이용하여 급전하도록 하였으나, 인쇄회로형 폴디드 다이폴 안테나의 경우 CPW 선로를 이용할 경우 급전이 복잡하게 때문에, 폴디드 다이폴을 폴디드 슬롯 형태로 바꾸어 설계를 하고, 바비넷 원리를 이용하여 설계 데이타를 간단히 대치할 수 있는 방법을 활용하였다. 설계하고 제작된 CPW급전 폴디드 슬롯 안테나의 특성을 측정한 결과 주파수 대역폭은 약 20% 정도로 기존의 일반적인 형태의 인쇄회로형 안테나보다 현저히 개선됨을 확인할 수 있었다.
전력기기용 기체절연매질로서 일반적인 전력기기용 절연기체로는 공기와 $SF_6$, dry air 등이 사용되고 있으며, 초전도전력기기용 절연기체로는 기체헬륨과 기체네온 등이 주로 사용되고 있다. 본 연구에서는 일반적인 전력기기용 절연기체로 주로 사용되는 공기와 초전도전력기기용 절연기체로 사용되는 기체헬륨의 절연특성을 구 대 평판 전극을 이용하여 비교, 분석하였다. 실험에 사용된 구 대 평판 전극은 절연실험에 의한 기계적 손상을 최소화하기 위하여 스테인레스 스틸을 이용하여 제작하였으며, 공기와 기체헬륨 각각에 대하여 다양한 구 전극의 직경과 전극간격에 대한 절연실험이 수행되었다. 이러한 두 기체의 절연실험 결과를 분석하기 위하여 유한요소해석법을 사용하였다. 본 연구를 통하여 기체의 절연파괴특성은 절연기체의 최대전계에 대한 함수로 표현될 수 있다는 것을 알 수 있었으며, 절연파괴 특성 분석을 통하여 절연기체의 종류에 따른 다양한 전력기기의 절연설계법을 확인할 수 있었다. 또한 본 연구결과는 일반 전력기기뿐만 아니라 초전도전력기기의 절연설계법 확립에 도움이 될 것으로 기대된다.
핀 배열 안테나를 이용한 선형 위상 배열 안테나의 방사 특성을 일반적인 패치안테나를 이용한 선형 위상 배열 안테나와 방사 특성을 비교하였다. 핀 배열 안테나를 이용한 위상 배열 안테나는 단위 안테나간의 상호결합이 작게 발생하기 때문에 일반적인 패치안테나를 이용한 위상 배열 안테나의 성능보다 향상되었다. 핀 태열 안테나를 이용한 선형 위상 배열 안테나는 주빔의 방향에 따른 이득과 side lobe level 의 변화가 적은 우수한 방사 특성을 가진다.
국내 CNG Bi-fuel Kit를 개조한 차량들은 대부분 Diaphragm 감압방식을 적용한 기계식 레귤레이터를 장착하여 운행 중에 있다. 하지만 Diaphragm의 재질 특성 및 기계식 압력제어 방식의 특성 상 다양한 문제점들이 발생되고 있으며, 이를 개선하기 위한 연구들이 진행되고 있다. 본 연구에서는 CNG 차량용 레귤레이터의 압력제어방식에 따른 성능특성 확인 및 비교 분석 진행을 통해 개선방안을 도출하고자 하였다. 실험 결과에 따르면 Diaphragm을 적용한 감압방식이 Piston을 적용한 방식보다 일반적인 성능에서 유리하였으나 주변 온도환경 변화에 따른 변동 폭이 큰 것을 확인하였다. 또한 전자식 압력제어를 통해 레귤레이터의 일반적인 성능을 향상시킬 수 있음을 확인하였다.
본 연구에서는 진공 인라인 실장 기술을 이용하여 제작한 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 전기적 광학적 특성을 측정하여, 일반적인 실장 방법을 이용한 PDP의 특성과 비교 분석하였다. 본 실험에 사용된 패널은 Screen Printer를 이용한 상 하부전극과 하판 유전체, 상판 투명유전체, 격벽 및 E-Beam Evaporation 방법을 이용하여 증착한 MgO 보호막으로 이루어져 있으며, 분위기 온도 $430^{\circ}C$, Ne-Xe(4%) 400[torr]압력 하에서 실장하였다. 높은 분위기 온도로 인하여 MgO에 Crack이 발생하였으나 지속적인 연구를 진행하여 최적의 실장 조건을 확립할 수 있었다. 이러한 진공 인라인 실장 기술은 추가적인 Annealing 공정이 필요하지 않아 공정의 단축을 모색할 수 있으며, MgO의 수화를 제거함으로써 일반적인 실장 방법을 이용한 패널보다 더 우수한 전기적 광학적 특성을 얻을 수 있었다.
식생의 물리적 특성에 따라 조도의 관점에서 식생이 흐름에 미치는 영향도 많이 달라지게 된다. 일반적인 식생 조도 실험은 초본류를 대상으로 하고 있지만, 초본류 식생은 매우 유연하기 때문에 단일 개채가 흐름에 미치는 영향을 정량적으로 파악하는 것이 매우 힘들다. 따라서 단일 개체에 의한 조도 특성 보다는 식생군에 의한 조도계수 변화 특성을 알아내는 것이 보통 중요해진다. 하지만 조도의 관점에서 초본류와 달리 목본류는 삭생의 강성이 매우 크기 때문에 식생군의 군집으로서 특징보다는 개별 식생의 형상이 큰 역할을 수행하게 된다. 일반적으로 목본류는 수심에 따라 흐름에 영향을 주는 생체량(biosmass)이 수심에 따라 변화하지만, 줄기(trunk)의 경우 수심에 따라 생체량의 변화가 거의 없으며, 줄기의 강성 및 단면 모양이 큰 역할을 하게 된다. 또한 목본류는 실험 수로에 고밀도의 수목군을 형성하여 실험을 수행하는 것이 쉽지 않으므로 개별 식생이나 소규모 군체에 대하여 항력을 측정하여 조도를 평가하는 것이 일반적이다. 따라서 본 연구에서는 목본류의 줄기 부분이 흐름에 미치는 영향을 파악하기 위한 기초 연구로서 원기둥이나 사각기둥과 같은 식생 모형 요소를 이용하여 식생 줄기를 구현하였고, 식생 형상 및 식생 직경 등을 달리하여 침수 조건 변화에 따른 항력 변화 특성을 검토하였다.
분산객체지향 시스템 구축을 위하여는 일반적인 객체지향 시스템 분석/설계 이론과 원격 프로그램 처리를 할 수 있는 미들웨어 구조를 함께 이용할 수 있어야 한다. 객체지향 시스템 구축을 위한 분석/설계 방법론은 그 종류가 많아서 현재까지도, 최적의 방법론을 선정하는데 신경을 많이 쓰고 있는 형편이다. 여기서는 객체지향 분석/설계방법론과 이의 구현을 자바(Java)에 맞추되, 일반적인 객체지향 개념을 비롯해 분산객체를 지원하는 원격 객체의 설계관련 미들웨어, 대표적인 객체지향 방법론의 비교 및 그들이 특성을 설명하고자 한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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