• 제목/요약/키워드: 이온 충격

검색결과 84건 처리시간 0.028초

고온에서 무접합 및 반전모드 MuGFET의 문턱전압 이하에서 급격히 작은 기울기 특성 (Steep subthreshold slope at elevated temperature in junctionless and inversion-mode MuGFET)

  • 이승민;박종태
    • 한국정보통신학회논문지
    • /
    • 제17권9호
    • /
    • pp.2133-2138
    • /
    • 2013
  • 다중게이트 구조인 나노 와이어 n-채널 무접합(junctionless) 및 반전모드(inversion mode) MuGFET에서 문턱전압 이하의 급격히 작은 기울기 (subthreshold slope)가 온도에 따라 변하는 것을 비교 분석하였다. 온도가 증가함에 따라 무접합 및 반전모드 소자의 문턱전압 아래 기울기는 증가하는 것으로 관측 되었다. 문턱전압 아래 기울기 증가는 반전모드 소자보다 무접합 소자에서 더 심함을 알 수 있었다. 소자의 핀 폭이 다른 소자의 문턱전압 아래 기울기의 온도 의존성은 비슷한 것으로 관측되었다. 그리고 기판 전압에 따른 문턱전압 아래 기울기의 온도 의존성 측정으로부터 기판전압이 증가함에 따라 문턱전압 아래 기울기 변화는 심하지 않는 것으로 관측되었다. 기판에 양의 전압을 인가하므로 무접합 MuGFET 소자를 이용하여 400K 온도에서도 문턱전압 아래 기울기가 41mV/dec 이하인 소자를 구현할 수 있었다.

유도결합 플라즈마에 의한(Ba, Sr)TiO$_3$ 박막의 식각 특성 연구 (The Study on the Etching Characteristics of (Ba, Sr)TiO$_3$ Film by Inductively Coupled Plasma)

  • 김승범;이영준;염근영;김창일
    • 전자공학회논문지D
    • /
    • 제36D권4호
    • /
    • pp.56-62
    • /
    • 1999
  • 본 연구에서, (Ba,Sr)TiO\sub 3\ 박막이 rf 전력, dc 바이어스 전압 및 반응로 압력과 같은 식각 공정 변수를 변화하여 ICP에서 Cl\sub 2\Ar 가스 혼합비에 따라 식각되었다. 0.2의 Cl\sub 2\/(Cl\sub 2\+Ar) 가스 혼합비, 600 W의 rf 전력,250 V의 dc 바이어스 전압 및 5 mTorr의 반응로 압력의 공정 조건하에서 식각율은 56nm/min이었다. 이때 Pt, SiO\sub 2\ 막에 대한 BST 박막의 식각 선택비는 각각 0.52, 0.43이었다. 식각된 BST 박막의 표면반응은 XPS로 분석하였다. Ba는 BaCl\sub 2\ 와 같은 화학적인 반응과 물리적인 스퍼터링에 의해 제거되었다. Sr의 제거는 Sr과 Cl의 화확적인 반응보다 Ar 이온 충격이 더 효과적이었다. Ti는 TiCl\sub 4\ 와 같은 화학반응에 의해 용이하게 제거되었다. XPS 분석 결과를 비교하기 위하여 SIMS의 분석을 수행하여 비교한 결과 동일한 결론을 도출하였다.

  • PDF

등온열처리에 따른 2.25Cr-1Mo강의 초음파 특성 변화 (Change in Ultrasonic Characteristics with Isothermal Heat Treatment of 2.25Cr-1Mo Steel)

  • 남영현;백운봉;박종서;남승훈
    • 대한기계학회논문집A
    • /
    • 제37권3호
    • /
    • pp.353-358
    • /
    • 2013
  • 본 논문은 등온열처리 온도 및 시간에 따른 2.25Cr-1Mo강의 초음파 특성 변화를 조사하였다. Charpy 충격시험과 경도시험이 3종류의 열처리조건을 가지는 각 시편들에 대하여 실시되었다. 종파를 이용한 펄스-에코법이 초음파의 감쇠와 속도 측정에 사용되었다. 연취성천이온도(FATT)는 등온열처리 시간이 길어짐에 따라 증가하였는데, 이는 인성이 감소되고 있음을 의미한다. 등온열처리 시간과 온도의 증가와 함께 종파의 속도 및 초음파의 감쇠계수는 증가하였다.

Closed Drift Linear Source 공정을 이용한 SiOxCyHz barrier films 제작

  • 강용진;이승훈;김종국;김도근
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국표면공학회 2012년도 추계총회 및 학술대회 논문집
    • /
    • pp.186-186
    • /
    • 2012
  • 최근 Flexible organic electronics 분야에 대한 관심과 더불어 소자의 산소 및 수분의 침투를 방지하기 위한 투습방지막 연구가 활발히 진행되고 있다. 이에 본 연구에서는 Closed Drift Linear Source(CDLPS) 플라즈마 공정을 이용하여 저온 고속의 $SiO_xC_yH_z$ barrier flims 형성 연구를 진행하였다. HMDSO(hexamethyldisiloxane), TMS(trimethylsilane)와 산소를 기반으로 HMDSO/HMDSO+산소의 비율에 따라 $Si(-O_x)$ 변화에 따른 특성 평가를 진행하였다. X-ray photoelectrom spectroscopy(XPS) 및 Ft-IR spectrometer 측정 시 3.7% 비율에서 실리콘 원소가 산소 라디칼과 효율적인 반응을 함으로써 단일한 $SiO_2$ 박막이 형성됨을 확인 하였다. 그와 반면에 비율의 증가로 인해 다량의 HMDSO 물질이 주입 되었을 시 산소 라디칼과 충분히 반응 되지 못하여 $SiO_2$에 비해 $Si(CH)_x$ 가 많이 함량 된 Polymer like한 $SiO_x$가 많이 형성되었다. 박막의 증착율의 경우에는 3.7%에서 18%로 증가함에 따라 35 nm/min에서 180 nm/min의 증착율을 가지는 것을 확인 하였다. 3.7% 비율의 단일 $SiO_2$ 공정 조건으로 유기태양전지에 형성 하였을 시 소자의 에너지 변환 효율(PCE)이 변화 없는 것을 확인하였다. 이는 기존 공정에 비해 CDLPS 플라즈마 공정의 경우 유기소자에 플라즈마로 인한 열에너지나 이온 충격 에너지로 인한 영향 없는 것을 확인 할 수 있다. 이런 장점을 통해 CDSPS를 이용한 공정 기술은 다양한 유기 소자의 barrier 형성 연구에 큰 도움이 될 것이다.

  • PDF

오스테나이트계 STS 304강의 해수 내 전기화학적 특성에 미치는 캐비테이션의 영향 (Effect of cavitation for electrochemical characteristics in seawater for austenitic 304 stainless steel)

  • 김성종;이승준;정상옥
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
    • /
    • 제37권5호
    • /
    • pp.484-492
    • /
    • 2013
  • 세계 각국은 산업 고도화에 따라 해수환경에 내식성, 내마모성을 갖는 재료에 대한 수요가 지속적으로 증가하고 있다. 특히 표면이 미려하고 내식성이 강한 스테인리스강은 선박, 해양 플랜트 및 조류발전 등 다양한 산업분야에 널리 사용되고 있다. 그러나 해양환경에서 $Cl^-$ 이온에 의한 부식 손상과 고속회전에 따라 캐비테이션 손상이 발생하기 쉽다. 따라서 이 연구에서는 해수 내 빠른 유속 환경에 사용되는 304 스테인리스강에 대해 캐비테이션 침식-부식실험을 실시하여 외부 조건이 스테인리스강의 내식성에 미치는 영향을 종합 분석하였다. 캐비테이션이 발생된 조건에서 워터캐비테이션 피닝효과에 의한 시험편 내에 압축잔류응력 형성으로 높은 경도를 나타냈으나, 물리적 충격으로 인한 산화피막 파괴로 동전위 분극 실험에서는 높은 전류밀도를 나타냈다. 따라서 해수 내 캐비테이션에 대한 저항성을 향상시키기 위해서는 전기화학적 특성뿐만 아니라 기계적 특성도 복합적으로 고려한 재료의 선택이 필요하다.

고분자를 이용한 자가치유 아스팔트에 관한 연구 (Study on Polymer-Modified Self-Healing Asphalt)

  • 양동근;유평준;홍영근
    • Elastomers and Composites
    • /
    • 제49권2호
    • /
    • pp.134-143
    • /
    • 2014
  • 자가치유형 아스팔트를 구현하기 위하여 분자간결합력이 큰 고분자를 아스팔트에 투입시켰다. 사용된 고분자는 셜린, 나일론 및 폴리에스터이다. 이 고분자들은 가공온도가 $200^{\circ}C$를 넘어 고체상태로는 투입이 어려워 용액상태로 첨가하였다. 고분자가 첨가된 아스팔트들은 우수한 개질효과와 치유효과를 나타내었다. 인장강도에서 고분자개질아스팔트들은 고분자가 5% 투입되었으나 강도는 18%이상 증가하였다. 고분자와 아스팔트분자 간에 상호작용이 있는 것으로 보인다. 특히 셜린과의 분자간결합력이 가장 큰 것으로 보인다. 셜린은 아스팔트와 수소결합 및 아스팔트내에 존재하는 금속들과 이온결합을 할 것이다. 치유성에 있어서는 인장강도 면에서 셜린이 가장 높은 138%의 치유능을 나타내었으며 복합모듈러스 면에서는 폴리에스터가 141%의 치유능을, 충격강도 면에서는 나일론이 131%의 치유능을 보였다. 이는 치유능 해석에서 고분자의 분자간결합력도 중요 사항이지만 고분자와 아스팔트간의 상호작용 또한 중요한 고려 사항이 되어야함을 의미한다.

고밀도 플라즈마에 의한 $CeO_2$ 박막의 식각 메커니즘 연구 (A Study on the etching mechanism of $CeO_2$ thin film by high density plasma)

  • 오창석;김창일
    • 대한전자공학회논문지SD
    • /
    • 제38권12호
    • /
    • pp.8-13
    • /
    • 2001
  • $CeO_2$ 박막은 강유전체 메모리 디바이스 응용을 위한 금속-강유전체-절연체-실리콘 전계효과 트랜지스터 구조에서의 강유전체 박막과 실리콘 기판 사이의 완충층으로서 제안되어지고 있다. 본 논문에서는 $CeO_2$ 박막을 유도 결합 플라즈마를 이용하여 $Cl_2$/Ar 가스 혼합비에 따라 식각하였다. 식각 특성을 알아보기 위한 실험조건으로는 RF 전력 600 W, dc 바이어스 전압 -200 V, 반응로 압력 15 mTorr로 고정하였고 $Cl_2$($Cl_2$+Ar) 가스 혼합비를 변화시키면서 실험하였다. $Cl_2$/($Cl_2$+Ar) 가스 혼합비가 0.2일때 $CeO_2$ 박막의 식각속도는 230 ${\AA}$/min으로 가장 높았으며 또한 $YMnO_3$에 대한 $CeO_2$의 선택비는 1.83이였다. 식각된 $CeO_2$ 박막의 표면반응은 XPS와 SIMS를 통해서 분석하였다. XPS 분석 결과 $CeO_2$ 박막의 표면에 Ce와 Cl의 화학적 반응에 의해 CeCl 결합이 존재함을 확인하였고, 또한 SIMS 분석 결과로 CeCl 결합을 확인하였다. $CeO_2$ 박막의 식각은 Cl 라디칼의 화학적 반응의 도움을 받으며 Ce 원자는 Cl과 반응을 하여 CeCl과 같은 혼합물로 $CeO_2$ 박막 표면에 존재하며 이들 CeCl 혼합물은 Ar 이온들의 충격에 의해 물리적으로 식각 되어진다.

  • PDF

알루미나 크기에 따른 세라믹 코팅 분리막의 열적 특성 및 전기화학적 특성 (Dependence of Thermal and Electrochemical Properties of ceramic Coated Separators on the Ceramic Particle Size)

  • 박선민;유호준;김광현;강윤찬;조원일
    • 전기화학회지
    • /
    • 제20권2호
    • /
    • pp.27-33
    • /
    • 2017
  • 매우 좋은 에너지 저장장치인 리튬이차전지의 안전성은 전기화학반응이 일어나는 "양극/분리막(전해질)/음극"의 계에서 리튬이온전지의 분리막의 물리적 충격, 고온에 따른 손상에 기인하는 바가 크며, 특히, 폭발사고에서 분리막 손상에 의한 내부단락이 큰 영향을 끼친다. 고분자로 구성된 분리막의 열 안정성을 높이기 위해 세라믹이 얇게 코팅된 세라믹코팅 분리막이 최근 사용되고 있다. 폴리에틸렌계 분리막 위에 다양한 크기(IL = 488.5 nm, I = 538.7 nm, S = 810.3 nm, D = 1533.3 nm)의 $Al_2O_3$ 입자와 styrene-butadiene rubber(SBR) / carboxymethyl cellulose(CMC) 바인더를 섞어 만든 슬러리를 코팅하여 열 안정성을 측정한 후, 이를 분리막으로 하는 삼성분계 양극과 리튬메탈 음극의 코인 셀을 제작하여, 전기화학적 특성 변화를 관찰하였다.

시멘트 혼입 폴리머와 에폭시수지를 복합한 수처리 콘크리트구조물용 방수방식재료의 성능평가에 관한 연구 (A study on the Properties of Composite Systems Using Polymer-Modified Mortar and Epoxy Resins for Waterproofing and Anti-Corrosion of Concrete Structures)

  • 배기선;장성주;오상근
    • 콘크리트학회논문집
    • /
    • 제17권1호
    • /
    • pp.3-10
    • /
    • 2005
  • 콘크리트 구조물은 다양한 요인으로 인하여 골재노출, 탈락, 표면박리, 균열발생, 철근노출 및 부식, 강도저하, 염소이온침투, 공극률 증가, 팽창 및 수축 등과 같은 여러가지 열화현상이 나타나는 문제점을 가지고 있다. 특히 상$\cdot$하수도 시설을 포함한 수처리 구조물의 경우에는 일반적인 콘크리트 구조물보다 더욱 가혹한 환경에 노출되어있기 때문에 콘크리트의 열화는 더욱 심하다고 볼 수 있다. 본 연구는 시멘트 혼입 폴리머와 에폭시수지를 복합한 내균열성 방수$\cdot$방식재를 이용한 콘크리트구조물용 방수$\cdot$방식공법을 개발하여 실용화하는데 목적이 있다. 콘크리트구조물용 방수$\cdot$방식공법의 평가를 위하여 흡수 및 투수성, 부착성, 인장강도, 내잔갈림성, 내충격성, 냉온반복성능, 내화학성능, 음용수 용출성 등 방수$\cdot$방식재에 요구되는 성능을 평가하였다. 그 결과 KS의 규격에서 규정하는 성능기준을 모두 만족하는 것으로 나타났으며, 특히 부착성능이 우수한 것으로 확인되었다. 또한 본 탄성층을 보완한 방수$\cdot$방식공법의 적용에 의해서 최대 1.49mm까지의 균열에 대하여 저항성이 있는 것으로 평가되어 내균열성 측면에서 높은 성능을 확보하고 있는 것으로 평가되었다.

‘고유가뚫어라’모토시리즈 - 작년40% 급등한유가올해도‘고공비행’

  • 대한전기협회
    • 전기저널
    • /
    • 통권349호
    • /
    • pp.90-94
    • /
    • 2006
  • “해마다늘어만가는지구촌곳곳의기상이변, 특히세계유전지대의혹독한풍수해가지난해와마찬가지로일시에밀어닥친다면올해도국제유가의고공행진은하늘을찌를것이다.” 고유가가대세로점쳐지고있는가운데 2 0 0 6년새해를맞아유가의고공행진에대한극단적인우려감이높다. 지난해지구촌이 겪은미국발 허리케인의공포가채 가시지 않은 탓이다. 고유가의정착으로 인해고통을감내한 세계각국은올해초 국제유가의향방을대부분부정적으로내다보고있다. 고유가의원인으로는수요급증에따른수급불균형을우선꼽으면서도고공행진의유가를촉발할여러가지변수도다각도로진단하고있다. 지난해40% 가까이급등한국제유가는올한해에도고공비행을계속할것으로보고있는가운데일부언론은유가 6 0달러시대는이제기정사실화됐다고보도하기도했다. 만약부정적인상황이온다면“WTI 가격은최고 8 0달러, 두바이유가격은최고 6 7달러수준까지상승한다”는전망이나오는가하면“미국과이란의정치적충돌로페르시아만폐쇄사태라도터진다면유가가배럴당 1 0 0달러까지도치솟을수있다”는 경고도 나오고 있다. 우려는 하되 긍정적인 시각도 있다. 고유가가 올해 인플레에 미칠 영향에 대해 경제협력개발기구( O E C D ) 의코엔빈센트수석애널리스트가바로이경우다. 그는최근의고유가는지난 7 0년대와 8 0년대초의석유파동때와는성격이다르다고전제하면서다음과같이진단했다. “당시는공급쪽의충격이컸으나이제는수요급증으로발생하는것”이라고지적하며“선진권경제의석유의존도가크게떨어진점도고유가의파고가큰우려가되지않는다”고밝히고있다. 국내 전문가들도중동정세가 안정되고 미국 경기가 크게 둔화돼 석유수요가감소할경우에도 O P E C의 적극적 감산이예상돼유가가 4 0달러대밑으로내려가기는어려울것으로내다보고있다. 케임브리지에너지연구소( C E R A ) 의경우브렌트유기준으로 지난 연말 배럴당 5 5 . 4달러에서 올해는 5 3 . 5달러로되레떨어질것으로내다봤다. 2006년미국과중국의석유수요가대폭둔화될경우배럴당 4 1 . 3달러까지하락할수도있다는전망을내놨다. 그러나주요산유국의공급차질로인한비관 적인상황이도래할경우엔배럴당7 6달러까지도급등할것이라는경고도덧붙였다. 하여튼 2 0 0 6년유가의향방은고공추세에다주변변수가어떻게잘마무리되느냐, 나아가돌발풍수해에따라선‘껑충’거릴수밖에없다는진단이우세하다. 새해를맞아최근의국제유가동향과나아가유가의향방및변수를진단해봤다.

  • PDF