$Ga^+$ 이온 빔 조사량에 따른 자기 조립 단분자막의 습식에칭 특성
(Effect of $Ga^+$ Ion Beam Irradiation On the Wet Etching Characteristic of Self-Assembled Monolayer)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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- pp.326-329
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- 2005