• 한국산업정보학회논문지
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• 제14권5호
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• pp.131-137
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• 2009

제전기는 정전기를 제거하는 장치로서 평판디스플레이, 유기 EL 등의 제조 공정에서 사용하는 장치이다. 본 논문에서는 상위 컴퓨터와 다수의 제전기간에 통신이 가능하며, 각 제전기의 전원 및 제전 상태를 독립적으로 제어가 가능한 제전기용 고성능 원격 감시 장치를 개발하였다. 실험을 통하여 제어기의 핵심적인 기능인 유니트 접속, 이온발생량, 대전량, 경보상태, 그리고 제전상태가 PC와 제어기 사이에 정상적으로 송수신 되는 것을 확인하였다. 개발된 장치는 TFT-LCD, PDP, 유기 EL 등 평판제조 산업에 필요한 제전기를 고성능으로 원격 감시하는 시스템에 활용이 기대된다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제19권1호
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• pp.603-608
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• 2018

전압 인가식 제전방식이 반도체나 디스플레이 산업에는 가장 많이 사용되고 있지만, 방전에 의한 주변 미세 먼지의 흡착 및 전극핀의 오염으로 불량 발생의 원인을 제공하므로, 주기적인 관리 비용이 발생하게 된다. 전극핀의 오염 문제는 코로나 방전으로 인하여, 주변 공기의 미세한 입자를 축적함으로 생성된다. Fuzz ball의 생성은 전극핀의 마모를 촉진 시키고, 또한 정전기 제거 장치의 성능을 저하시킨다. 오염물 제거 방법은 수동 브러쉬 및 자동 브러쉬를 이용하여 기계적인 세척 방법이 효과적이지만, 추가적인 기계부품이나 사용자의 관리를 요구한다. 일부의 경우에는 이미터에 축척된 오염물이 웨이퍼나 제품에 전이될 수도 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 제전기의 외부로 돌출되는 전극핀을 없애고, 이온탱크 내부에 위치한 텡스텐 전극선을 이용하여 주위 기체 분자를 직접 이온화할 수 있는 청정 환경에 적합한 정전기 제거 장치를 개발하였다. 한국기계연구원에서 시험인증한 결과, 오염 입자는 평균 $0.7572particles/ft^3$이고, 제전 시간은 2초 이하 이며, 잔류 전위는 7.6V로 만족할 만한 결과를 얻었다.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2004년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.258-262
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• 2004

This study has been focused on the development of automatic bottle air rinser. It is designed to rinse clean empty bottles prior to filling. The bottles are automatically indexed beneath an air nozzle that has both a clean airjet and vacuum source. The bottle is first given a burst of clean air to loosen any particles from the wall of the bottle. A vacuum sequence follows which removes all particulates into a self contained filter unit. In order to the provide the desired function, analysis is carried out by FEM simulation using FLUENT and CATIA software. The final results of analysis are applied to the design of automatic bottle rinser and the machine is successfully developed.

• 한국정밀공학회지
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• 제22권8호
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• pp.71-75
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• 2005

This study has been focused on the development of automatic bottle air rinser. It is designed to rinse clean empty bottles prior to filling. The bottles are automatically indexed beneath an air nozzle that has both a clean airjet and vacuum source. The bottle is first given a burst of clean air to loosen any particles from the wall of the bottle. A vacuum sequence follows which removes all particulates into a self contained filter unit. In order to the provide the desired function, analysis is carried out by FEM simulation using FLUENT and CATIA software. The final results of analysis are applied to the design of automatic bottle rinser and the machine is successfully developed.