• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2009.06a
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• pp.260-260
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• 2009

초박형 절연막은 현재 다양한 전자소자의 제작과 향상을 위하여 활용되고 있으며, 일반적인 화학 기상 증착 방법으로는 균일도를 확보하기 어려운 문제점을 가지고 있다. 본 논문에서는 디스플레이의 구동소자로 활용되는 박막 트랜지스터의 특성 향상과 비휘발성 메모리 소자의 터널링 박막에 응용하기 위하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 증착과 이의 특성을 분석하였다. 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 실리콘 산화막에 질소가 주입되어 있는 형태로 실리콘 산화막과 실리콘 계면상에 존재하는 질소는 터널링 전류와 결함 형성을 감소시키며, bulk 내에 존재하는 질소는 단일 실리콘 산화막에 비해 더 두꺼운 박막을 커패시턴스의 감소없이 이용할 수 있는 장점이 있다. 플라즈마 처리 기법을 이용하였을 경우에는 초박형의 균일한 박막을 얻을 수 있으며, 본 연구에서는 이산화질소 플라즈마를 이용하여 활성화된 질소 및 산소 라디칼들이 실리콘 계면을 개질하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 형성활 수 있다. 플라즈마 처리 시간과 RF power의 변화에 따라 형성된 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 두께 및 광학적 특성은 엘립소미터를 통하여 분석하였으며, 전기적인 특성은 금속-절연막-실리콘의 MIS 구조를 형성하여 커패시턴스-전압 곡선과 전류-전압 곡선을 사용하여 평가하였다. 이산화질소 플라즈마 처리 방법을 사용한 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 log-log 스케일로 시간과 박막 두께의 함수로 전환해보면 선형적인 증가를 나타내며, 이는 초기적으로 증착률이 높고 시간이 지남에 따라 두께 증가가 포화상태에 도달함을 확인할 수 있다. 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 초기적으로 산소의 함유량이 많은 형태의 박막으로 구성되며, 시간의 증가에 따라서 질소의 함유량이 증가하여 굴절률이 높고 더욱 치밀한 형태의 박막이 형성되었으며, 이는 시간의 증가에 따라 플라즈마 챔버 내에 존재하는 활성종들은 실리콘 박막의 개질을 통한 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 두께 증가에 기여하기 보다는 형성된 박막의 내부적인 성분 변화에 기여하게 된다. 이산화질소 플라즈마 처리 시간의 변화에 따라 형성된 박막의 정기적인 특성의 경우, 2.3 nm 이상의 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 가진 MIS 구조에서 accumulation과 inversion의 특성이 명확하게 나타남을 확인할 수 있다. 아산화질소 플라즈마 처리 시간이 짧은 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 경우 전압의 변화에 따라 공핍영역에서의 기울기가 현저히 감소하며 이는 플라즈마에 의한 계면 손상으로 계면결합 전하량이 증가에 기인한 것으로 판단된다. 또한, 전류-전압 곡선을 활용하여 측정한 터널링 메카니즘은 2.3 nm 이하의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 직접 터널링이 주도하며, 2.7 nm 이상의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 F-N 터널링이 주도하고 있음을 확인할 수 있다. 즉, 2.5 nm 두께를 경계로 하여 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 터널링 메카니즘이 변화함을 확인할 수 있다. 결론적으로 2.3 nm 이상의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막에서 전기적인 안정성을 확보할수 있어 박막트랜지스터의 절연막으로 활용이 가능하며 2.5 nm 두께를 경계로 터널링 메커니즘이 변화하는 특성을 이용하여 비휘발성 메모리 소자 제작시 전하 주입 및 기억 유지 특성을 확보를 위한 실리콘 옥시나이트라이드 터널링 박막을 효과적으로 선택하여 활용할 수 있다.

• The Journal of Engineering Research
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• v.2 no.1
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• pp.147-149
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• 1997

Nirogen dioxide is rapidly converted to nitric oxide by the water absortbed on a Linde Molecular Sieve column. The resultant wave form is indistinguishable from that of pure nitric oxide introduced to the column. Thus, by conversion to the low boiling nitric oxide, the complication of oxidation of organic partitioning liquids is obviated.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• v.44 no.6
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• pp.1408-1413
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• 1997

A 68 year-old male was admitted with complaint of dyspnea and nonproductive cough which developed 6 hours after accidental inhalation of nitrogen dioxide. On admission, acute pulmonary edema and severe hypoxemia were found. With oxygen and bronchodilator therapy, diffuse alveolar consolitation and his dyspnea were improved from the following day. He was discharged at 8th hospital day with prednisolone 30mg daily for prevention of bronchiolitis obliterans. During 6 weeks of follow up, there was no evidence of bronchiolitis obliterans.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.46 no.6
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• pp.1029-1038
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• 2008

Transition-metal-oxide-incorporated hydrotalcites were prepared by hydrothermal reaction of their synthetic mixtures containing precursors of transition metal oxides and their properties of nitrogen dioxide adsorption was investigated. The dispersion of transition metal oxides on the hydrotalcites and the amount and the state of nitrogen dioxide adsorbed on them were examined by using XRD, SEM, XPS, nitrogen adsorption, a gravimetric adsorption system, FT-IR spectroscopy and temperature programmed desorption techniques. Transition metal oxides were mainly incorporated on their surface and the incorporation of iron and nickel oxides to the hydrotalcites increased their adsorption amounts of nitrogen dioxide. The dispersion of iron oxide on the hydrotalcites was effective in increasing the amount of nitrogen dioxide adsorption, while too much amount of iron oxide incorporation reduced the amount of nitrogen dioxide adsorption due to masking of surface basic sites by agglomerated iron oxide. Although the incorporation of iron oxide to the hydrotalcites lowered the adsorption strength of nitrogen dioxide, the incorporation of it with a proper amount enhanced the amount of nitrogen dioxide adsorption and the stability against the hydrothermal treatment.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2006.04a
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• pp.156-157
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• 2006

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 1999.04a
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• pp.257-258
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• 1999

• Proceedings of the Korean Environmental Health Society Conference
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• 2001.04a
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• pp.73-74
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• 2001

• Proceedings of the Korean Environmental Health Society Conference
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• 2001.04a
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• pp.75-76
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• 2001

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.40 no.6
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• pp.457-461
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• 1996

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.15 no.4
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• pp.101-106
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• 2008

The $SnO_2$ thin films doped with Pd and CNT as $NO_2$ gas sensor were prepared by spin coating and then the $NO_2$ gas response of these films were evaluated under $1ppm{\sim}5ppm\;NO_2$ concentration and operating temperature of $200^{\circ}C$. It was found that the sensor resistance was increased with $NO_2$ exposure and $NO_2$ concentration. The 3wt% Pd doped sample showed a sensitivity of 26.5 which was 10 times higher than that of pure $SnO_2$. And also the sensitivity of CNT doped sample increased with CNT content and it had 72 when 0.225 wt% of CNT was added under 5ppm $NO_2$ concentration.