• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.99-99
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• 2000

본 논문에서는 RF Magnetron Sputtering 방법으로 Ba0.5Sr0.5TiO3 박막을 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 증착하였다. Ar과 O2의 가스비는 90:10부터 50:50까지 O2의 함유비율을 10씩 증가시켰으며, 모든 조건에서 증착온도는 실온으로 설정하였다. Ba0.5Sr0.5TiO3 박막의 증착후 각 가스비에 따른 동일한 샘플에 대해 RTA(Rapid Thermal Anneal) 장비를 이용하여 $600^{\circ}C$에서 열처리는 하여 열처리 효과에 대한 특성도 조사하였다. 최종적으로 제작한 BST 커패시터는 Pt/BST/Pt 구조를 갖는 MIM(Metal-Insulator-Metal) 구조의 커패시터였으며 상.하부 전극은 전기적 특성이 우수한 Pt를 사용하였다. 제작된 BST 커패시터를 대해 유전 특성을 조사하기 위해 C-V 측정을 한 결과 산소 함유량이 증가함에 따라 유전율의 증가를 보여주었으며, 제작된 샘플 중 산소 함유량이 30인 샘플은 300이상의 우수한 유전율을 나타내었다. 또한 누설 전류특성에서는 모든 샘플에 대해 1.0V의 인가전압에서 1.0$\times$106A/cm2 이하의 누설 전류 밀도 값을 가져 전기적으로도 안정된 커패시터 구조임을 확인하였다. 또한 막의 증착상태와 미세구조관찰을 위해 SEM 측정을 하였고 구성성분 결정 구조를 알기 위해 XRD 측정도 시행하였다. 결과적으로 본 논문에서 제작된 커패시터 중 Sr/O의 비율이 70:30인 샘플이 가장 우수한 유전특성을 나타내었고, 이 샘플의 유전특성과 누설 전류 특성은 차세대 메모리인 1GigaByte급 DRAM에 적용 가능한 조건들을 만족시켰다.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.17 no.1 s.104
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• pp.52-59
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• 2006

To construct its complex permittivity from the reflection coefficient of a thin film such as PCB substrate measured by open-ended coaxial probe, an integral equation is formulated using modal analysis and equivalent source. The accuracy of the conversion model based on the integral equation is confirmed in both cases of converted complex permittivities calculated from numerically computed and actually measured reflection coefficients. And the maximum valid frequency of open-ended coaxial probe is limited by the size of its flange.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.423-423
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• 2013

3~5 족 반도체 물질인 phosphorus 화합물 중 대표적인 InAlP 삼종화합물은 작은 굴절률, 큰 밴드갭, GaAs와 lattice 일치 때문에 큰 주목을 받고 있고, p-type high electron mobility transistors(p-HEMT), laser diodes 등의 고속 전자소자 및 광전 소자에 응용이 가능한 매우 중요한 물질이다. 최적의 소자 응용기술을 위해서는, 정확한 광물성 연구가 수행되어야 하지만 InxAl1-xP 화합물에 대한 유전율 함수 및 전자전이점 등의 연구는 미흡한 실정이다. 이에 본 연구에서는 1.5~6.0 eV 에너지 영역에서 각기 다른 In 조성비를 갖는 InxAl1-xP 화합물의 가유전율 함수 ${\varepsilon}={\varepsilon}_1+i{\varepsilon}_2$와 전자전이점 데이터를 보고한다. GaAs 기판 위에 molecular beam epitaxy (MBE)를 이용하여 InxAl1-xP (x=0.000, 0.186, 0.310, 0.475, 0.715, 0.831, 1.000) 박막을 성장하였고 타원편광분석기를 이용하여 유전율 함수를 측정하였다. 또한 실시간 화학적 에칭을 통하여 시료 표면에 자연산화막을 제거함으로써 순수한 InAlP의 유전율 함수를 측정할 수 있었고, 측정된 유전율 함수를 이차미분하여 In 조성비에 따른 전자전이점을 얻을 수 있었다. 얻어진 전자전이점 값을 이용하여 linear augmented Slater-type orbital method (LASTO) 를 통해 이론적 전자 밴드 구조 계산을 하였고, 이를 바탕으로 $E_0$, $E_1$, $E_2$ 전이점 지역의 여러 전자전이점($E_1$, $E_1+{\Delta}_1$, $E_0'$, $E_0'+{\Delta}_0'$, $E_2$, $E_2'$)의 특성을 정의할 수 있었고, $E_0'$과 $E_2$ 전이점의 에너지 값이 In 조성비가 증가함에 따라 서로 교차함을 발견할 수 있었다. 타원 편광 분석법을 이용한 유전율 함수 및 전자전이점 연구는 InAlP의 광학적 데이터베이스를 확보하는 성과와 더불어 새로운 디바이스 기술 및 광통신 산업에도 유용한 정보가 될 것이다.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.16 no.1 s.92
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• pp.33-39
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• 2005

Complex permittivities of material in a wide bandwidth are measured by using an open-ended coaxial probe. To obtain a confident complex permittivity profile, the accuracy of measured reflection coefficients and the stability of the conversion model should be guaranteed in advance. In this paper, the sensitivity of our conversion model is analyzed by employing two instruments with different uncertainties. And various factors effected on the accuracy of measured reflection coefficients are investigated in experiment.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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• v.25 no.10
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• pp.1150-1157
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• 1988

In this paper, the reconstruction of complex permittivity distribution on a rectangular cross section of inhomogeneous dielectric cylinders is performed by employing the spectral inverse scattering scheme presented in the part I of these companion papers. Numerical simulations provide the superresolution to the permitivity profiles nearly regardless of the measurement locations of the scattered field and the permittivity distributions on the cross section.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.36D no.8
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• pp.19-26
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• 1999

umerical simulations are performed to estimate how strongly the manufacturing error of an open-ended coaxial probe affects its measured complex permittivity of a contacted medium. The reflection coefficients of several dielectric materials contacted with an open-ended coaxial probe are calculated by employing the FDTD method. And then those complex permittivities are reconstructed by applying the calculated reflection coefficients into a new imaginary transmission-line model, which reveals more physically meaningful than the conventional model. It is found that the reconstructed complex permittivities suffer from significant error in spite of a slight imperfection of open-ended coaxial probe.

• The Journal of Engineering Geology
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• v.14 no.2
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• pp.169-177
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• 2004

The permeation movements of groundwater recharge and contaminate materials receive a eat effect due to porosity and effective porosity of porous media which is composing underground consisted of saturation and unsaturated states. This study developed Frequency Domain Reflectometry(FDR) system and measurement sensor, and then carried out the laboratory experiments to measure effective porosity for unsaturated porous media. Also, I suggested dielectric mixing models(DMMs) which can calculate the effective porosity from relation of measured dielectric constants. In the experimental results the extent range of effective porosity of standard sand and river sand which are unsaturated soil sample were measured in about 65∼85 % for porosity. In relation of effective porosity and porosity, especially, effective porosity confirmed that displays decreasing a little tendency as porosity increases. This is because unsaturated soil did not reach in saturation enough by air of very small amount that exist in pore between soil particles.

• The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.9 no.2
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• pp.26-33
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• 1998

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.06a
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• pp.315-316
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• 2007

최근 전자제품의 경박단소화와 고성능화에 대한 관심이 증가하면서 내장형 수동소자 (Embedded Passive Device)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 Ni-coated $BaTiO_3$와 PMMA의 함량 변화에 따른 복합체의 유전적 특성을 연구하였다. Ni-coated $BaTiO_3$첨가량을 0~50%까지 증가시키며 유전율을 측정하였으며, 코팅되지 않은 $BaTiO_3$-PMMA복합체의 유전율과 결과를 비교하였다. 본 연구결과 Ni 코팅에 의한 유전율 증가를 관찰할 수 있었으며, 코팅 상태는 코팅공정시의 시간과 온도 등에 의존한다는 것을 확인하였다. 본 논문에서는 이러한 실험결과를 개선된 혼합법칙을 바탕으로 해석하고자 한다.

• The Journal of the Korea Contents Association
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• v.4 no.4
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• pp.171-178
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• 2004

Radio frequency (RF) microwave can be used to predict glucose concentration in a sample. This paper presents preliminary results in determining the concentration by measuring relative permittivity in the solutions of distilled water, saline, human serum, and human blood containing glucose. It was shown that the microwave method has larger penetration depth of about 100times of NIR, than NIR technique in measuring glucose concentration for the tissue like a human muscle. The larger penetration depth of the method has advantages because it is more useful to detect glucose in a human body non-invasively. In the experiments, sensitivity for detecting glucose concentration in blood solutions was almost 57mg/dl at the frequency of approximately 5.8GHz.