• Title/Summary/Keyword: 유전율상수

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Temperature Dependence of the Electric-field-induced Strains in PMN-based Relaxor Ferroelectrics (PMN계 완화형 강유전체에서 전왜특성의 온도 의존성)

  • Park, Jae-Hwan;Hong, Guk-Seon;Park, Sun-Ja
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.6 no.4
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    • pp.349-356
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    • 1996
  • 완화형 강유전체의 가장 대표적인 PMN계에서 첨가제의 종류와 함량, 측정온도, 인가 전계의형태 등의 변화에 따른 전계인가 변화특성을 광법위하게 조사하였다. Columbite precursor법에의해 분말을 준비하고 고상소결방법에 의하여 모든 시편을 제조하였다. 순수한 PMN에 첨가제로서 PbTiO3와 Pb(Zr, Ti)O3를 첨가한 경우에 완전한 perovskite 구조의 고용체가 형성되었음을 알 수 있었다. T$\varepsilon$max이상에서는 변위의 이력이 크게 발생하는 강유전체의 거동을 보여주었다. 양방향으로 전계를 인가하여 변위를 이용하면 발생 strain은 실온 근방에서 온도에 대하여 안정적이지만 단방향 전계에 따른 변위는 온도에 따라 크기가 변한다는 것을 알 수 있었고 유전상수가 큰 경우가 전왜의 크기 또한 큰 것을 알 수 있었다. 0.9MN-0.1PT와 0.8PMN-0.2PZT의 경우 최대가 되는 온도는 유전율이 최대가 되는 온도보다 더 낮은 온도에서 나타났다.

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NKNLTS 비납계 압전체의 도핑원소에 따른 특성평가

  • Lee, Yun-Gi;Park, Eun-Hye;Ryu, Seong-Rim;Gwon, Sun-Yong
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.83-83
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    • 2009
  • 우수한 압전성을 가지는 PZT는 인체에 유해한 다량의 PbO을 함유하여 심각한 환경문제를 야기함은 물론 제조 공정 중 PbO 휘발 억제 시설 구비에 따른 경제적 부담 등 문제점이 지적되었다. 따라서 환경오염 및 가격경쟁력을 갖추기 위해 현재 무연 조성 세라믹스에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 최근 비납계 압전 세라믹의 연구는 비스무스 레이어형과 페로브스카이트 형 비납계 세라믹스의 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 $(Na,K)NbO_3$ 계는 페로브스카이트 구조를 가지는 비납계 세라믹으로 현재 많은 연구가 진행되고 있다. 이 물질은 PZT계와 유사하게 상전이(morphotropic phase boundary:MPB)영역을 가지고 있 으며 이 영역에서 높은 압전 특성을 보여주고 있다. 최근 $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_3$$LiTaO_3$를 치환하여 우수한 압전 특성을 지니는 조성이 개발되고 있지만, 보통 소성법으로 제조된 세라믹스는 PZT계 세라믹스와 비교하여 특성이 떨어진다. 본 연구에서는 압전성이 우수한 $(Na_{0.44}K_{0.52}Li_{0.44})(Nb_{0.90}Sb_{0.06}Ta_{0.04})O_3$ 조성에 도너 도핑과 억셉터 도핑을 한 다음 전기기계결합계수, 압전상수, 유전상수의 변화를 평가하고, hardener 와 softener 특성이 본조성에서 나타나는지를 관찰하였다. 실험방법은 보통 소성법을 사용하였으며, 분쇄와 혼합은 직경 3 mm zirconia ball을 사용하여 볼밀 하였다. $850^{\circ}C$ 에서 5h 하소 후 $1100{\sim}1200^{\circ}C$ 에서 소결하고, 두께 1 mm로 연마한 다음 silver paste를 $650^{\circ}C$ 에서 소부하여 전극을 형성하였다. 제작된 시편은 $90^{\circ}C$의 실리콘유에서 3~4 kV/mm의 전계를 가해 20분간 분극 처리를 수행하였다. 제작된 시편의 압전전하 상수 값은 d33-meter(APC-8000)를 이용하여 측정하였고, 유전율, 전기기계결합계수 및 기계적품질계수 등은 임피던스 분석기 (impedance/gain phase analyzer)를 이용하여 특성을 측정 하였다. 또한 전압-분극 특성의 평가에는 강유전특성 측정기(ferroelectric tester: Precision-LC, Radiant Technologies, USA)를 이용하였다.

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Self-assembled Nanostructures for Broadband Light Absorption Enhancement in Silicon Absorber

  • Gang, Gu-Min;Kim, Gyeong-Sik
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.134.1-134.1
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    • 2014
  • 콜로이달 리소그래피는 나노미터 크기의 나노구를 자가조립에 의해 정렬시킴으로써, 파장이하 크기의 주기 구조를 저비용으로 쉽게 구현할 수 있는 패터닝 기법이다. 콜로이달 리소그래피나 소프트 리소그래피와 같이 대면적 패터닝이 가능한 공정을 태양전지를 위한 반사방지 및 광 포획 증대 구조에 적용함으로써, 기존 성능을 크게 향상시켰다. 본 연구에서는, 유한차분 시간영역 수치해석법을 이용하여 반사 방지 및 광 포획 증대 구조에 대한 이론적 검증 및 설계를 진행하였고, 콜로이달 리소그래피 및 반도체 공정을 통해 샘플을 제작하였으며, 제작된 샘플의 성능을 적분구를 겸비한 자외선 가시광 근적외선 영역 분광기를 통해 평가하였다. 반사방지 나노섬을 겸비한 나노 원뿔대 언덕형 굴절률 소자를 구현함으로써, 300나노미터 이하의 구조체를 사용하지 않고도 근자외선 영역을 포함하는 태양광 에너지의 손실을 최소화할 수 있는 광대역 방사방지 구조체를 제시하였다. 나노 원뿔대가 격자상수 이상의 파장에 대한 언덕형 굴절률을 제공하고, 4분의 1파장 나노섬 반사방지막이 격자 상수 이하의 근자외선 태양광을 추가적으로 흡수하여, 근자외선 영역에서의 평균 반사율을 3.8% 수준으로 달성 할 수 있었다. 또한, 낮은 양호계수를 갖는 속삭임 회랑 공진기 어레이를 이용하여, 박막 태양전지에 적합한 유전체 기반 광포획 증대 나노구조를 제시하였다. 나노반구, 나노고깔, 나노구, 함몰형 나노구 어레이 형태를 가지며, 500nm의 주기를 갖는 유전체 표면 텍스쳐드 구조를 초박형 비정질 실리콘 필름(100nm) 위에 제작하여 광대역 광 포획 증대 효과를 실험적으로 평가하였다. 구조들 중 함몰형 나노구 어레이가 결합된 비정질 실리콘 박막이 가장 높은 성능을 보였으며, 구조가 없는 경우 대비 약 67.6%의 가중 흡수율 증가를 나타내었다. 특히, 함몰형 나노구 어레이 구조 중 폴리메틸메타아크릴레이트로 제작된 평판형 함몰층은 나노구 비정질 박막 실리콘 사이의 접착력 및 기계적 강성을 향상시켰을 뿐 아니라, 함몰층 내부로 회절되고 산란된 빛들이 도파모드 효과에 의해 부가적인 광 포획 증대를 가져옴으로써, 가장 높은 광 포획 효과를 얻을 수 있었다. 유전체 기반 나노 구조들은 간단하고 저비용이며, 대면적으로 쉽게 제작할 수 있는 자가 조립 기반 콜로이달 리소그래피 및 소프트 리소그래피 기술을 이용하여 제작되었다.

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The growth and characteristics $K_3$$Li_2$$Nb_5$$O_{15}$ of single crystals ($K_3$$Li_2$$Nb_5$$O_{15}$ 단결정의 성장과 특성에 관한 연구)

  • 김진수;김정남;김태훈;노지현;진병문
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.9 no.5
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    • pp.463-469
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    • 1999
  • The potassium lithium niobate $K_3$$Li_2$$Nb_5$$O_{15}$ single crystals were growing in $K_x$$Li_{1-x}$$NbO_3$ (x = 0.4~0.6) chemical formular by the Czorchralski method. Crystal growth is studied in two orientations with growth along a-axis and c-axis. We have subjected this crystal to x-ray diffraction studies and found that they are single-crystalline and belong to tetragonal system with the lattice parameters a = b = 12.577 $\AA$ and c = 3.997$\AA$. The temperature dependence of dielectric constant was measured in the region of the phase transition. Curie temperature and diffuseness of phase transition are influenced by composition concentration. The composition and cation distribution of ferroelectric TB-type niobate crystals has a strong influence on the ferroelectric properties. Growth condition, optical transmittance, etching pattern and dielectric properties are presented and discussed.

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Effects of transient thermo reflectance on the thermal responses of metal thin film exposed to ultrashort laser heating (극초단 펄스레이저 광이 입사된 금속박막의 열적반응 중 비정상반사율의 영향)

  • 박승호;국정진
    • Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering
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    • v.11 no.4
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    • pp.528-536
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    • 1999
  • This work studies the effects of transient reflectance on the thermal responses of a metal(gold) thin-film during ultrashort laser heating. The heating process is calculated using the conventional conduction model (parabolic one-step: POS), parabolic two-step model (PTS) with and without variable properties, hyperbolic two-step model (HTS). Results from the HTS model are very similar to those from the PTS model, since the laser heating time in this study is greater than the electron relaxation time. PTS model with variable properties, however, results in totally different temperature profiles compared to those from POS models or calculation with constant properties. Transient reflectances are estimated from electron temperature distributions and based on the linear relationship between the electron temperature and complex dielectric constants. Reflectance of the front surface can be changed with respect to dielectric constants, while those of the rear surface remain unchanged.

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가스산업시설에서의 위험성 평가분야에서 지리정보시스템의 적용

  • 이정우;김윤화;김기수;고재욱
    • Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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    • 1997.11a
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    • pp.69-75
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    • 1997
  • 우리나라는 그동안 가스산업에서 고속성장을 이룩해 왔으나, 근래에는 중대가스산업사고가 빈번하게 일어나고 있다. 그건 이유로 1996년도에는 중대산업사고 예방제도가 전면적으로 실시되고 공정안전보고서를 작성하여 제출하도록 함으로서 위험성 평가의 중요성이 점차 높아가고 있으며, 위험성 평가 기법들에 대하여 여러 연구 단체에서 연구ㆍ시도되고 있다. 또한 이러한 연구ㆍ보고된 위험성 평가 기법들을 프로그램화하고 적용하려는 시도가 많이 있어 왔다. 본 연구에서는 기존에 연구ㆍ개발된 위험성 평가 기법들에 최근 컴퓨터 산업의 발달에 힘입어 각광을 받고 있는 지리정보시스템을 적용하고자 한다. 이러한 가스산업시설의 위험성 평가 시스템은 위험성을 평가하기 위해서 필요한 여러 가지 정보들을 지리정보시스템이 속성 데이터로서 저장하고 있으나, 가스산업시설에 관련된 주변의 도면들을 공간 데이터로서 저장하고 있다. 그리고 위험성 평가 시스템의 세부적인 기능을 모듈화하였다. 우선 위에 언급한 속성 데이터와 공간 데이터를 관리하는 모듈과 이러한 데이터를 가지고 사고영향 범위를 산출해내기 위한 모듈, 그리고 산출된 사고 영향 범위를 도면에 나타내는 모듈로 나뉘어져 있다. 이렇게 지리정보시스템에 구축되어 있는 도면에 위험성을 평가한 결과치를 나타냄으로서 위험성 평가 숙련자가 아니더라도 위험성 평가를 할 수 있고 결과를 분석하도록 도와 줄 수 있도록 할 수 있다. 또한 향후 재난관리시스템에서는 도면상의 도로에 교통량 가중치와 인근 소방서와 경찰서등의 위치를 관리하도록 지리정보시스템을 적용할 수 있으면, 가스시설물 관리시스템에서는 최근 대형가스사고의 대부분이 타공사에 의한 것임을 고려하여 가스배관망을 포함하여 기타 다른 지하배관망을 관리하도록 지리정보시스템을 적용할 수 있다. (중략)램프에서 좋은 광학적 특성을 얻기 위해 가장 중요한 것은 수축이 없이 방전을 확산시키는 것이다. 이를 위해서 램프구조와 구동법을 최적화하는 것이 필요하다. 또한 기체압력을 높임으로서 Xe의 여기복사를 얻을 수 있었다. 동시에 새로운 적용영역의 가능성을 탐구하는데 있다 하겠다.[C/N]의 값을 나타내었다.다.다.화 기술, 구동방법등에 대한 기술개요와 국내외 기술동향에 대하여 소개하고자 한다.었다.다._{2}$가 0.25[wt%] 첨가된 시편의 20[.deg.C]에서의 유전상수는 16,700으로 최대값을 유전손실을 1.28[%]로 최소값을 나타내었다. 또한 모든 시편은 온도 및 주파수에 따라 유전상수가 완만하게 변화하는 유전이완 특성을 나타내었다.다.수적인 물의 양에 따른 DIAION WA30의 라세미화 효율에 관하여 실험한 결과, 물의 양이 증가할수록 그 효율은 감소하였다. DIAION WA30을 라세미화 촉매로 사용하여 아이소옥탄 내에서 라세믹 나프록센 2,2,2-트리플로로에틸 씨오에스터의 효소적 DKR 반응을 수행해 보았다. 그 결과 DIAION WA30을 사용하지 않은 경우에 비해 반응 전환율과 생성물의 광학 순도는 급격히 향상되었다. 전통적 광학분할 반응의 최대 50%라는 전환율의 제한이 본 연구에서 찾은 DIAION WA30을 첨가함으로써 성공적으로 극복되었다. 또한 고체 염기촉매인 DIAION WA30의 사용은 라세미화 촉매의 회수 및 재사용이 가능하게 해준다.해준다.다. TN5 세포주를 0.2 L 규모 (1 L spinner flask)oJl에서 세포간의 응집현상 없이 부유배양에 적응,배양시킨 후 세포성장 시기에 따른 발현을 조사한 결과 1 MOI의 감염조건 하에서는 $0.6\times10^6$cell/m

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A Study on the Color and Lighting in the Assisted Living Facilities for the Elderly - Focused on the facilities in Korea and the United States - (노인주거복지시설의 색채와 조명에 관한 연구 - 한국과 미국의 사례분석을 중심으로 -)

  • Chun, Jin-Hee;Dolores A. Ginthner
    • Korean Institute of Interior Design Journal
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    • v.13 no.2
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    • pp.120-132
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    • 2004
  • 고령사회 2001의 발표에 의하면, 노년인구의 증가는 전 세계적으로 21세기까지 지속될 전망이며, 우리나라도 예외가 아니어서 이에 대한 심각한 사회문제가 예상되고, 이들을 위한 특수주거시설에 대한 환경개선이 요망된다. 본 연구는 노인주거복지시설에서 색채와 조명에 대한 개선방향을 제시하기 위한 것으로, 색채와 조명환경을 정량적, 정성적으로 비교 분석하는데 연구의 목적이 있다. 이를 위해 2003년 2월부터 8월까지 우리나라와 미국의 양로시설 20사례에 대한 현장방문조사가 수행되었고, 모든 시설이 공통적으로 가지고 있는 로비, 복도, 식당, 침실 등 4개 영역이 집중적으로 조사되었다. 1) 색상분포도 조사 결과, 한국시설은 미국 시설과 달리 주조색으로 한색을 많이 사용하고 있으며, 보조색, 강조색의 활용도가 낮은 것으로 나타났다. 2) 색상$\cdot$명도의 간격별 조화 정도에 대한 정량적 평가를 통해 한국시설은 명도대비보다는 색상대비가, 유사조화보다는 대비조화가 두드러졌는데 기능적 측면에서는 이상적이나 친근한 분위기를 만들기에는 한계가 있다. 3) 미도(Aesthetic Measure) 측정 결과, 한국과 미국 시설 모두 평균 이상을 보였는데, 특히 한국시설은 색상 대비 이외에 유사색 조화와 같은 질서요소를 강화시킬 필요가 있다. 4) 한국시설은 미국에 비해 조명 환경이 매우 열악하였는데, 자연채광의 유입은 어느정도 만족스러우나 이를 양질의 조명으로 만들기 방안이 요구된다. 5) 조명방식, 광원유형 등 인공조명에 대한 분석 결과, 한국시설은 매우 단순하며 경제적인 방법에 의존하고 있는데 광원의 선택, 배치, 설치 등 기술적인 보완이 요구된다. 6) 한국시설들의 시설별, 영역별 평균조도는 매우 낮은데, 활동시간대의 권장조도 유지는 물론, 영역 간의 조도 차이를 줄이는 방안이 요구된다.신만의 고유한 해결책으로 발전시키는지를 고찰하고자 한다. 본 논문의 목적은 서울을 사례분석 중 하나로 사용하여 인테리어 디자인 분야의 경계를 대도시로 확장하는 동시에 새로운 적용영역의 가능성을 탐구하는데 있다 하겠다.[C/N]의 값을 나타내었다.다.다.화 기술, 구동방법등에 대한 기술개요와 국내외 기술동향에 대하여 소개하고자 한다.었다.다._{2}$가 0.25[wt%] 첨가된 시편의 20[.deg.C]에서의 유전상수는 16,700으로 최대값을 유전손실을 1.28[%]로 최소값을 나타내었다. 또한 모든 시편은 온도 및 주파수에 따라 유전상수가 완만하게 변화하는 유전이완 특성을 나타내었다.다.수적인 물의 양에 따른 DIAION WA30의 라세미화 효율에 관하여 실험한 결과, 물의 양이 증가할수록 그 효율은 감소하였다. DIAION WA30을 라세미화 촉매로 사용하여 아이소옥탄 내에서 라세믹 나프록센 2,2,2-트리플로로에틸 씨오에스터의 효소적 DKR 반응을 수행해 보았다. 그 결과 DIAION WA30을 사용하지 않은 경우에 비해 반응 전환율과 생성물의 광학 순도는 급격히 향상되었다. 전통적 광학분할 반응의 최대 50%라는 전환율의 제한이 본 연구에서 찾은 DIAION WA30을 첨가함으로써 성공적으로 극복되었다. 또한 고체 염기촉매인 DIAION WA30의 사용은 라세미화 촉매의 회수 및 재사용이 가능하게 해준다.해준다.다. TN5 세포주를 0.2 L 규모 (1 L spinner flask)oJl에서 세포간의 응집현상 없이 부유배양에 적응,배양시킨 후 세포성장 시기에 따른 발현을 조사한 결과 1 MOI의 감염조건 하에서는 $0.6\times10^6$cell/mL의 early exponential시기의 세포밀도에서 72시간 배양하였을 대 최대 발현양을 나타내었다. 나타내었다.

Physical Environmental Factors Affecting Job Satisfaction - Focused on Office Environment of Oklahoma State University′s Faculty Members- (직업 만족도에 영향을 미치는 물리적 환경 요소들 - 오클라호마 주립대학 교수의 연구환경을 중심으로 -)

  • Hye-Sun, Han
    • Korean Institute of Interior Design Journal
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    • v.13 no.5
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    • pp.206-214
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    • 2004
  • 본 연구는 사무공간에 영향을 주는 물리적 환경 요소 (공간, 가구배치, 미, 주변요소)를 제시하고 각 환경 요소들과의 관계를 파악하며 각 물리적 환경요소들과 직업 만족도 (급여, 진급, 책무, 상사와의 관계, 물리적 공간과 배치, 수업방법의 향상, 현재 직업 만족도)와의 관계를 분석하는데 연구의 목적이 있다. 또한 물리적 환경 요소들, 직업 만족도와 개인 신상 (나이, 성별, 지위, 교육수준, 교육 경력) 의 특성들과의 상관관계를 알아보고자 한다. 본 연구는 오클라호마 주립대학교의 종신 재직권을 가진 교육대학 교수들을 대상으로 세 가지 가설을 바탕으로 작성된 설문지를 배포하여 조사되었다. 각 교수들의 사무공간은 1997년에 개보수를 마치고 그 해 여름부터 사용하고 있다. 설문은 현재 사용하고 있는 사무공간에 대한 평가, 직업 만족도에 대한 평가와 개인 신상의 특성에 대한 질문으로 조사되었다. 조사 결과 사무공간에 영향을 주는 물리적 환경 요소들 간에 밀접한 관계가 있다는 가설이 입증되었고, 또한 조사 결과 물리적 환경의 만족도가 증가할수록 직업만족도가 증가하는 것으로 물리적 사무환경에 대한 만족도와 직업에 대한 만족도가 직접적인 관계가 있다는 가설 또한 확증되었다. 물리적 환경요소, 직업 만족도와 개인 신상의 특성들과의 상관관계가 있다는 가설은 전체적으로는 입증되지는 않았지만 부분적으로 요소들 간에 관계를 보여주고 있다. 남성이 여성보다 가구배치에 대해 불만족스러웠고 교육경력이 적을수록 사무공간의 냉난방과 환기에 대한 불만족을 보였다. 본 연구의 결과는 교수들의 사무환경의 부정적, 긍정적 견해를 지각하여 사무 환경의 질을 높이는데 도움이 되는데 중요한 역할을 할 수 있겠다. 본 연구는 교육대학의 교수들에 국한되어 있었던 바 추후에는 전체 교육자들을 대상으로 장기간의 관찰을 통한 연구가 요구되어 진다.신만의 고유한 해결책으로 발전시키는지를 고찰하고자 한다. 본 논문의 목적은 서울을 사례분석 중 하나로 사용하여 인테리어 디자인 분야의 경계를 대도시로 확장하는 동시에 새로운 적용영역의 가능성을 탐구하는데 있다 하겠다.[C/N]의 값을 나타내었다.다.다.화 기술, 구동방법등에 대한 기술개요와 국내외 기술동향에 대하여 소개하고자 한다.었다.다._{2}$가 0.25[wt%] 첨가된 시편의 20[.deg.C]에서의 유전상수는 16,700으로 최대값을 유전손실을 1.28[%]로 최소값을 나타내었다. 또한 모든 시편은 온도 및 주파수에 따라 유전상수가 완만하게 변화하는 유전이완 특성을 나타내었다.다.수적인 물의 양에 따른 DIAION WA30의 라세미화 효율에 관하여 실험한 결과, 물의 양이 증가할수록 그 효율은 감소하였다. DIAION WA30을 라세미화 촉매로 사용하여 아이소옥탄 내에서 라세믹 나프록센 2,2,2-트리플로로에틸 씨오에스터의 효소적 DKR 반응을 수행해 보았다. 그 결과 DIAION WA30을 사용하지 않은 경우에 비해 반응 전환율과 생성물의 광학 순도는 급격히 향상되었다. 전통적 광학분할 반응의 최대 50%라는 전환율의 제한이 본 연구에서 찾은 DIAION WA30을 첨가함으로써 성공적으로 극복되었다. 또한 고체 염기촉매인 DIAION WA30의 사용은 라세미화 촉매의 회수 및 재사용이 가능하게 해준다.해준다.다. TN5 세포주를 0.2 L 규모 (1 L spinner flask)oJl에서 세포간의 응집현상 없이 부유배양에 적응,배양시킨 후 세포성장 시기에 따른 발현을 조사한 결과 1 MOI의 감염조건 하에서는 $0.6\times10^6$cell/mL의 early exponential시기의 세포밀도에서 72시간 배양하였을 대 최대 발현양을 나타내었다. 나타내었다.

Effect of Mn doping on the dielectric properties of $(Pb_{0.62}Ca_{0.38})ZrO_{3}$ at microwave frequency (고주파 유전체 $(Pb_{0.62}Ca_{0.38})ZrO_{3}$의 Mn 첨가에 따른 유전특성 변화)

  • Gwon, Bu-Yeon;Kim, U-Gyeong;Yeo, Cheol-Hyeon;Choe, Seung-Cheol
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.5 no.1
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    • pp.36-41
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    • 1995
  • Dielectric properties were investigated at Mn doped $(Pb_{1-x}Ca_{x})ZrO_{3}$ with x=0.38 in microwavefrequencies. Both the density and Q values of sintered ceramics increased with increasing calciningtemperature. In the sample sintered at $1300^{\circ}C$ for 2 hrs, the deped Mn ions completely solubled in $(Pb,Ca)ZrO_{3}$ phase until 0.5wt% and the grain size was independent of doping amount. It was observed thathigh dielectric constant of 90 - 100 and high quality factor of 1300 at 4 GHz for O.l5wt% Mn doped$(Pb_{0.62}Ca_{0.38})ZrO_{3}$. The Mn" and Mn" worked as acceptors in $(Pb,Ca)ZrO_{3}$ which created the oxygen vacancies and affected the increment of the Q values. However, the excess Mn doping more than 0.5wt% resulted in decreasing Q values.decreasing Q values.

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Characteristics of Low Dielectric Constant SiOF Thin Films with Post Plasma Treatment Time (플라즈마 후처리 시간에 따른 저유전율 SiOF 박막의 특성)

  • 이석형;박종완
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.7 no.3
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    • pp.167-272
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    • 1998
  • The fluorine doped silicon oxide (SiOF) intermetal dielectric (IMD) films havc been of interest due to their lower dielectric constant and compatibility with existing process tools. However, instability issues related to hond and increasing dielectric constant due to water absorption when the SiOF film was exposured to atmospheric ambient. Therefore, the purpose nf this research is to study the effect of post oxygen plasma treatment on the resistance of nioisture absorption and reliability of SiOF film. Improvement of moisture ahsorption resistance of SiOF film is due to the forming of thin $SiO_2$ layer at the SiOF film surface. It is thought that the main effect of the improvement of moisture absorption resistance was densification of the top layer and reduction in the numher of Si-F honds that tend to associate with OH honds. However, the dielectric constant was inucased when plasma treatment time is above 5 min. In this study, therefore, it is thought that the proper plasma treatment time is 3 min when plasma treatment condition is 700 W of microwave power, 3 mTorr of process pressure and $300^{\circ}C$ of substrate temperature.

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