선형 대향 타겟 스퍼터를 이용하여 제작한 ITO 박막의 특성과 이를 이용하여 제작한 유기발광소자 특성 (Characteristics of ITO films grown by linear facing target sputtering (FTS) and OLEDs properties fabricated on FTS-grown ITO anode)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- pp.401-402
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- 2007