• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2017.05a
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• pp.138-138
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• 2017

차세대 CMOS 소자의 지속적인 고직접화를 위해서는 높은 gate capacitance와 낮은 gate leakage current를 확보를 위한, 적절한 metal gate electrode와 high-k dielectric 물질의 개발이 필수적으로 요구된다. 특히, gate dielectric으로 적용하기 위한 다양한 high-k dielectric 물질 후보군 중에서, 높은 dielectric constant와, 낮은 leakage current, 그리고 Si과의 우수한 열적 안정성을 가지는 Zr silicates 또는 Hf silicates(ZrSiO4와 HfSiO4) 물질이 높은 관심을 받고 있으며, 이를 원자층 증착법을 통해 구현하기 위한 노력들이 있어왔다. 그러나, 현재까지 보고된 원자층 증착법을 이용한 Zr silicates 및 Hf silicates 공정의 경우, 개별적인 Zr(또는 Hf)과 Si precursor를 이용하여 ZrO2(또는 HfO2)과 SiO2를 반복적으로 증착하는 방식으로 Zr silicates 또는 Hf silicates를 형성하고 있어, 전체 공정이 매우 복잡해지는 문제점 뿐 아니라, gate dielectric 내에서 Zr과 Si의 국부적인 조성 불균일성을 야기하여, 제작된 소자의 신뢰성을 떨어뜨리는 문제점을 나타내왔다. 따라서, 본 연구에서는 이러한 문제점을 개선하기 위하여, 하나의 precursor에 Zr (또는 Hf)과 Si 원소를 동시에 가지고 있는 DNS-Zr과 DNS-Hf bimetallic precursor를 이용하여 새로운 ZrSiO4와 HfSiO4 ALD 공정을 개발하고, 그 특성을 살펴보고자 하였다. H2O와 O3을 reactant로 사용한 원자층 증착법 공정을 통하여, Zr:Si 또는 Hf:Si의 화학양론적 비율이 항상 일정한 ZrSiO4와 HfSiO4 박막을 형성할 수 있었으며, 이들의 전기적 특성 평가를 진행하였으며, dielectric constant 및 leakage current 측면에서 우수한 특성을 나타냄을 확인할 수 있었다. 이러한 결과를 바탕으로, bimetallic 전구체를 이용한 ALD 공정은 차세대 고성능 논리회로의 게이트 유전물질에 응용이 가능할 것으로 판단된다.

• Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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• v.9 no.1
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• pp.161-166
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• 2004

In this research, TiN films has been grown to the stainless steel substrate by ion beam assisted deposition. TiN film was grown to the nitrogen atmosphere of around $10^{-15}$ Torr with Arion bombardment. The chemical composition, color and adhesion of TiN films were examined as a variation of En(ion energy per atom). The N/Ti ratio increased linearly as the increase of En and saturated around 1.2 at high En. As a results, the bright golden color was obtained when En reached a certain value of Ecn. As a results, the N/Ti ratio is about 0.9.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.395.2-395.2
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• 2014

백색유기발광소자는 낮은 구동전압, 낮은 소비전력, 높은 명암비, 넓은 시야각과 높은 박막 특성으로 친환경 에너지와 관련해 주목을 받고 있어 연구가 활발하게 진행되고 있다. 백색 유기발광소자는 주로 R-G-B 영역의 발광층을 적층하여 제작한다. 하지만 전압의 변화에 따라 재결합 영역이 변화되면서, 색 안정성이 불안정한 문제점을 가지고 있다. 본 연구에서는 높은 색 안정성을 나타내는 백색 유기발광소자를 제작하기 위해 저분자와 고분자 혼합 발광층 구조를 사용하였다. 두 가지 이상의 고분자 혼합물을 스핀코팅하여 박막을 형성한 후, 열처리에 의한 상분리 현상을 이용하여 선택적으로 한가지 고분자 물질을 제거하여 적색 다공성 고분자 발광층을 형성하였다. 적색 다공성 고분자 발광층 위에 저분자 발광물질을 적층하여 홀주입을 향상하여 청색 발광층을 형성한다. 적색 다공성 고분자 발광층 물질과 혼합되는 고분자 물질의 혼합 비율과 혼합 층 두께에 따른 적색 고분자 다공성 박막의 변화를 원자힘 현미경을 통하여 관찰하였다. 혼합된 두 고분자 물질의 분자량의 차이에 의한 응집도의 차이로 인하여 혼합물 박막의 두께가 얇아지면서 미세구조의 경사도가 높아지고, 적색 다공성 고분자 발광층의 미세구조의 형태는 두 가지 고분자 혼합물의 혼합 비율의 변화에 따라 미세구조의 밀도가 높아진다. 본 연구 결과는 저분자와 고분자 혼합 발광층 구조를 사용하는 백색 유기발광소자의 색 안정성과 효율 향상에 대한 기초자료로 활용할 수 있다.

• The Journal of Korean Society for School & Community Health Education
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• v.12 no.3
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• pp.29-41
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• 2011

배경 및 목적 : 미국과한국양국의대학생의음주문제는심각한사회문제이며, 대학생의음주문제를예방하기 위한 다양한 노력들이 시도되고 있다. 본 연구는 미국과 한국대학생들의 음주와 폭음에 대한 인식 및 태도에 차이가 있는지를 비교 분석하기 위해 설계되었다. 방법 : 데이터는 2001년 미국의 하버드 보건대학원의 College Alcohol Study (CAS) 팀에서 미국의 120개 4년제 대학에서 10,904명에게서 조사한 원자료와 한국에서는2003년 삼육대학교 보건복지대학원의 Korean College Alcohol Study (KCAS) 팀에서 전국의 60개 4년제 대학의 2,385명의 원자료를 함께 통합하여 사용하였다. 이 자료의 특징은CAS에서 개발한설문지를 한국과 미 국양측에서 공동으로 사용하여 양 국가를 대표한 4년제 대학생의 표본을 대상으로 음주와 관련된 조사를 수행한 점이다. 결과 : 한국남학생들이 폭음할 기회가7.74배더많고 여학생의 경우는3.36배 더많다. 지난 한달동안 3회 이상 술 취한 경험율에서 한국 남학생들의 경험율이 34.3%로 미국의 20.4%보다 많고, 여학생의 경우도 24.6%로 미국 여학생의 11.1%보다 현저히 더 많다. 한국 대학생들의 폭음자 비율이 미국 대학생들의 폭음자 비율보다 많은 것과같이, 한국 대학생들이 미국의 대학생들 보다 폭음이 안전한 것으로 인식하고 있으며, 음주에있어서도더욱허용적인태도를가지고있다. 한국남학생의78.4%와 여학생의67.3%가 폭음 이상의 량을 안전하다고 인식하고 있다(미국은 남학생은 50.3%, 여학생은 34.1%). 폭음에 해당하는 음주량(남자는5잔 이상, 여자는4잔 이상)을안전하다고인식하는정도에서한국의대학생들이미국의대학생들에 비해서 남학생은 4.06배, 여학생이 3,96배 더 높다. 결론 : 한국 학생들 중에서도 음주의 량이 더 많은 학생들이 다른 학생들보다 음주와 술 취함과 폭음에 관하여 더욱 허용적이고, 안전한 음주에 대해 더욱 둔감한 태도와 신념을 보이고 있다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.46 no.6
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• pp.519-526
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• 2018

In order to analyze space resources, it had to be brought to earth. However, using laser-induced breakdown spectroscopy(LIBS) and Raman spectroscopy, it is possible to analyze qualitative and quantitative analysis of space minerals in real time. LIBS is a spectroscopic method in which a high energy laser is concentrated on a material surface to generate a plasma, and the emitted light is acquired through a spectroscope to analyze the atomic composition. Raman spectroscopy is a spectroscopic method that analyzes the molecular structure by measuring scattered light. These two spectroscopic methods are complementary spectroscopic methods for analyzing the atoms and molecules of unknown minerals and have an advantage as space payloads. In this study, data were analyzed qualitatively by using principal component analysis(PCA). In addition, a mixture of two minerals was prepared and a quantitative analysis was performed to predict the concentration of the material.

• Polymer(Korea)
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• v.27 no.1
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• pp.17-25
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• 2003

Using atom transfer radical polymerization (ATRP), polystyrene macroinitiators and polystyrene-b-poly(t-butyl acrylate) (PS-b-P(tBA) block copolymers were synthesized by CuBr/PMDETA catalyst system in solution. After hydrolysis, polystyrene-b-poly(acrylic acid), amphiphilic block copolymers, were formed. Subsequent neutralization of polyacid block led to the block ionomers. The molecular weight of the synthesized PS-b-P(tBA) block copolymers was easily-controlled to 5000-10000 and their distributions were less than 1.2. The chemical structures of the synthesized block copolymers were characterized by $^1$H-NMR and FT-IR. In the DSC thermograms, $T_g$ appeared in the vicinity of 100 $^{\circ}C$ because of higher styrene content. In addition, the phase separation of the block ionomers was observed by TEM.

• Analytical Science and Technology
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• v.10 no.3
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• pp.179-186
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• 1997

This study was carried out to improve the analytical method for determination of germanium in plants by atomic absorption spectrometry with graphite furnace. For the decomposition of plant samples, the mixed acid of $HNO_3+HClO_4+H_2SO_4$(10 : 4 : 1, v/v) was used. Under this condition, time requirement for the decomposition was 4~5 days and recovery rate was more than 98%. Solution for filling up to constant volume after decomposition was 0.1M acetic acid-sodium acetate. Detection limit for determination of germanium was 0.02 ppm by atomic absorption spectrometry with graphite furnace and argon gas. These results were corresponded with the above-mentioned research projects for improving the determination method of germanium in plants.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.29 no.6
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• pp.245-250
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• 2019

We investigated the post-annealing effect of Sn-incorporated β-Ga₂O₃ (β-Ga₂O₃ : Sn) nanowires (NWs) grown on sapphire (0001) substrates using radio-frequency powder sputtering. The β-Ga₂O₃ : Sn NWs were converted to a porous structure during the vacuum annealing process at 800℃. Host non-stoichiometric Ga₂O_3-x, is transformed into stoichiometric Ga₂O₃, where Sn atoms separate and form Sn nano-clusters that gradually evaporate in a vacuum atmosphere. As a result, the amount of Sn atoms was reduced from 1.31 to 0.27 at%. Pores formed on the sides of β-Ga₂O₃ : Sn NWs were observed. This increases the ratio of the surface to the volume of β-Ga₂O₃ : Sn NWs.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.06a
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• pp.237-238
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• 2008

Electrical properties of Pd/Zn/Pd/Au contacts to p-InP were investigated as function of the V/III ratio of p-InP. P-type InP was made by the Zn diffusion into InP and activation process with rapid thermal annealing (RTA) measurement. After activation, the hole concentration was two orders of magnitude higher than that of the sample having only diffusion process. According to transmission line method (TLM) results, the specific contact resistance of p-InP was lower as used InP having the lower V/III ratio. The experimental results represent that the diffusion of Zn in undoped InP deeply related to the equilibrium between interstitials and substitutional Zn is established via indium interstitials.

• Analytical Science and Technology
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• v.12 no.5
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• pp.421-427
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• 1999

Two shapes of crystals have been isolated by the interdiffusion of $Co(NCS)_2$ dissolved in methanol with 1,2-bis(2,2'-bipyridyl-6-yl)ethane (bbpe) dissolved in chloroform. The two crystals have been elucidated as $trans-Co^{II}(NCS)_2(bbpe)$ and $trans-Co^{II}(NCS)_2(bbpe){\cdot}2CHCl_3$, by X-ray crystallography, elemental analysis, IR, and thermal analysis. The two molecular structures are very similar except for the absence or presence of chloroform solvate molecules. The bbpe ligand coordinates to the cobalt(II) ion in an open-ended tetradentate mode, resulting in discrete mononuclear cobalt(II) complex. The cobalt atom adopts a typical octahedral arrangement with six nitrogen donating atoms with two NCS groups in trans positions. A significant solid-to-solid phase transition occurs presumably due to the change of conformationally flexible bbpe ligand. The formation of both crystals oeeurs in a successive two-step process, the formation of $trans-Co^{II}(NCS)_2(bbpe)$ and its transformation into $trans-Co^{II}(NCS)_2(bbpe){\cdot}2CHCl_3$. The thermal stability and favorable formation of the solvate crystals may be ascribed to the interaction between S atom of NCS group and Cl of chloroform.