• Proceedings of the KSME Conference
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• 2005.11a
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• pp.151.2-151.2
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• 2005

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.07a
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• pp.302-303
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• 2003

원자간력-현미경(Atomic Force Microscope)은 비파괴적인 방법으로 광소자의 단면 형상과 거칠기에 관한 정보를 원자단위의 해상도로 얻어낼 수 있다. 그러나 탐침의 형상에 의해서 공간분해능에 제한을 받는다. 이 문제를 해결하기 위해, 원자간력-현미경 탐침의 끝부분에 나노튜브를 부착하였다. 주사형 전자현미경에 설치한 나노조작기를 사용하여 나노튜브를 탐침에 밀착하도록 이동시킨 후에, 탄화물 증착으로 접착시키는 방법을 사용하였다.

• The Science & Technology
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• v.35 no.6 s.397
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• pp.30-31
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• 2002

성남시 상대원동 공단에 자리잡고 있는 벤처기업(주) PSIA(대표이사 박상일)는 세계 최고의 기술인 원자현미경(XE-100)을 순수 우리 기술로 제작하고 있다. 국내에 이미 2백여대의 원자현미경이 연구실과 기업 생산라인에 보급되어 있으며 PSIA가 개발한 핵심기술은 현재 국제특허를 출원 중이다.

• The Science & Technology
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• no.3 s.442
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• pp.98-99
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• 2006

'CTO에게 듣는다' 세 번째 주인공은 박상일 PSIA(주) 대표이사이다. 박 대표는 서울대학교 물리학과를 졸업한 후 스탠퍼드대에서 응용물리학 박사학위를 받았다. 스탠퍼드대 주임연구원을 지냈으며, 미국 실리콘밸리에서 원자현미경 전문 벤처기업 'Park Scientific Instuments'를 설립한데 이어 한국 법인 PSIA(주) 설립했다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.36 no.9
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• pp.961-964
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• 2012

This paper presents a sensing system to measure the deflection of a microcantilever in an atomic force microscope. In general, the optical lever method and interferometry are used for the sensing system; however, their size and cost leaves considerable room for improvement. Therefore, we used an optical pickup head whose operating principle is based on the astigmatism of the commercial optical disk drives. The developed sensing system was applied to a laboratory atomic force microscope, and satisfactory results were obtained.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.29 no.4
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• pp.293-298
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• 2009

The ultrasonic atomic force microscope(UAFM) has been developed in order to enhance the characterization technology for nano-scale surface combining ultrasonic property to atomic force microscope. This UAFM technique enables elasticity imaging due to the physical properties on the heterogeneous surface in addition to the novel topography of surface height in the nano-surface layer. In this study, the prototype UAFM system was constructed and applied to several materials, silicon deposited wafer, spherodized cold heading steel, and carbon fiber reinforced plastic specimen. Clear elastic contrast was successfully obtained using this developed prototype UAFM.

• Polymer(Korea)
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• v.30 no.3
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• pp.187-195
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• 2006

Atomic force microscope (AFM)-based anodic oxidation lithography has gained great in forests in fabricating nanometer scale features on semiconductor or metal substrates beyond the limitation of optical lithography. In this article AFM anodic oxidation lithography and its organic resist layers are introduced based on our previous works. Organic resist layers of self-assembled monolayers, Langmuir-Blodgett films and polymer films aye suggested to play a key role in enhancing the aspect ratio of producing features, the lithographic speed, and spatial precision in AFM anodic oxidation lithography.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.31 no.2
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• pp.174-180
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• 2011

Nondestructive surface imaging of elastic characteristic and mechanical property has been studied on nanoscale surface with ultrasonic AFM. Resonance frequency variation of cantilever is theoretically analyzed with respect to contact mechanics as well as experimentally measured. The contact resonance frequency is calculated theoretically using the spring-mass and Herzian model in accordance with the resonance frequency of UAFM cantilever measured experimentally. Consequently, the topography and amplitude images could be obtained successfully and the elastic characteristic at the nanoscale surface was evaluated qualitatively by amplitude signals.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2012.05a
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• pp.69.1-69.1
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• 2012

원자 한층 또는 수층의 두께를 가진 그래핀과 2차원 나노물질들은 그들의 적층형태의 3차원 물질들과는 두드러지게 다른 전기적, 전자적, 광학적, 화학적, 기계적 성질을 지닌다. 그래핀은 탄소원자들간에 sp2공유결합을 형성하여 뛰어난 기계적, 윤활적 특성을 가지고 있으며, 이황화몰리브덴 또한 좋은 윤활적 특성을 가지고 있다. 본 발표에서는 원자현미경을 이용해서 그래핀, 이황화몰리브덴, 질화붕소, 니오븀 다이셀레나이드 등의 원자 두께 수준의 2차원 나노물질들에서 나타나는 특이한 마찰적 특성들을 보고한다. 특별히 원자수준으로 얇아짐으로 두께에 따른 마찰력의 변화와 2차원물질의 주름에 따른 방향성있는 마찰특성 그리고, 기판에 따른 마찰력의 특성변화를 보고하도록 한다.

• Journal of the KSME
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• v.42 no.11
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• pp.55-60
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• 2002