• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.21 no.8
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• pp.7-13
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• 2004

초정밀 공작기계의 기능은 초정밀 운동에 의해 대부분 지배된다. 이러한 운동을 생성하는 고정밀 베어링의 운동정밀도는 이미 나노미터 레벨에 도달하고 있으며, 이러한 운동정밀도를 나노미터 레벨의 정밀도로 측정하는 것(정밀나노계측)이 중요한 과제가 되고 있다. 예를 들어, 초정밀선반 등에 있어서, 공기베어링을 대표로 하는 높은 회전정밀도를 갖는 회전축(주축)이 사용되고 있으며, 따라서 이러한 고정밀 주축의 회전정밀도를 나노미터 레벨의 정밀도로 평가하는 기술은 매우 중요하다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.10a
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• pp.260-260
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• 2004

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.320-320
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• 2004

반도체용 노광장비나 검사장비, 초정밀 광학렌즈, 비구면 렌즈 가공 등의 핵심이 되는 것은 초정밀결정기술이다. 서브미크론의 정밀도를 갖는 장비는 한치의 오차도 허용치 야고 계획된 경로대로 정확하게 목표지점에 도달해야 초정밀 가공을 기대 할 수 있다 초정밀 공기정압 스테이지는 저마찰 특성과 높은 운동정밀도, 청정환경유지가 가능하여 반도체 노광장비에서 PDP 나 LCD검사장비, 초정밀가공 가공기 등 다양한 정밀장비에서 활용된다.(중략)

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.17 no.12
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• pp.26-33
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• 2000

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.20 no.5
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• pp.22-28
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• 2003

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.02a
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• pp.90-91
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• 2003

대부분의 가공기 혹은 측정기에 있어 이송테이블은 그 기능수행의 기본을 담당하고 있으며 이송테이블의 운동 정밀도와 고속화는 목표하는 정밀도와 생산성으로 직결된다. 종래에는 형상특성, 열변형 등의 계통 오차만을 오프라인(Off-line)으로 측정하고 소프트웨어적으로 보상하는 방법을 사용하였으나 초정밀 분야에서 요구되는 테이블의 운동정밀도는 기계적 강성한계를 넘는 정밀도이므로, 테이블 이송 시 발생하는 운동오차를 실시간으로 측정하고, 보상할 수 있는 온라인(On-line)개념의 능동형 보상이 필요하다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1993.04b
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• pp.204-207
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• 1993

현대는 급속히 발전하는 공업을 바탕으로 생산품의 고기능화, 고정도화, 고속화를 추구하고있다. 그중에서도 고정도화에 대항 요구는 초정밀 가공 분야의 경우 2000년대 초에는 수 nm 수준까지 도달할 것으로 예측된다. 현재 각 선진국에서는, 초정밀도의 형상 정밀도를 요구하는 대형 광학 부품들의 가공에대한 연구가 진행중이며, 이와 같은 연구에서 요구되는 가공 정밀도가 조만간 가공기의 강성한계에 도달할 것이다. 이와함께 초정밀 가공에 있어서, 이송 테이블의 운동오차는 심각한 문제로 대두되고 있으므로, 테이블의 운동오차의측정 및 실시간 보상에 대한 연구의 의미가 있을 것으로 생각된다. 본 연 구는 기계 이송 테이블의 기하학적 운동오차의 실시간보상(real-time correction)에 관한 것이다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.14 no.1
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• pp.15-16
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• 1997

공작기계의 기본은 POSITION ACCURACY이다. XYZ 3축 직선운동 복합으로 거의 모든 형태를 표현할 수 있다. 3축 각각의 직선운동만 정확하면 정밀한 절삭가공이 된다는 뜻이다. 직선운동의 정확도를 기하기 위하여 볼스크류 를 쓰고 기아도 그라인딩을 한다. POSITION ACCURACY는 NC-CONTROLLER를 사용하면서 극대로 증가한다. 이것이 공작기계의 원리이다. 항공기의 조립은 공작기계가 갖고 있는 X Y Z 3축의 복합만으로는 STROKE가 짧아 표현할 수 없는 상당히 긴 STROKE이면서 공간의 위치가 요구된다. 이를 찾는 방법은 지극히 정밀한 LENS를 동원한 OPTICAL TOOL을 쓰는 것이 가장 용이하다. 항곡부품의 위치도 OPTICAL TOOL을 사용하는 것이 가장 용이하다. 물론 건축용 OPTICAL TOOL보다 항공용은 몇배 더 정밀하다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.10 no.4
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• pp.42-53
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• 1993

이 논문에서는 정밀로봇 설계에 관한 여려 사안을 다루었다. 정밀로봇이란 미세한 오차와 정밀한 제어로 기존 로봇의 정밀도 향상을 위한 작고, 정밀한 운동범위를 갖춘 로봇이다. 원하는 운동범위나 효과적인 힘 전달률, 최소한 작은 힘으로의 동작을 수행하기 위한 최적의 기구학적 변수를 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 구현하고자 한다. CAD/CAM 시스템을 이용한 합성, 해석 및 제작을 위한 정보가 만들어질 수 있으며 최대 휨 및 응력해석을 통하여 최종적인 검증 및 설계 변경을 위한 자료로서 사용될 수 있을 것이다.

• Journal of the KSME
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• v.34 no.3
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• pp.168-176
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• 1994

축 이송운동의 오차를 측정할 수 있는 광전소자 측정시스템이 구현되었으며, 결론은 다음과 같다. 1) 광전소자와 레이저광원을 이용하여 축이송시에 발생하는 5개의 운동오차를 동시에 검출하는 측정방법이 개발되었으며, 이때의 정밀도는 마이크로미터오더이다. 2)광전소자에 대한 2차원 칼리브레이션이 수행되었으며, 비선형성을 고려할 때 더욱 정밀한 측 정값을 얻을 수 있었다. 3) 레이저간섭기 등에 의해서 측정이 어려운 롤(roll)오차의 측정방법이 구현되었으며, 이때 빔 분리기의 오차를 칼리브레이션할 때, 정밀한 측정값이 얻어질 수 있었다. 4)광전소자측정시스템을 마이크로 컴퓨터와 연계함으로써, 종래의 측정방법보다 매우 빠르며, 정밀한 측정시스템이 구현되었다.