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Jun, Young-Kil;Kim, Nam-Hoon;Lee, Woo-Sun
- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2006.11a
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- pp.139-140
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- 2006
PZT박막은 비휘발성 재료로 유전율이 높고 항전력이 작으면서 잔류 분극랑이 크기 때문에 적합한 특성을 가지고 FeRAM에 매력적인 물질이다. CMP(chemical mechanical polishing)는 기존의 회생막의 전면 식각 공정과는 달리 특정 부위의 제거 속도를 조절함으로써 평탄화 하는 기술로 wafer 전면을 회전하는 탄성 패드 사이에 액상의 Slurry를 투입하여 연마하는 기술이다. 본 논문에서는 CMP 공정으로 제조한 PZT박막 캐패시터에서 CMP 후처리공정(세척)의 유무 및 종류에 따라 피로특성에 대하여 연구하였다, PZT 박막의 캐패시터의 피로 특성을 연구한 결과 CMP 후처리공정 SC-l용액을 사용하여 세정공정을 하였을때 가장 향상된 PZT 캐패시터의 피로특성이 나타났다.
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Kim, Deuk Ju;Nam, Sang Yong
- Membrane Journal
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- v.23 no.5
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- pp.319-331
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- 2013
Electrodialysis with bipolar membranes (EDBM) has recently gained increasing attention for the recovery and production of acids or bases from the corresponding salt solutions and other high value-added business like food processing and biochemical industry. EDBM possesses economical and environmental benefits and can complex with other process such as ion exchange process, extraction and adsorption. So this paper investigates a brief overview of development for bipolar membrane and EDBM with the practical application.
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No, Yong-Yeong;Gu, Jae-Bon;Choe, Seong-Yul;An, Seong-Deok;Yu, In-Gyu
- Information and Communications Magazine
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- v.25 no.10
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- pp.25-32
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- 2008
본고에서는 프린팅 공정을 통해서 chip당 1센트 이하의 초저가 RFID tag을 개발 하고자 하는 최근 연구 동향과 앞으로의 전망에 대해서 기술 하고자 한다. 개별 물품 단위 인식(Item level tagging) 을 위해서는 RFID의 제조단가를 획기적으로 낮추어야 하는데 기존의 태그를 제작하는 실리콘 공정으로는 이러한 낮은 가격의 칩을 제조 할 수 없다. 따라서 이를 위해서 용액상태를 기반으로 하는 기능성 잉크의 직접 프린팅 공정을 통해 칩과 안테나를 동시에 인쇄하여야 한다. 이러한 새로운 공정은 기존의 공정과는 차별화 되는 낮은 생산 단가를 보여주고 있으나 이를 제품으로 완성하기 위해서는 여러 가지 문제점들이 해결되어야 한다. 그 중에서도 인쇄공정을 통한 RFID tag를 실현하기 위해서 가장 중요한 사항은 프린팅이 가능한 고성능 기능성 잉크의 개발과 미세 인쇄 공정의 확립이라고 할 수 있다. 따라서 본 기고서 에서는 이러한 점에 초점을 맞추어 현재의 인쇄전자분야의 기술적인 문제점을 해결하고자 하는 여러 가지 방안들과 앞으로의 전망들에 대해서 기술하고자 한다.
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