• Title/Summary/Keyword: 용사 피막

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Effects of Plasma Spray Conditions on Photoelectric Properties of Plasma Sprayed $TiO_2$ Semiconductor ($TiO_2$ 반도체 용사피막의 광전극 특성에 미치는 용사조건의 영향)

  • 박정식;박경채
    • Journal of Welding and Joining
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    • v.12 no.1
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    • pp.94-101
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    • 1994
  • In this study, plasma spraying has been used to produce $TiO_2$ polycrystalline coatings from $TiO_2$ powders. The physical and chemical properties of plasma sprayed $TiO_2$ coatings depend greatly on plasma spraying conditions. The electrical resistivity, oxygen concentration, photocurrent and crystal structure of plasma sprayed $TiO_2$ coating has been studied. The results are as follows: 1. The oxygen loss and electrical conductivity of $TiO_2$ plasma sprayed coatings increased by low pressure and high amount of auxiliary gas, hydrogen in plasma spraying. 2. Oxygen loss increase electrical conductivity, and decrease photocurrent of $TiO_2$ plasma sprayed coatings. 3. Photocurrent of $TiO_2$ plasma sprayed coatings manufactured in atmospheric pressure is higher than that of low pressure.

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An Experimental Study on the Permeability Evaluation of Metal Spray System by Concrete Surface Treatment (콘크리트 표면처리방법에 따른 금속용사 피막의 투수성 평가에 관한 실험적 연구)

  • Park, Jin-Ho;Lee, Han-Seung
    • Proceedings of the Korean Institute of Building Construction Conference
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    • 2015.11a
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    • pp.34-35
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    • 2015
  • Recently, introduction of Advanced water treatment facilities has been increasing due to serious domestic water pollution. Ozone is a strong oxidizing materials in the advanced water treatment facilities. However, due to such a strong oxidation, Ozone eroded waterproofing/corrosion on the concrete surface and caused performance degradation. Therefore, in this study, permeability experiment of metal spraying system by concrete surface treatment was conducted.

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An Experimental Study on the Permeability Evaluation of Metal Spray System by Metal Spray Coating Surface Treatment (콘크리트 표면처리방법에 따른 금속용사 피막의 투수성 평가에 관한 실험적 연구)

  • Park, Jin-Ho;Jang, Hyun-O;Lee, Han-Seung
    • Proceedings of the Korean Institute of Building Construction Conference
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    • 2016.10a
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    • pp.50-51
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    • 2016
  • Ozone is a strong oxidizing materials in the advanced water treatment facilities. However, due to such a strong oxidation, Ozone eroded waterproofing/corrosion on the concrete surface and caused performance degradation. Therefore, in this study, permeability experiment of metal spraying system by concrete surface treatment was conducted.

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Etcher용 상부전극의 Life Time 평가 방법 연구

  • No, Seung-Wan;Song, Je-Beom;Sin, Jae-Su;Gang, Sang-U;Kim, Jin-Tae;Sin, Yong-Hyeon;Yun, Ju-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.43-43
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    • 2010
  • 반도체 및 디스플레이의 진공부품은 알루미늄 모제에 전해연마법(electrolytic polishing), 양극산화피막법(anodizing), 플라즈마 용사법(plasma spray) 등을 사용하여 $Al_2O_3$ 피막을 성장시켜 사용되고 있다. 반도체 제조공정 중 30~40% 이상의 비중을 차지하는 식각(etching) 및 증착(deposition) 공정의 대부분 은 플라즈마에 의해 화학적, 물리적 침식이 발생하여 피막에 손상을 일으켜 피막이 깨지거나 박리되면서 다량의 particle을 생성함으로써 생산수율에도 문제를 야기 시킨다. 본 연구에서는 이러한 진공부품의 하나인 etcher용 상부전극을 양극산화피막법(Anodizing)으로 $Al_2O_3$ 피막을 성장시킨 샘플을 제작하여 플라즈마 처리에 따른 내전압, 식각율, 표면 미세구조의 변화를 관찰하였고 이를 종합적으로 고려하여 etcher용 상부전극의 Life Time 평가 방법을 연구하였다. 이러한 실험을 통해 플라즈마 처리 후 피막에 크랙이 발생되는 것을 확인할 수 있었고 피막의 손상으로 전기적 특성이 감소되는 것을 확인할 수 있었다. 또한 플라즈마 처리 중 ISPM 장비를 이용하여 플라즈마 공정에서 발생하는 오염입자를 실시간으로 측정할 수 있는 방법을 연구하였다. 이러한 결과를 이용하여 진공공정에서 사용되는 코팅부품이 플라즈마에 의한 손상정도를 정량화 하고 etcher용 상부전극의 Life Time 평가 방법을 개발하여 부품 양산업체의 진공장비용 코팅부품의 개발 신뢰성 향상이 가능할 것으로 기대된다.

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An Experimental Study on the Evaluation of EMP Shielding Performance of Concrete Applied with ATMSM Using Zn-Al Alloy Wire (Zn-Al 합금 선재를 이용한 금속용사 공법 적용 콘크리트의 전자파 차폐 성능 평가에 관한 실험적 연구)

  • Choi, Hyun-Jun;Park, Jin-Ho;Min, Tae-Beom;Jang, Hyun-O;Lee, Han-Seung
    • Journal of the Korea Institute of Building Construction
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    • v.19 no.3
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    • pp.209-217
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    • 2019
  • EMP (Electromagnetic Pulse) usually means High Power Electromagnetic Wave (HPEM). In the case of the shielding plate against the EMP, there is a possibility of deterioration of the electromagnetic wave shielding performance due to the skill of the constructor, bad construction, deformation of the shielding plate at the connection portion (joint portion). The inefficient use of space due to the separation distance is also pointed out as a problem. Therefore, this study aims to derive the optimum electromagnetic shielding condition by applying ATMSM to concrete as a part of securing electromagnetic wave shielding performance with reflection loss against concrete wall. Experimental parameters included concrete wall thickness and application of Zn-Al ATMSM. For the concrete wall, the wall thickness was 100 to 300mm, which is generally applied, and experimental parameters were set for the application of Zn-Al metal spraying method to evaluate electromagnetic shielding performance. Experimental results showed that as the thickness increases, the electromagnetic shielding performance increases due to the increase of absorption loss. In addition, after the application of Zn-Al ATMSM, the average shielding performance increased by 56.68 dB on average, which is considered to be increased by the reflection loss of the ATMSM. In addition, it is considered that the shielding performance will be better than that when the conductive mixed material and the ATMSM are simultaneously applied.

Evaluation of physical properties of Zn-Al metal coating according to arc metal spray surface treatment method (아크 금속 용사 표면 처리 방법에 따른 Zn-Al 금속 용사 피막의 물리적 특성 평가)

  • Jang, Jong-Min;Kim, Yeung-Kwan;Lee, Han-Seung
    • Proceedings of the Korean Institute of Building Construction Conference
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    • 2022.11a
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    • pp.89-90
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    • 2022
  • Arc metal spraying is a widely used method for improving the performance of construction structures such as corrosion resistance and electromagnetic wave shielding. However, when arc metal spraying is applied to a concrete structure, adhesion performance may deteriorate. Therefore, the effect of each surface treatment method on the physical properties between the arc metal spray coating and concrete was reviewed by evaluating the deposition efficiency and adhesion performance according to the arc metal spray surface treatment method (surface reinforcing agent, roughening agent, and sealing agent). As a result, it is suggested as an optimal surface treatment condition to induce non-interface failure by using a roughening agent and to improve the properties of concrete and metal coatings by applying a surface reinforcing agent and sealing agent.

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플라즈마 전해산화 공정 중 전해액 내의 인산염 변화에 따른 알루미늄 합금 산화피막의 형성

  • Yun, Sang-Hui;Kim, Seong-Cheol;Seong, Gi-Hun;Gang, Du-Hong;Min, Gwan-Sik;Cha, Deok-Jun;Kim, Jin-Tae;Yun, Ju-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.298-298
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    • 2013
  • 플라즈마 전해산화기술은 알루미늄 소재에 대해 기존의 양극 산화막, 전해 경질크롬 도금 및 플라즈마 세라믹 용사기술 등에 의해 구현할 수 없는 고기능성을 부여하여 월등히 우수한 경도, 내부식, 내마모, 전기절연, 열저항, 피로강도 등을 얻을 수 있는 획기적인 기술이다. 또한 최근 환경에 대한 관심이 점차 높아지면서 친환경적 공정과정과 경금속 소재의 제품에 내구성을 향상시킬 필요성이 높아지고 있다. 이러한 요구에 부합하는 플라즈마 전해 산화기술은 알칼리 수용액 중에서 Al, Ti, Mg 등의 표면에 산화 피막을 형성시키는 기술로써 기존의 양극산화(Anodizing)을 대체 할 수 있다. 본 연구에서는 Al6061을 이용하여 플라즈마 전해산화 공정에 사용되는 전해액의 종류 및 농도, 시간의 변화에 따른 산화 피막의 변화를 내전압 측정 및 FE-SEM, EDS, XRD를 통해 분석하였다. 전해액에 sodium hexameta phosphate과 potassium phosphate를 이용하여 phosphate 종류의 변화에 따른 피막 특성의 변화를 연구하였다. 그로인해 phosphate의 종류 및 농도, 시간 변화를 이용하여 플라즈마 전해산화공정의 산화 피막 물성 제어를 할 수 있다.

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