• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.302.2-302.2
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• 2016

알루미늄 산화막 스퍼터링 공정 중 타겟이 반응성이 있는 산소와 결합하여 산화되는 타겟 오염은 증착 효율의 감소[1]와 방전기 내 아크 발생을 촉진[2]하여 이를 억제하는 방법이 연구되어 왔다. 본 연구에서는 알루미늄 산화막 증착 공정 중 타겟 오염 현상이 기판에 증착된 알루미늄 산화막 특성이 미치는 영향을 분석하였다. 실험에는 알루미늄 타겟이 설치된 6 인치 웨이퍼용 직류 마그네트론 스퍼터링 장치를 활용하였다. 위 장치에서 공정 변수 제어를 통해 타겟 오염 현상의 진행 속도를 제어하였다. 공정 중 타겟 오염 현상을 타겟 표면 알루미나 형성에 따른 전압 강하로 관찰하였고 타겟 오염에 의한 플라즈마 변화를 원자방출분광법을 통해 관찰하였다. 이 때 기판에 증착 된 알루미나 박막의 화학적 결합 특성을 XPS depth로 측정하였으며, 알루미나 박막의 두께를 TEM을 통해 측정하였다. 측정 결과 타겟 오염 발생에 의해 공정 중 인가 전압 감소와 타겟 오염에 소모된 산소 신호의 감소가 타겟 오염 정도에 따라 변동되었다. 또한 공정 중 타겟 오염 정도가 클수록 기판에 증착한 막과 실리콘 웨이퍼 사이에 산소와 실로콘 웨이퍼의 화합물인 산화규소 계면의 형성 증가됨을 확인했다. 위 현상은 타겟 오염 과정 중 발생하는 방전기 내 산소 분압 변화와 막 증착 속도 변화가 산소의 실리콘 웨이퍼로의 확산에 영향을 준 것으로 해석되었다. 위 결과를 통해 스퍼터링 공정 중 타겟 오염 현상이 기판에 증착 된 알루미나 막 및 계면에 미치는 영향을 확인하였다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 1999.10a
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• pp.293-294
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• 1999

일반적으로 환경오염 하면 대기, 수질 토양오염과 같은 실외 오염을 의미하며, 우리 나라의 경우 대부분의 환경오염에 대한 연구가 이들에 집중되어 있다. 그러나 실질적으로 일반인이 실외에서 보내는 시간보다도 실내에서 지내는 시간 (70∼80％) 이 월등히 많으며, 외국의 여러 보고에 의하면 대기오염보다 실내공기 오염이 일반인의 건강에 미치는 영향이 훨씬 현저하다(Table 1), 그러나 우리 나라의 경우 환경에 관한 연구는 환경부에서 주도한 관계로 실외 환경오염에 집중되어 있다.(중략)

• Journal of the Korean Geosynthetics Society
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• v.5 no.2
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• pp.1-8
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• 2006

The properties of contaminated soil, contaminants and elapsed time are important considering factors to in-situ soil remediation. Gabr et. al. (1996) derived the solution equation of contaminant concentration ratio as initial one ($C/C_0$) with time and spatial changes in contaminated area which are embedded with vertical drains. The contaminant concentration ratio ($C/C_0$) is analyzed with time and spatial changes as varying the effective diameter, porosity, shape factor, density of contaminated soil, temperature in ground, unit weight and viscosity of contaminants by using FLUSH1 model modified from FLUSH. Results from numerical analysis indicate that the most important factor to the in-situ soil remediation in vertical drain system is the effective diameter of contaminated soil. It also shows that the next important factors are the viscosity of contaminants, porosity of soil, shape of soil, temperature in ground, unit weight of contaminants and density of soil, in order. However, the others except the effective diameter of contaminated soil are insignificant to the soil remediation.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.61-62
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• 2000

중국의 풍하측에 위치한 우리나라는 대기오염물질의 장거리 이동에 의하여 많은 영향을 받고 있다 (문길주 등, 1999). 특히 황해는 중국과 한반도에 의해 삼면이 막혀있는 바다로서, 오염물질의 이동배출이 낮아 오염문제의 해결이 어려운 지역이다. 본 연구에서는 황해의 대기오염물질 이동 특성을 살펴보기 위하여 황해상의 도서지역인 덕적도에서 15개월간 측정한 가스상 오염물질 및 기상자료를 분석하였다. 덕적도는 중국의 영향뿐 아니라 한반도의 영향도 받을 수 있는 지점에 위치해 있으므로, 대기오염 농도와 오염물질 배출원과의 관련성에 주목하여 대기오염물질의 국지 배출과 외부로부터의 유입 특성을 구분하고자 하였다. (중략)

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2007.05a
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• pp.465-467
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• 2007

애기장대에 납을 농도별로 처리하였을 때 식물의 생장과 종자 발아에 미치는 영향을 조사하였다. 환경부고시 오염물질 배출기준치를 기준 농도로 하고 이보다 10배 및 50배 높은 농도의 납을 각각 처리한 애기장대의 줄기생장을 조사한 결과 오염물질 배출기준 농도와 이보다 10배 높은 농도에서는 줄기 생장이 정상식물보다 약 18%정도 감소되었다. 또한 오염물질 배출기준 농도보다 50배 높은 농도를 처리한 식물에서는 정상식물보다 약 41% 줄기생장이 감소하였다. 3가지 농도의 납을 애기장대에 처리한 후 식물의 뿌리 생장을 조사한 결과 오염물질 배출기준농도를 처리한 식물의 뿌리 생장은 정상식물과 거의 유사하였으나 오염물질 배출기준농도의 10배 이상이 되면 뿌리 생장이 전혀 되지 않았다. 3가지 농도의 납을 처리한 배지에서 애기장대의 종자 발아율을 측정한 결과 오염물질 배출기준 농도와 이보다 10배 높은 농도를 처리한 배지에서는 종자 발아율이 100%로 나타나 정상배지에서의 발아율과 차이가 나타나지 않았으나 오염물질 배출기준 농도보다 50배 높은 농도를 처리한 배지에서는 발아율이 0%로 나타나 종자 발아가 전혀 되지 않았다. 이러한 결과는 토양 속에 침적된 납은 애기장대의 생장과 종자 발아에 영향을 미치어 줄기 및 뿌리의 생장을 감소시켰으며, 또한 종자 발아에도 매우 치명적인 영향을 미치는 것으로 생각된다.

• Journal of Korean Society for Atmospheric Environment
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• v.9 no.1
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• pp.11-18
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• 1993

대기오염물질이 식물에 미치는 영향에 대한 기록은 1920년대부터 나타난다. 1924년 대기오염물질의 피해로 영국 런던의 Kew식물원 일부를 Kent지방으로 이동하였거나 1925년 Canada의 한 제련소에서 배출된 유독오염물질이 미국에까지 영향을 미쳐 수목, 농작물에 피해를 주어 국제적인 문제가 된 사실 등은 수목에 대한 대기오염물질의 피해 심각성을 보여 주는 사례이다(임경빈 등, 1979a, 1979b). 우리나라에서는 1930년이후 흥남질소비료공장에서 배출된 매연물질이 주위 30리까지의 경작지에 피해를 끼쳤다는 사실이 최초로 기록되어 있다.(김태욱, 1976).

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.04a
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• pp.353-355
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• 2000

대기 오염 면상은 인구 증가와 산업화로 날로 심각해지고 있고 이로 인한 영향은 동·식물 뿐만 아니라 건축구조물, 나아가서는 기후변동에까지 미치고 있다. 이러한 오염 물질에 의한 피해 현황과 가까운 미래에 미칠 영향을 예측할 수 있다면 오염 물질의 배출 규제와 방지에 큰 도움을 줄 수 있을 것이다 이에 오염 물질이 미치는 영향을 추정하기 위한 대기오염농도 예측모델의 연구는 많은 학자들에 의해 다양한 방법으로 추진되어 왔고 이와 함께 건성 침적 모듈의 연구도 지속적으로 이루어져 왔다. (중략)

• Journal of Korean Society of societal Security
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• v.2 no.1
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• pp.65-74
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• 2009

In this study, the air pollution management system based GIS has been developed to estimate the emission rate and air pollution modeling of air pollutants, effectively. This system is able to estimate emission rate of air pollutant and to analyze the emission characteristics with high spatial and temporal resolution. air pollution modeling. The air pollution management system was applied to Gwangyang Bay including large industry complex with a large number of emission sources. The air pollution management system was constructed using the spatial database of emission sources in Gwangyang Bay. It was found that the estimated emission rates of air pollutants is similar to the emission characteristics in Gwangyang Bay. Also, the spatial distribution of pollutants was similar to the location of emission sources. The predicted results of air pollution model was showed a good correlation coefficient (0.75) for TSP. The air pollution management system is expected to be effective tool (database system (GIS)) for the management and the control of air pollution.

• Environmental and Resource Economics Review
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• v.22 no.3
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• pp.437-457
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• 2013

The purpose of this study is to explain the causes of the phenomenon that the Environmental Kuznets Curve hypothesis suggests that the increasing the emissions level of environmental pollutants starting to decrease as a certain income level is reached, associating microeconomic variables such as awareness level. Effects of the level of awareness differs depending on the characteristics of the impacts of pollutants- either regional or global. Furthermore, the study identifies that the impacts on the change in emissions inventory differ. The study empirically examines and concludes that the turning point where the emission level of environmental pollutants starts to decrease is over- or under-estimated if the differing responses between the level of awareness and its effect on pollutants are ignored. In addition, the level of emissions starts to decrease at a lower level of income in case of regional effect from pollutant than the global effect from it. Finally, the study implies that investing more efforts and resources to improve the level of people's awareness on environmental quality is effective if the government is to alter the increasing path of emission level.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.11a
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• pp.77-78
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• 2003

산업체, 각종 수송시설, 그리고 각종 인간의 활동 및 삶의 과정에서 배출된 대기 오염물질은 배출원 근처의 대기질에 큰 영향을 미친다. 그래서 대기질의 개선에 많은 노력을 기울임에도 불구하고 국내 산업체에서 배출되는 오염물질의 양은 여전히 선진국에 비해 높은 편이어서 대기환경 기준치를 초과하는 경우가 자주 발생되고 있다. 또 광역의 범위에서 발생된 대기오염물질의 영향에 민감한 산성오염물질은 대기오염물질의 배출원 근처의 영향뿐만 아니라 장거리 이동에 의한 영향도 매우 큰 것으로 알려져 있다(강동근, 1993). (중략)