• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.91-92
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• 2000

입자상 대기오염물질은 기후변화 및 시정감소의 원인이 될 뿐만 아니라 인체의 건강에 유해한 영향을 미친다. 특히 입자크기가 작은 미세입자는 폐의 깊은 곳에 침착되어 인체의 호흡기 건강에 매우 유해하다. 1995년 우리나라에서 PM10을 대기환경기준에 포함시킨 것도 이러한 미세입자의 인체에의 악영향을 고려한 것이라 할 수 있다. 최근에는 더 미세한 입자로서 폐에 큰 침착률을 보이고 실질적으로 호흡기 건강에 악영향을 미치는 입자인 PM/sub 2.5/에 눈을 돌려 규제의 움직임을 보이고 있다. (중략)

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.07b
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• pp.1292-1295
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• 2004

본 연구는 Cu CMP공정 중 알루미나 연마입자의 wafer 표면에서의 점착과 오염을 AFM (Atomic Force Microscopy)을 사용하여 슬러리내에서 점착력 측정과 실제 연마 후 wafer 표면의 오염을 실험적으로 비교 평가하였다. 연마입자의 adhesionn force 측정에 있어서도 역시 wafer들의 zetapotential 결과와 잘 일치하였으며, 모든 wafer 종류에 관계없이, 산성 영역에서 염기성영역의 슬러리가 적용됨에 따라 adhesion force가 작아짐을 확인할 수 있었다. 특히 FSG wafer의 zetapotential 결과는 비록 산성 분위기에서는 양성 전하값을 나타내었으나, 염기성 분위기의 pH에서는 급격하게 음성 전하값을 나타내었고, 이는 adhesionn force결과와 FESEM 결과와 잘 일치하였다.

• Journal of the KSME
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• v.52 no.5
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• pp.46-50
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• 2012

현대 사회에서 웰빙에 관심이 높아짐에 따라 실내 공기질에 대한 관심도 커졌으며 그 시장 또한 커지고 있다. 쾌적한 실내 공기질 확보를 위해서 오염 물질을 기계적으로 측정하고, 저감할 수 있는 연구가 중요하다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.04a
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• pp.191-192
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• 2000

최근 동아시아 지역의 산업의 발전과 함께 대기오염물질이 발생하여 인접국가간에 상호영향을 미치므로, 이들 오염물질들의 이동에 관한 정량적 파악과 영향에 대한 규명이 필요하다. 대기중의 입자상 이온물질중 질산염과 황산염의 경우 대부분이 인간활동의 결과로 유입된 NOx와 대기중의 SO$_2$가 대기 중에서 화학적 반응에 의해 형성된 2차 오염물질이다. 자동차, 공장의 가동 등으로 인하여 발생되는 이들 오염물질들은 국지적으로 기상조건에 따라 이동되고 있는 것으로 알려져 있고, 각 지역에서 측정을 비롯한 많은 연구가 이루어지고 있다. (중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2002.11a
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• pp.326-327
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• 2002

제주도 고산은 지역자체내의 대기오염물질이 거의 없는 우리나라의 대표적인 배경농도지역이며, 지리적 특성상 동북아시아에서 대기오염물질의 장거리이동 특성을 규명하는데 적합한 지역으로 알려져 있다. 고산에 대한 활발한 연구를 통해 장기간 TSP 측정자료가 모아졌으나, 아직까지 그 해석에 대한 통계적인 분석과 이동특성에 관한 해석을 위한 역궤적 분석은 미흡하다. 이에 본 발표에서는 1992년 3월부터 2002년 2월까지 고산에서 측정한 입자상 무기이온 성분의 농도를 장기간의 역궤적 분석결과와 함께 통계적인 방법으로 해석하고자 하였다. (중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2002.04a
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• pp.83-84
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• 2002

우리 사회가 중국으로부터 오염물질 이동을 주목하기 시작한 것은 국지 오염 중심의 아황산가스, 먼지 등 1차 오염이 어느 정도 해결된 1990년대 초반 이후이다. 1992년 환경부 선도기술개발사업으로 산성비 감시 및 예측기술개발이 시작되고 1995년부터 국립환경연구원 주도로 배경농도 지역에서 미세입자 측정이 진행되면서 국내의 장거리 이동대기오염물질 연구는 점차 자리를 잡게 되었다. (중략)

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.20 no.2
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• pp.86-92
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• 2011

The diagnosis studies of the process of chemical vapor deposition were carried out by using in-situ particle monitor (ISPM) and self-plasma optical emission spectroscopy (SPOES). We used the two kinds of equipments such as the silicon plasma enhanced chemical vapor deposition system with silane gas and the borophosphosilicate glass depositon system for monitoring. Using two sensors, we tried to verify the diagnostic and in-situ sensing ability of by-product gases and contaminant particles at the deposition and cleaning steps. The processes were controlled as a function of precess temperature, operating pressure, plasma power, etc. and two sensors were installed at the exhaust line and contiguous with each other. the correlation of data (by-product species and particles) measured by sensors were also investigated.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.02a
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• pp.210.2-210.2
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• 2009

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2002.02a
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• pp.202-202
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• 2002

• Membrane Journal
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• v.21 no.2
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• pp.163-170
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• 2011

Membrane fouling control in water treatment may be the main obstacle for wider implementation and lower cost. A novel fluorescent spectroscope sensor device for membrane fouling integrity monitoring has been developed and evaluated in this study. PSf membranes for water treatment has been fabricated with three types of organic fluorescent materials, OB, FP, KCB. The fluorescent signal from membrane surface was analyzed throughout the filtration process. It was found that the fluorescent signal due to the membrane fouling decreased and the developed device is reliable for membrane fouling monitoring.