투과전자현미경(transmission electron microscopy)에서 특정 투사각에서 획득한 2차원으로의 투사 영상의 열을 사용하여 세포와 같은 물질의 3차원 구조를 복원한다. 이때 전처리 과정으로 2차원 투사 영상의 정확한 영상 정렬과 밝기 보정이 필요하다. 본 논문에서는 기준점(fiducial marker)을 사용한 정렬 방법을 이용하여 영상열을 정렬하고, 수십 장의 영상들의 상이한 밝기 특성을 일정하게 보정하는 방법을 제시하였다. 영상의 투과율 모델에 근거하여, 영상의 주변부의 밝기 정보를 사용하여 각 영상의 조명을 일정한 값으로 조정하고 투사각에 따라 대상의 밝기가 일정하게 변동하도록 밝기 보정을 수행하는 알고리듬을 제시하였으며, 실제 투과전자현미경으로부터 얻은 영상열을 사용하여 밝기 보정 알고리듬의 성능을 검증하였다.
현대의 컴팩트 반도체 소자들은 정확한 품질검사를 위해 비파괴, 고분해능의 검사 장비가 요구되고 있다. 검사 장비 중 고분해능 적외선 대물렌즈와 적외선 센서로 구성된 초정밀 열영상 현미경은 반도체 내부의 결함에서 발생되는 국소적 열원의 위치와 깊이 정보를 얻는데 유용하게 활용되고 있다. 본 연구에서는 위 상잠금기법이 적용된 적외선열영상 현미경을 이용하여 다층구조로 된 반도체 소자 내부 열원의 위치와 깊이 정보에 대해 분석하였다. 시편은 내부에 3개의 열원을 포함한 TSV(through silicon via technology) 기반 4단 적층구조로서 측정 표면으로부터 열원의 깊이는 $240{\mu}m$이다. 본 실험에서는 위상잠금기법을 통해 시편 내부열원의 위치와 깊이를 정확히 찾을 수 있는 초점면 위치, 노출시간 그리고 위상잠금주파수 등 최적의 조건을 찾고 그 조건에서 적외선 대물렌즈와 시편의 거리 변화에 따른 위상 변이와 깊이 정보에 대한 영향을 알아보았다. 이와 같은 반도체 내부결함에 의한 열원의 위치와 깊이 분석에 대한 연구는 품질검사용 열영상 분석장비 개발에 큰 도움을 줄 것으로 예상한다.
본 연구에서는 기존의 열영상 측정 장치에 비해 위상잠금기법을 채용한 열영상 측정 장치의 온도분해능이 얼마나 향상될 수 있는지를 평가하기 위해 흑체시스템과 마이크로 레지스터 시편을 이용한 실험을 수행하여 개선된 온도분해능을 확인하였다. 일반적으로 적외선 열영상 측정 장치의 노이즈 수준 또는 온도분해능은 연속적으로 측정된 열영상의 픽셀별 온도의 평균과 각각의 측정값의 편차에 대한 제곱의 평균으로 정의되는 잡음등가온도차(noise equivalent temperature difference, NETD)라는 척도를 이용하여 평가되고 있다. 하지만 위상잠금 열영상 기법을 적용하면 더욱 편리한 방법을 이용할 수 있는데 이는 측정된 열영상 신호의 위상과는 무관한 온도의 진폭에 관한 정보를 이용하는 것이다. 연구결과를 통해 알 수 있듯이, 위상잠금 기법을 적용하게 되면 측정된 신호의 온도분해능 성능을 보여주는 잡음등가온도차가 크게 향상되었으며 이는 위상잠금기법이 내부적으로 수행하는 평균화 작업과 필터링 기능 때문인 것으로 판단되고 있다.
일반적으로 피부 미용분야에서 건강모발과 손상모발을 구분하기 위해 전자현미경으로 촬영된 영상에서 모발의 벌어짐, 갈라짐, 젖혀짐, 탈락, 용해 등의 특징을 관찰하여 사용하고 있다. 그러나 주관적이고 정성적인 판단에 의존하기 때문에 수치적인 기준을 적용하는 객관성이 있는 판단이 요구된다. 본 논문에서는 영상처리 분야에서 에지 특성이 영상 분류나 검색에 사용되는 점을 활용, 에지처리된 영상의 구간별 밝기 누적정보를 비교하여 건강모발과 손상모발의 구분이 가능함을 보인다.
방사광 X-선 현미경은 임상실험에 유용한 도구로 높은 배율과 고 해상도로 동물 장기조직 시료의 세부 구조를 관찰할 수 있다. X-선 영상은 위상 대조도 메커니즘으로 설명할 수 있다. 우리는 쥐의 꼬리, 신경 및 허파의 in-vivo 및 in-vitro위상 대조도 영상을 8 KeV mono 빔으로부터 10배 현미경대물렌즈와 CCD 카메라를 이용하여 얻었다. 기존의 흡수 X-선 영상 보다 SR 영상이 세밀한 구조의 높은 분해능 영상을 볼 수 있었다. SR 영상은 생물학, 재료 및 임상 연구에 무한한 가능성을 가지고 있다.
이 논문에서 50 pm 이하의 원자열 분해상을 효과적으로 보여 주는 결정 밑 표면 파동함수(EPW)의 음(-)의 2차 도함수의 시뮬레이션 영상들이 나타나 있다. 그리고 해당 EPW는 HRTEM에서 일련의 비 초점 단계의 관찰 영상으로부터 얻을 수 있다. 이 논문에 나타난 시뮬레이션한 영상들은 대체로 50 pm 이하의 원자열 간격을 주는 Si과 InAs의 [114] 및 [116] 방위 축에 대한 것이다. 이 방법의 정당성에 대한 이론적 이유가 운동학적 회절이론을 기초로 한 분석에서 주어졌다. 그리고 그 응용성의 한계도 논의되었다.
농업에 있어 해충 방제는 중요한 일이다. 특히, 볼록총채벌레는 최근 감귤원 해충 피해의 주요 해충으로 인식되어 주기적인 예찰이 이루어지고 있으나 성충의 크기가 0.8mm 정도로 작아 육안 식별에 어려움이 있다. 본 논문에서는 예찰 트랩에 포집된 볼록총채벌레를 자동으로 판별하기 위한 전처리 알고리즘을 제안하였다. 광학 현미경의 배율을 30, 40, 50배로 조정하여 영상을 획득하였고, 제안한 알고리즘을 적용하여 판별 성능을 측정한 결과, 50배율에서 가장 높은 판별율을 보였으나 더 많은 볼록총채벌레 영상을 대상으로 알고리즘을 테스트하고 개선할 필요가 있다.
사진기에서 고품질의 영상을 획득하기 위해서는 적절히 노출 시간을 조절하게 되는데 이로 인해 각각 독립적으로 얻어진 영상들의 노출 시간은 서로 달라진다. 이는 여러 영상의 열을 정렬하는 과정 등에서 부정확한 결과를 초래할 수 있으므로 영상들의 노출 시간을 동일하게 맞추어 줄 필요가 있다. 그런데, 노출 시간을 알지 못하는 경우에는, 하나의 영상을 기준으로 다른 영상들의 상대적 노출 시간을 추정하고 보정하는 알고리즘에 대한 연구가 필요하다. 본 논문에서는, 사진기의 모델 함수를 고려할 필요 없는, 최소 오류 개념에서 최적의 예측기인 conditional expectation을 사용하여 노출 보정을 시도하였다. 나아가서, 불규칙한 노출 또는 히스토그램 특성을 위한 적응 노출 보정 기법을 제안하였다. 이때 blocking artifact 및 overfitting 등의 문제를 완화시키기 위한 인접의 화소를 사용하는 기법을 도입하였다. 디지털 사진기 및 투과전자현미경을 통하여 얻어진 실제 영상을 사용한 모의실험을 통하여 성공적인 노출 보정 수행을 확인할 수 있었다.
이 논문에서는 비교적 두꺼운 결정에 대한 일련의 고 분해 영상들에 대한 IWFR 분석의 유용성을 실험하였다. 이를 위해 JEOL ARM 1300S를 이용하여 실리콘 결정의 30 nm 두께의 [01-1] 방위와 35 nm 두께의 [11-2]에 대한 일련의 비 초점 단계의 고 분해 영상들을 관찰하였다. 이로부터 두꺼운 시료에 대해서도 IWFR 분석 결과로부터 결정 밑 표면의 파동함수를 얻을 수 있음이 밝혀졌다. 그러나 강한 동역학적 산란에 의한 효과 때문에, 이 함수의 영상패턴은 시료의 원자열 구조의 패턴을 다만 정성적으로만 반영하고 있다. 그럼에도 불구하고 이 패턴은 결정구조의 중요한 단서를 제공할 것임은 의심의 여지가 없다
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[게시일 2004년 10월 1일]
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