• Title/Summary/Keyword: 열분석적 특성

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자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al-Nd 박막의 식각특성에 관한 연구

  • 한혜리;이영준;오경희;홍문표;염근영
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.246-246
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    • 1999
  • TFT-LCD 제조공정의 발전에 따라, 박막층(a-Si, SiNx, gate 전극, ITO 등)에 대한 습식공정을 대치하는 건식식각이 선호되고 있다. scan signal의 전파지연시간을 단축시키는 장점을 갖는 Al gate 전극의 건식식각의 경우, 높은 식각속도와 slope angle의 조절, 그리고 식각균일도가 요구된다. 이러한 Al gate 전극물질로는 Al에 Ti이나 Nd와 같은 금속을 첨가하여 post annealing 동안에 발생하는 hillock을 방지하고 더불어 낮은 resistivity(<10$\mu$$\Omega$cm)와 열과 부식에 대한 높은 저항성을 얻을 수 있다. 그러나 Al-Nd alloy 박막은 식각속도와 photoresist에 대한 식각선택도가 낮아 문제로 지적되고 있다. 본 실험에서는 고밀도 플라즈마원의 일종인 자화된 고밀도 유도결합형 플라즈마를 이용하여 식각가스 조합, inductive power, bias voltage 그리고 공정압력 등의 다양한 공정변수에 따른 Al-Nd film의 기본적인 식각특성 변화를 관찰하였다. 식각시 chloring gas를 주요 식각가스로 사용하고 BCl, HBr 등을 10mTorr의 일정한 압력을 유지하는 조건하에서 첨가하였으며 inductive power는 5100W~800W, bias voltage는 -50V~-200V까지 변화를 주었다. 식각공정의 전후를 통하여 Al-Nd 박막표면의 조성변화를 관찰하기 위하여 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)를 이용하였으며 공정변수에 따른 식각후 profile 관찰은 scanning electron microscopy(SEM)을 통하여 관찰하였다. Al-Nd 식각속도는 100% Cl2 플라즈마에 비해 BCl3의 양이 증가할수록 증가하였으며 75%의 BCl3 gas를 첨가하였을 때 가장 높은 식각속도를 얻을 수 있었다. 또한 SEM을 이용한 표면분석으로 roughness가 감소된 공정조건을 찾을 수 있었다.

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Pentacene Thin-Film Transistor with PEDOT:PSS S/D Electrode by Ink-jet Printing Method (잉크젯 프린팅 방법을 이용한 Pentacene 박막 트랜지스터의 제작 및 특성 분석)

  • Kim, Jae-Kyoung;Kim, Jung-Min;Lee, Hyun Ho;Yoon, Tae-Sik;Kim, Yong-Sang
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.1277-1278
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    • 2008
  • Pentacene 박막 트랜지스터의 소스/드레인 전극을 폴리머인 Poly(3,4-ethylene dioxythiophene) poly(styrenesulfonate) (PEDOT:PSS)를 사용하여 잉크젯 프린팅 방법으로 제작하였다. 펜타신 박막 트랜지스터는 열 증착법을 사용하여 폴리며 기판위에 100nm의 두께로 증착하였다. 게이트 절연막은 $SiO_2$ 위에 Polymethly Methacrylate (PMMA)를 증착시킨 double layer를 사용하였다. PMMA 위에 증착시킨 pentacene 결정립이 $SiO_2$ 위에 증착한 pentacene 결정립 보다 크게 성장하였고, double layer의 절연막을 씀으로 인해 게이트 누설 전류가 감소함을 보였다. Pentacene 증착 온도에 따른 결정립 크기를 비교하여 가장 적절한 온도를 찾았다. 프린팅 방법을 사용하여 만든 박막 트랜지스터는 전계효과 이동도가 ${\mu}_{FET}=0.023cm^2/Vs$ 이고, 문턱이전 기울기 S.S=0.49V/dec, 문턱전압 $V_{th}=-18V$, $I_{on}/I_{off}$ 전류비 >$10^3$의 전기적 특성을 보였다.

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Fabrication of SOFC cell by transcription-method (전사법을 이용한 SOFC Cell 제작 및 출력특성)

  • Koo, JaBin;Choi, ByeongHyeon;Ji, MiJeong;An, YongTae;Hwang, HaeJin
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.11a
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    • pp.91.1-91.1
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    • 2011
  • 고체산화물 연료전지(Solid Oxide Fuel Cell이하 SOFC)는 연료가 갖는 화학에너지를 연소과정 없이, 공기와 H2, CO, CH4와 같은 환원성 가스를 공급받아 $600{\sim}1000^{\circ}C$에서 전기화학적 반응을 통하여 직접 전기를 얻는 방식이다. SOFC는 $700^{\circ}C$ 이상의 고온에서 고체산화물이 연료와 공기가 반응하여 전기와 열을 동시에 생산하기 때문에 carnot cycle의 제한을 받지 않아 발전효율이 40% 이상으로 고효율이고, NOx 및 SOx를 배출하지 않아 무공해이며, moving parts가 없어 소음이 나지 않고, 건설과 증설이 지역이나 기후 조건에 제약 없이 용이하고, 다양한 용량이 가능하며, 고가의 백금 촉매를 사용하지 않으며, 수소, 석탄가스, 천연가스 등의 연료를 사용할 수 있는 장점이 있음, 또한 다향한 형태로 제작할 수 있으며 전해질이 고체에서 전해질 손실 및 보충에 문제가 없고 타 연료전지에 비해 개질기가 필요 없어 발전시스템이 간단하고 경량화가 가능하다. 전사법은 paste를 제작하여 전사용지에 Screen printing하여 건조 후 coating하는 방법으로 기존의 여러 coating 방법보다 제작이 용이하고 소재의 크기, 두께조절이 간편하며, 구성층의 표면조도나 굴곡에 대응이 용이한 방법이다. 본 실험에서는 paste 제조, 전사법을 이용하여 Anode, AFL, Electrolyte, CFL, Cathode전사지를 제작하고 이를 세라믹 평관형 지지체에 변수로 두께 조건별 Coating 한 후 $1400^{\circ}C$ 소결을 진행하여 SEM 분석으로 미세구조 관찰, 출력특성 및 Impedance을 확인하였다.

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An Experimental Study for Fire Spread of Compact Cars (소형승용차의 화재전파 특성에 관한 실험적 연구)

  • Yoo, Yong-Ho;Kweon, Oh-Sang;Kim, Heung-Youl
    • Proceedings of the Korea Institute of Fire Science and Engineering Conference
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    • 2010.04a
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    • pp.279-283
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    • 2010
  • 본 연구에서는 화재시 대규모 피해가 우려되는 승용차 밀집 공간을 가정하여 인접한 승용차로의 화재 전파 특성을 파악하기 위한 실물화재 실험을 실시하였다. 실험은 인접한 두 대의 승용차중 한 대의 차량에 화재를 발생시켜 화재가 성장되고 전파되는 과정을 분석하였으며, 산소소모율법을 적용한 발열량 측정이 동시에 이루어 졌다. 측정 결과 최대 열방출율은 약 9MW로 측정되어 선행된 승용차 한 대의 측정 발열량보다 약 2.5배이상 높은 범위의 값으로 평가되었다. 특히, 인접된 승용차로의 전파는 화재 발생후 약 3분 30초 경과후 창문으로 출화된 화염에 의하여 옆 차량에 화재가 전파되기 시작하였으며, 15분 경과후 완전히 화재가 전이되어 발달되었다. 따라서, 밀폐된 주차장에서의 화재시 발생초기에 가연 공간에서 화재가 진화가 이루어지지 않으면 약 3분 내에 다른 차량으로의 화재 전파가 우려 되며, 이후 급격한 피해를 줄 수 있는 상태로 화재가 성장하기 때문에 신속한 초기 대응이 필요함을 확인하였다. 이러한 실물화재실험에서 얻어낸 결과는 향후 여러 수치해석의 입력 조건으로 활용이 가능할 것이며, 화재 안전 설비 계획에 기본 자료로서 이용될 수 있을 것으로 기대된다.

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Computational Study of Intermetallic Reaction Propagation in Nanoscale Boron/Titanium Metallic Multilayers (보론/티타늄 나노박막다층 내 이종금속간 화학반응 전파특성 해석연구)

  • Kim, Kyoungjin;Park, Joong-Youn
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • v.21 no.3
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    • pp.10-17
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    • 2017
  • The analytical modeling has been established on the self-propagation of intermetallic reaction in the spanwise direction of highly reactive boron and titanium nanoscale multilayers. Assuming that the reaction obeys Arrhenius kinetics, two-dimensional computations are carried out for heat and atomic species diffusion with exothermic reaction model in order to simulate the self-propagation of intermetallic reaction. The effects of bimetallic layer thickness and thickness ratio on the reaction propagation speed are tested and discussed in addition to the assessment of pre-mixing zone effects.

A Study on Analysis of the Hydrogen-Oxygen Gas Generator Using Pulse Power Supply (펄스전원에 의한 수산화가스 발생기에 관한 연구)

  • 이정민;강병희;목형수;최규하
    • The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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    • v.6 no.5
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    • pp.377-385
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    • 2001
  • The mixed gas of Hydrogen and Oxygen is gained from water electrolysis reaction. It has constant volume ratio 2 : 1 Hydrogen and Oxygen, and it is used as a source of thermal energy by combustion reaction. This gas has better characteristics in the field of economy, efficiency of energy, and environmental intimacy than acetylene gas and LPG used for gas welding machine. So several studies of this gas are actively in progress nowadays. The object of this study is the optimization of power condition in the side of electricity for the Hydrogen-Oxygen gas generator, Firstly chemical analysis of electrolysis is conducted, and the relation of electrical energy and chemical energy is quantitatively investigated through Faraday's laws of electrolysis. After that, pulse power supply is designed for basic experiment which could be applied to the analysis of Hydrogen-Oxygen gas generator. In the basis of above steps, comparison and analysis of Hydrogen-Oxygen gas generator was conducted as variable frequency using pulse Power supply.

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Evaluation on the Performance of Power Generation and Vibration Characteristics of Energy Harvesting Block Structures for Urban & Housing Application (도시·주택 적용 에너지수확 블록구조의 진동 특성 및 발전성능 평가)

  • Noh, Myung-Hyun;Lee, Sang-Youl
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.13 no.8
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    • pp.3735-3740
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    • 2012
  • In this paper, the performance of power generation for the energy harvesting block with a combination of piezoelectric technology and electromagnetic technology among various energy harvesting technologies was investigated. The goal of this study is to evaluate on the applicability of our developed energy harvesting block into the field of urban & housing. First, we carried out a finite element vibration analysis and evaluated the performance of power generation for the multi-layer energy harvester at laboratory scale. Second, we described the features of our developed prototype module that includes amplification technologies to improve power density per module and evaluated the performance of power generation for the energy harvesting block in a variety of ways. Finally, we suggested the direction for the improvement of the energy harvesting block module.

Assessment of the Properties and Suitability for Bivariate Probability Distribution of Rainfall Event along the Inter-Event Time (최소무강우시간(Inter-Event Time)에 따른 강우사상 특성 및 이변량 확률분포형 적합성 검토)

  • Joo, Kyungwon;Shin, Ju-Young;Kim, Hanbeen;Heo, Jun-Haeng
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.463-463
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    • 2017
  • 최근 다변량 확률모형 연구 및 기후변화에 따른 강우패턴 연구의 증가에 따라 시계열로 기록되어 있는 강우량 자료로부터 강우사상(Event)을 분리하는 연구 또한 활발히 이루어지고 있다. 일반적으로 강우사상은 최소무강우시간(Inter-Event Time)을 기준으로 전후강우가 독립적인 강우인지 연속적인 강우인지 구별하는데 이 최소무강우시간을 결정하는 방법이 각 사용되는 분야마다 일관되지 않은 점이 있다. 본 연구에서는 30년 이상 기록된 기상청 강우관측소 자료를 이용하였으며, 설계강우의 시간분포를 위한 Huff 4분위법에서 사용되는 6시간의 최소무강우시간분터 지수확률분포 방법으로 얻어지는 최소무강우시간(일반적으로 12시간 내외)까지 최소무강우시간의 변화에 따라 분리된 강우사상의 특성을 분석하였다. 또한 강우사상의 이변량 빈도해석 적합성을 검토하기 위해 연최대강우량 사상을 선정하여 빈도해석을 수행하였으며 최소무강우 시간에 따라 이변량 확률분포형 적합성을 검토하였다.

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Taxonomic Revision of Variation in Skull Morphology of Siberian Roe Deer (Capreolus pygargus, Pallas, 1771) in South Korea (머리뼈 형태학적 특성을 이용한 한국산 노루의 분류학적 고찰)

  • Park, Yong-Su;Cha, Jin-Yeol;Kim, Nam-Shin
    • Korean Journal of Environment and Ecology
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    • v.30 no.1
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    • pp.39-47
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    • 2016
  • Recently, it has been reported that morphologically and genetically different two Siberian roe deer (Capreolus pygargus, Pallas, 1771), in Mainland and in Jeju island. Until now, this roe deer has not been clearly taxonomy of Siberian roe deer in Korean peninsula. So, the aim of this study was to compare the skull morphometrics of mainland and Jeju roe deer to obtain more information on the species status of C. pygargus and study the distribution of roe deer subspecies in this region. A total of 50 skulls of adult roe deer was compared and analyzed. The maximum skull length, condylo-basal length, basilar length, maximum skull width, cheek-bone width, interorbital width, rostrum length, length of upper tooth row from the Siberian roe deer in Jeju island were significantly smaller than those of the deer in mainland. Length of the skull was the principal factor of interpopulational variability in roe deer. Variation was not distributed along latitude, longitude, or elevation, but those factors did influence the variation through effects on primary production, which in turn caused isolated differences in skull morphology apparently related to types of forage selected by roe deer in various geographic areas. According to the analysis results of the skull characters, Mainland roe deer was more similar to C. p. tianschanicus which is a subspecies of Siberian roe deer. In addition, Jeju roe deer showed distinct differences compared to European roe deer, 3 subspecies of Siberian roe deer, so it appeared that they could be a unique native species inhabited only in Jeju Island. Because Siberian roe deer in Jeju Island can be classified at subspecies level in this study.

The Characteristic of Long Term Variation of the Water Quality from Hansan-Geoje bay, Korea (한산거제만 해역의 수질 장기변동 특성)

  • Kwon, Jung-No;Park, Young-Chul;Eom, Ki-Hyuk
    • Journal of the Korean Society for Marine Environment & Energy
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    • v.16 no.3
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    • pp.189-201
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    • 2013
  • To study characteristics of the water quality in the Hansan-Geoje bay, we analyzed the long term monitoring data collected at the two sites during the period of 1987~2010. The trophic state of the waters in Hansan-Geoje bay was the mesotrophic level by the classification of Wasmud et al.[2001]. The water nutrients increased steadily from a wet season (Aug.), it reached the maximum concentration peak in a dry season (Nov.), and then decreased steadily to the winter, it reached at the minimum value in May in the next year. The result of factor analysis divided the waters of Hansan-Geoje bay into the five factors (nutrient, season, inflow land water, pollution, internal production) and the factors represented the 76.82% on the status of the waters. According to time series analysis, temperature, DO and bottom DIP were increased, and pH and COD were decreased during the period of 1987~2010. In particular, the fluctuation trend of DIN has been turned from oversupply to shortage by the N/P ratio since before and after 1990's. The water quality of the Hansan-Geoje bay has been recovered except DIP since 1987, despite of its geographical characteristic which is a general semi-closesd bay and a massive aqua-culture ground. To preserve the waters in Hansan-Geoje bay, we need to know on the cause of the increase or accumulation of DIP, and we should continue to study on the interrelation between the aqua-culture and water environment.